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Máquina de revestimento a vácuo por evaporação para filmes ópticos de alta precisão com rotação estável e fonte de íons

Máquina de revestimento a vácuo por evaporação para filmes ópticos de alta precisão com rotação estável e fonte de íons
Local de Origem:Zhaoqing, Guangdong
Marca:Zhongda
Model Number:CE
Quantidade mínima de pedido:1
Prazo de entrega:45-60 dias de trabalho
Detalhes do produto
Destacar:

Máquina de revestimento a vácuo de filmes ópticos de alta precisão por evaporação

,

Máquina de evaporação térmica a vácuo de rotação estável

,

Revestimento de evaporação do feixe E da fonte de íons

Coating: TiO2,Ti3O5, H4, ZrO2, ZnS, Al2O3, MgF2, SiO2, Au, Ag, Cu, Al, Ti, In, Sn
Chamber Materia: Aço Inoxidável 304
Coating Structure: Camada única, multi-camada, gradiente, etc.
Machine Size: Personalizável
Vacuum System: Alto
Control System: Plc
Coating Thickness: Ajustável
Structure: Estrutura vertical da porta frontal
Rotational Speed: 10 a 30RPM (variável)
Coating Environment: Sem pó.
Pump Brands: China
Coating Material: Metal, cerâmica, vidro, plástico, etc.
Productname: Máquina de revestimento a vácuo por evaporação
Operation Mode: Manual/automático
Controlsystem: CLP com tela sensível ao toque
Pumptype: Bomba de palhetas rotativas + bomba de difusão
Vacuum Level: Alto vácuo
Coating Source: Fonte de evaporação térmica
Chambermaterial: Aço inoxidável
Coating Substrate: Metal, vidro, cerâmica, plástico
Coating Technology: Evaporação térmica a vácuo
Evaporation System: 2 conjuntos
Guarantee Period: 1 ano
Coating Transparency: Alto
Descrição do produto
Especificações e características pormenorizadas
Máquina de Revestimento a Vácuo por Evaporação para Filmes Óticos de Alta Precisão
Sistema avançado de revestimento a vácuo projetado para depositar filmes multicamadas ópticos de alta precisão em substratos de vidro, PC e PMMA com rotação estável e tecnologia de fonte de íons.
Principais Características
  • Revestimento a vácuo de precisão para filmes multicamadas ópticos de alta precisão em substratos de vidro, PC e PMMA
  • Componentes personalizáveis para atender aos requisitos específicos do cliente para uma qualidade de filme superior
  • O modo de rotação central (revolução) da estrutura do guarda-chuva do substrato minimiza a vibração e a geração de partículas
  • O método de aquecimento por feixe de elétrons sem placas de eletrodo garante a formação estável de filmes multicamadas
  • Método de controle de razão proprietário com monitoramento online multiponto para filmes ópticos de precisão
  • Estrutura do guarda-chuva do substrato removível com mecanismo de elevação bem operado
  • Fonte de íons com alta densidade de corrente de íons uniformemente distribuída e duas pistolas de elétrons
  • Capaz de processar mais de 100 camadas com cadinhos multiponto e em forma de anel
  • Processo de evaporação totalmente automatizado através do sistema automático de controle de evaporação
  • Opção de configurações de rack de peças tipo sino ou tipo planetário
Configuração do Sistema
Componente Especificações
Sistema de Fixação Estruturas giratórias de guarda-chuva no centro, configuração única ou dividida
Sistema de Aquecimento Lâmpada halógena/aquecedor blindado, até 350℃
Sistema de Exaustão Conjunto de bomba de baixo vácuo + conjunto de bomba de alto vácuo + bomba criogênica/Polycold
Controle de Vácuo Controlador de vácuo, medidores de vácuo Panning e Pirani
Sistema de Revestimento Pistola de elétrons, cadinho de cobre livre de oxigênio, fonte de evaporação de impedância, fonte de íons tipo RF/Kaufman/Hall
Sistema de Inflação Controlador automático de pressão MFC ou APC
Controle da Espessura do Filme Controlado por cristal ou controlado por luz
Sistema de Controle Integração PC + PLC
Especificações de Aplicação
Revestimento de Filme AR
Transmissão do vidro do substrato > 91,5%
  • Banda de 420-680nm: Transmitância média em um lado > 95%, refletância < 0,5% (média)
  • Transmitância média em ambos os lados > 98%, refletância < 0,5% (média)
Vantagens de Desempenho
  • Taxa de deposição aumentada para maior produção
  • Capacidades de processamento de alta precisão para aplicações de semicondutores, optoeletrônica e fotônica
  • Construção durável com requisitos de manutenção fáceis
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