| ส่วนประกอบ | ข้อมูลจำเพาะ |
|---|---|
| ระบบยึด | โครงร่มหมุนตรงกลาง, การกำหนดค่าเดี่ยวหรือแยก |
| ระบบทำความร้อน | หลอดฮาโลเจน/เครื่องทำความร้อนหุ้มเกราะ, สูงสุด 350℃ |
| ระบบไอเสีย | ชุดปั๊มสุญญากาศต่ำ + ชุดปั๊มสุญญากาศสูง + ปั๊มแช่แข็ง/Polycold |
| การควบคุมสุญญากาศ | ตัวควบคุมสุญญากาศ, เกจสุญญากาศ Panning และ Pirani |
| ระบบเคลือบ | ปืนอิเล็กตรอน, เบ้าหลอมทองแดงปราศจากออกซิเจน, แหล่งระเหยอิมพีแดนซ์, แหล่งกำเนิดไอออนชนิด RF/Kaufman/Hall |
| ระบบเงินเฟ้อ | ตัวควบคุมแรงดันอัตโนมัติ MFC หรือ APC |
| การควบคุมความหนาของฟิล์ม | ควบคุมด้วยคริสตัลหรือควบคุมด้วยแสง |
| ระบบควบคุม | การรวม PC + PLC |
ติดต่อเราตลอดเวลา