| Componente | Specificità |
|---|---|
| Sistema di fissaggio | Fabbricazione a partire da prodotti della voce 8528 |
| Sistema di riscaldamento | Lampada alogeno/riscaldatore blindato, fino a 350°C |
| Sistema di scarico | Set di pompe a basso vuoto + set di pompe ad alto vuoto + pompa criogenica/Polycold |
| Controllo del vuoto | Controllatore di vuoto, misuratori di vuoto Panning e Pirani |
| Sistema di rivestimento | Pistola elettronica, crogiolo di rame privo di ossigeno, fonte di evaporazione di impedenza, fonte ionica RF/Kaufman/Hall |
| Sistema di inflazione | Controllatore di pressione automatico MFC o APC |
| Controllo dello spessore della pellicola | di larghezza superiore a 50 mm |
| Sistema di controllo | Integrazione PC + PLC |
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