| Componente | Especificações |
|---|---|
| Sistema de Fixação | Estruturas giratórias de guarda-chuva no centro, configuração única ou dividida |
| Sistema de Aquecimento | Lâmpada halógena/aquecedor blindado, até 350℃ |
| Sistema de Exaustão | Conjunto de bomba de baixo vácuo + conjunto de bomba de alto vácuo + bomba criogênica/Polycold |
| Controle de Vácuo | Controlador de vácuo, medidores de vácuo Panning e Pirani |
| Sistema de Revestimento | Pistola de elétrons, cadinho de cobre livre de oxigênio, fonte de evaporação de impedância, fonte de íons tipo RF/Kaufman/Hall |
| Sistema de Inflação | Controlador automático de pressão MFC ou APC |
| Controle da Espessura do Filme | Controlado por cristal ou controlado por luz |
| Sistema de Controle | Integração PC + PLC |
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