| Thành phần | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Hệ thống cố định | Khung ô quay ở trung tâm, cấu hình đơn hoặc chia |
| Hệ thống sưởi | Đèn halogen/bộ gia nhiệt bọc thép, lên đến 350℃ |
| Hệ thống xả | Bộ bơm chân không thấp + bộ bơm chân không cao + bơm lạnh/Polycold |
| Kiểm soát chân không | Bộ điều khiển chân không, đồng hồ đo chân không Panning và Pirani |
| Hệ thống phun phủ | Súng electron, nồi nấu đồng không oxy, nguồn bay hơi trở kháng, nguồn ion loại RF/Kaufman/Hall |
| Hệ thống bơm lạm phát | Bộ điều khiển áp suất tự động MFC hoặc APC |
| Kiểm soát độ dày màng | Kiểm soát tinh thể hoặc kiểm soát ánh sáng |
| Hệ thống điều khiển | Tích hợp PC + PLC |
Liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào