| Componente | Especificaciones |
|---|---|
| Sistema de Fijación | Marcos de sombrilla giratorios en el centro, configuración simple o dividida |
| Sistema de Calentamiento | Lámpara halógena/calentador blindado, hasta 350℃ |
| Sistema de Escape | Juego de bomba de bajo vacío + juego de bomba de alto vacío + bomba criogénica/Polycold |
| Control de Vacío | Controlador de vacío, medidores de vacío Panning y Pirani |
| Sistema de Recubrimiento | Cañón de electrones, crisol de cobre libre de oxígeno, fuente de evaporación de impedancia, fuente de iones tipo RF/Kaufman/Hall |
| Sistema de Inflado | Controlador de presión automático MFC o APC |
| Control del Grosor de la Película | Controlado por cristal o controlado por luz |
| Sistema de Control | Integración PC + PLC |
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