| مكون | المواصفات |
|---|---|
| نظام الأثاث | إطارات مظلات دوارة على المركز، تشكيل واحد أو منقسم |
| نظام التدفئة | مصباح الهالوجين/سخان مدرع، حتى 350 درجة مئوية |
| نظام العادم | مجموعة مضخات الفراغ المنخفض + مجموعة مضخات الفراغ العالي + مضخة كريوجينية / Polycold |
| تحكم الفراغ | جهاز تحكم الفراغ، مقاييس الفراغ من Panning و Pirani |
| نظام الطلاء | مسدس الإلكترونات، صهريج النحاس الخالي من الأكسجين، مصدر تبخير المعوقة، RF/Kaufman/Hall type ion source |
| نظام التضخم | جهاز تحكم ضغط أوتوماتيكي (MFC) أو (APC) |
| تحكم سمك الفيلم | معدل التحكم بالكريستال أو التحكم بالضوء |
| نظام التحكم | تكامل PC + PLC |
اتصل بنا في أي وقت