>
>
2025-11-13
ส่วนที่หนึ่ง
ปัญหาทั่วไปเกี่ยวกับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศส่วนใหญ่กระจุกตัวอยู่ในสถานการณ์หลักสามสถานการณ์: ระดับสุญญากาศ คุณภาพของฟิล์ม และการทำงานของอุปกรณ์ การแก้ไขปัญหาพารามิเตอร์และส่วนประกอบตามเป้าหมายสามารถแก้ไขปัญหาเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ต่อไปนี้เป็นคำอธิบายโดยละเอียด:
I. ปัญหาที่เกี่ยวข้องกับสุญญากาศ (ผลกระทบหลักต่อสภาพแวดล้อมการเคลือบ)
คำถามที่ 1:ไม่สามารถบรรลุระดับสุญญากาศหรือความเร็วในการปั๊มช้า
เหตุผล:อายุและความเสียหายของชิ้นส่วนซีล (แหวนซีล ยางซีล) การปนเปื้อนหรือไม่เพียงพอของน้ำมันปั๊มสุญญากาศ น้ำมันและไอน้ำที่ตกค้างภายในห้องสุญญากาศ การอุดตันของท่อหรือวาล์วขัดข้อง
สารละลาย:เปลี่ยนชิ้นส่วนซีลเก่าและทำความสะอาดพื้นผิวซีล เปลี่ยน/เติมน้ำมันปั๊มสุญญากาศและบำรุงรักษาปั๊มสุญญากาศอย่างสม่ำเสมอ ทำความสะอาดโพรงและชิ้นส่วนภายในด้วยเอทานอลปราศจากน้ำ และเช็ดให้แห้งเพื่อขจัดความชื้น ตรวจสอบว่าท่ออุดตันหรือไม่ และซ่อมแซมหรือเปลี่ยนวาล์วที่ชำรุด
คำถามที่ 2:ไม่สามารถรักษาระดับสุญญากาศได้ (เสี่ยงต่อการรั่วไหล)
สาเหตุ:ประตูห้อง/หน้าแปลนไม่ได้ปิดสนิท สังเกตว่าการปิดผนึกที่จุดเชื่อมต่อระหว่างกระจกหน้าต่างกับช่องชำรุดและข้อต่อท่อหลวม
สารละลาย:ขันประตูห้องและสลักเกลียวหน้าแปลนให้แน่นอีกครั้งเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีวัตถุแปลกปลอมบนพื้นผิวซีล เปลี่ยนปะเก็นของหน้าต่างสังเกต ตรวจสอบข้อต่อท่อแต่ละอันทีละชิ้น ขันชิ้นส่วนที่หลวมให้แน่น และเปลี่ยนซีลข้อต่อหากจำเป็น
ครั้งที่สอง ปัญหาคุณภาพของชั้นฟิล์ม (ปัญหาที่พบบ่อยที่สุด ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์)
คำถามที่ 1:การยึดเกาะของชั้นฟิล์มไม่ดี (มีแนวโน้มที่จะลอกและเป็นรอยขีดข่วน)
เหตุผล:มีสิ่งสกปรกเช่นคราบน้ำมันและฝุ่นบนพื้นผิวของฐานและการเตรียมฐานเบื้องต้นยังไม่เพียงพอ อุณหภูมิการเคลือบต่ำเกินไป และชั้นฟิล์มไม่ยึดติดกับพื้นผิวอย่างแน่นหนา วัสดุเป้าหมายไม่ตรงกับวัสดุซับสเตรต หรือพารามิเตอร์กำลังสปัตเตอร์/แรงดันไม่สมเหตุสมผล
สารละลาย:ทำความสะอาดพื้นผิวด้วยคลื่นอัลตราโซนิกก่อนเคลือบ และใช้การทำความสะอาดพลาสมาเพื่อขจัดสิ่งสกปรกบนพื้นผิว เพิ่มอุณหภูมิของวัสดุพิมพ์อย่างเหมาะสม (ปรับตามความทนทานของวัสดุพิมพ์) เปลี่ยนวัสดุเป้าหมายที่เหมาะสม เพิ่มพลังการสปัตเตอร์และความดันอากาศที่ใช้งานให้เหมาะสม และขยายเวลาก่อนการสปัตเตอร์เพื่อขจัดชั้นออกไซด์บนพื้นผิววัสดุเป้าหมาย
คำถามที่ 2:ชั้นฟิล์มมีความสม่ำเสมอไม่ดี (ความหนา/สีไม่สอดคล้องกัน)
เหตุผล:การใช้วัสดุเป้าหมายไม่สม่ำเสมอ (เช่น จุดส่วนโค้งบนพื้นผิวเป้าหมาย) ระยะห่างระหว่างวัสดุพิมพ์และวัสดุเป้าหมายไม่สอดคล้องกัน การกระจายลมที่ไม่สม่ำเสมอภายในช่อง และวัสดุพิมพ์ไม่หมุนหรือเคลื่อนที่ด้วยความเร็วคงที่ในระหว่างกระบวนการเคลือบ
สารละลาย:ทำความสะอาดจุดโค้งบนพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายเป็นประจำ และเปลี่ยนวัสดุเป้าหมายหากจำเป็น ปรับตำแหน่งของเฟรมฐานเพื่อให้แน่ใจว่าระยะห่างระหว่างฐานทั้งหมดและวัสดุเป้าหมายสอดคล้องกัน ตรวจสอบว่าท่อส่งก๊าซไม่มีสิ่งกีดขวางหรือไม่และปรับวิธีการรับอากาศให้เหมาะสม ตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบส่งกำลังพื้นฐาน (เช่น แท่นหมุน) ทำงานที่ความเร็วคงที่ และซ่อมแซมส่วนประกอบการส่งกำลังที่ผิดพลาด
คำถามที่ 3:ชั้นฟิล์มมีรูเข็ม อนุภาค และฟองอากาศ
เหตุผล:ภายในโพรงไม่ได้รับการทำความสะอาดอย่างละเอียด เหลือแต่ฝุ่นและอนุภาคต่างๆ ความบริสุทธิ์ของวัสดุเป้าหมายไม่เพียงพอและประกอบด้วยสิ่งเจือปน มีสารปนเปื้อนเช่นความชื้นและคราบน้ำมันในก๊าซทำงาน อัตราการเคลือบเร็วเกินไปและปล่อยก๊าซไม่ทันเวลา
สารละลาย:ทำความสะอาดช่องอย่างสม่ำเสมอและทั่วถึง (รวมถึงวัสดุเป้าหมาย โครงฐาน และผนังด้านใน) เลือกวัสดุเป้าหมายที่มีความบริสุทธิ์สูงและก๊าซใช้งาน (เช่น อาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99.99%) ติดตั้งอุปกรณ์กรองในท่อส่งก๊าซเพื่อขจัดความชื้นและคราบน้ำมัน ลดอัตราการเคลือบลงอย่างเหมาะสมและยืดเวลาการดูดฝุ่นออกไป
คำถามที่ 4:สีชั้นฟิล์มผิดปกติ (สีเบี่ยงเบน, เข้มขึ้น)
เหตุผล:ความหนาของฟิล์มไม่เป็นไปตามข้อกำหนดการออกแบบ องค์ประกอบของวัสดุเป้าหมายเบี่ยงเบนไปจากมาตรฐาน ระดับสุญญากาศมีความผันผวนในระหว่างกระบวนการเคลือบ และอุณหภูมิของพื้นผิวสูงหรือต่ำเกินไป
สารละลาย:ปรับเทียบจอภาพความหนาของฟิล์มเพื่อควบคุมเวลาและพลังงานในการเคลือบอย่างแม่นยำ เปลี่ยนวัสดุเป้าหมายที่ผ่านการรับรอง ตรวจสอบจุดรั่วซึมในระบบสุญญากาศและรักษาระดับสุญญากาศให้คงที่ ปรับอุณหภูมิของพื้นผิวให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม (อ้างอิงถึงข้อกำหนดของวัสดุเป้าหมายและประเภทชั้นฟิล์ม)
III. ความล้มเหลวในการใช้งานอุปกรณ์ (ส่งผลต่อความต่อเนื่องในการผลิต)
คำถามที่ 1:เป้าหมายสปัตเตอร์ไม่ปล่อยออกมาหรือการคายประจุไม่เสถียร
สาเหตุ:แหล่งจ่ายไฟ RF/DC ขัดข้อง การเชื่อมต่อหลวมระหว่างวัสดุเป้าหมายและแหล่งจ่ายไฟ แรงดันอากาศในการทำงานต่ำหรือสูงเกินไป การเกิดออกซิเดชันอย่างรุนแรงบนพื้นผิวของวัสดุเป้าหมาย
สารละลาย:ตรวจสอบและซ่อมแซมแหล่งจ่ายไฟ (เช่น การเปลี่ยนฟิวส์ การซ่อมแซมแผงวงจร) ขันขั้วต่อเทอร์มินัลของวัสดุเป้าหมายให้แน่นอีกครั้ง ปรับความดันอากาศในการทำงานให้อยู่ในช่วงที่เหมาะสม (ปกติคือ 0.1-1Pa) พ่นวัสดุเป้าหมายล่วงหน้าเพื่อขจัดชั้นออกไซด์ของพื้นผิว
คำถามที่ 2:ระบบทำความเย็นขัดข้อง (อุณหภูมิที่มากเกินไปของวัสดุเป้าหมาย/โพรง)
เหตุผล:ท่อส่งน้ำหล่อเย็นอุดตันหรือรั่ว น้ำหล่อเย็นไม่เพียงพอ หรืออุณหภูมิสูงเกินไป และปั๊มทำความเย็นเสียหาย
สารละลาย: ปลดท่อระบายความร้อนและซ่อมแซมส่วนที่รั่ว เติมสารหล่อเย็น (เช่น น้ำปราศจากไอออนหรือน้ำมันหล่อเย็นพิเศษ) และตรวจสอบผลการกระจายความร้อนของถังน้ำหล่อเย็น ซ่อมแซมหรือเปลี่ยนปั๊มทำความเย็นที่ชำรุด
คำถามที่ 3:ระบบส่งกำลังติด (โครงฐานไม่หมุน, สายพานลำเลียงไม่ขยับ)
สาเหตุ: มอเตอร์ขัดข้อง การสึกหรอและการคลายตัวของเกียร์/สายพานเกียร์ วัตถุแปลกปลอมรบกวนส่วนประกอบของระบบส่งกำลัง
สารละลาย:ตรวจสอบและซ่อมแซมมอเตอร์ (เช่น การตรวจสอบสายไฟและการเปลี่ยนมอเตอร์) เปลี่ยนเกียร์หรือสายพานที่สึกหรอและขันส่วนประกอบของระบบส่งกำลังให้แน่นอีกครั้ง กำจัดสิ่งแปลกปลอมออกจากภายในโพรงและในระบบส่งกำลัง
ตอนที่สอง
รายการตรวจสอบการบำรุงรักษารายวันสำหรับอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศนี้แบ่งประเภทตาม "รายวัน/รายสัปดาห์/รายเดือน" โดยเน้นที่ส่วนประกอบหลักและพารามิเตอร์หลัก โดยคำนึงถึงทั้งการใช้งานจริงและความสามารถในการใช้งาน และสะดวกสำหรับการใช้งานโดยตรง
I. การบำรุงรักษารายวัน (ก่อนสตาร์ทและหลังปิดเครื่อง จำเป็นสำหรับการใช้งานแต่ละครั้ง)
ตรวจสอบระดับน้ำมันของปั๊มสุญญากาศเพื่อให้แน่ใจว่าอยู่ระหว่างเส้นเกล็ด และสีน้ำมันไม่ขุ่นหรือดำ
ทำความสะอาดพื้นผิวของห้องสุญญากาศและหน้าต่างสังเกต, กำจัดฝุ่นและรอยนิ้วมือเพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบต่อการสังเกตและการปิดผนึก
ตรวจสอบระบบทำความเย็น:ระดับน้ำหล่อเย็นเป็นปกติ ไม่มีการรั่วไหลหรืออุดตันในท่อ และปั๊มทำความเย็นทำงานโดยไม่มีเสียงรบกวนผิดปกติ
ตรวจสอบชิ้นส่วนซีล (ประตูห้อง, แหวนซีลหน้าแปลน):ไม่มีความเสียหายหรือเสียรูปไม่มีคราบน้ำมันหรือสิ่งสกปรกบนพื้นผิว หากจำเป็น ให้เช็ดด้วยเอธานอลปราศจากน้ำ
ยืนยันท่อส่งก๊าซ:วาล์วเปิดและปิดได้อย่างยืดหยุ่น ไม่มีการรั่วไหล และแรงดันของแก๊สที่ใช้งาน (เช่น อาร์กอน) ก็เพียงพอแล้ว
หลังจากปิดเครื่อง ให้ทำความสะอาดพื้นผิวของวัสดุเป้าหมาย:ขจัดชั้นออกไซด์ของพื้นผิวออกโดยการสปัตเตอร์ก่อน และปิดวาล์วจ่ายไฟและแก๊สทั้งหมด
ครั้งที่สอง การบำรุงรักษารายสัปดาห์ (การตรวจสอบอย่างสม่ำเสมอเพื่อป้องกันอันตรายเล็กน้อย)
ตรวจสอบระบบส่งกำลัง:โครงฐานและสายพานลำเลียงทำงานได้อย่างราบรื่นโดยไม่มีการติดขัดหรือเสียงรบกวนที่ผิดปกติ และเกียร์/สายพานไม่หลวมหรือสึกหรอ
ทำความสะอาดภายในช่อง:เช็ดผนังช่องและโครงฐานด้วยผ้าไร้ขนเพื่อขจัดเศษวัสดุเป้าหมายและอนุภาคที่เหลืออยู่
ตรวจสอบการเชื่อมต่อสายไฟ:ขั้วต่อของแหล่งจ่ายไฟ RF/DC ไม่หลวมหรือร้อนเกินไป และชั้นฉนวนของสายเคเบิลไม่ได้รับความเสียหาย
ทดสอบความเร็วการปั๊มสุญญากาศ:บันทึกเวลาที่ใช้ในการอพยพสุญญากาศไปยังระดับสุญญากาศเป้าหมาย เปรียบเทียบกับค่ามาตรฐาน และตรวจสอบว่ามีการรั่วไหลหรือประสิทธิภาพของตัวปั๊มลดลงหรือไม่
ตรวจสอบส่วนประกอบเสริม:เครื่องวัดความหนาของฟิล์ม เกจวัดความดัน และเครื่องมืออื่นๆ แสดงผลได้อย่างแม่นยำ และไม่มีสัญญาณเตือนผิดปกติ
III. การบำรุงรักษารายเดือน (การบริการเชิงลึกเพื่อยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์)
เปลี่ยนน้ำมันปั๊มสุญญากาศ:ถ่ายน้ำมันเครื่องเก่าออกให้หมด ทำความสะอาดถังน้ำมัน และเติมน้ำมันปั๊มสุญญากาศพิเศษใหม่ (ตรงรุ่นตามคู่มืออุปกรณ์)
ฉันตรวจสอบและเปลี่ยนชิ้นส่วนซีล:เปลี่ยนวงแหวนซีลและปะเก็นที่เก่าและแข็งแล้วเพื่อให้แน่ใจว่าผลการซีล
ทำความสะอาดตัวกรองแก๊ส:เปลี่ยนหรือทำความสะอาดไส้กรองในท่อส่งก๊าซเพื่อขจัดสิ่งสกปรก เช่น ความชื้นและคราบน้ำมัน
ปรับเทียบพารามิเตอร์หลัก:ปรับเทียบจอภาพความหนาของฟิล์มและเกจวัดสุญญากาศเพื่อให้แน่ใจว่าการเคลือบมีความแม่นยำ ตรวจสอบปริมาณการใช้วัสดุเป้าหมายและเปลี่ยนใหม่หากจำเป็น
ทำความสะอาดอุปกรณ์อย่างละเอียด:ขจัดคราบฝุ่นและน้ำมันภายในอุปกรณ์ ตรวจสอบการระบายอากาศของกล่องรวมสัญญาณวงจรและตู้ควบคุมเพื่อป้องกันความร้อนสูงเกินไป
บันทึกข้อมูลการทำงานของอุปกรณ์:สรุปพารามิเตอร์ เช่น ระดับสุญญากาศ กำลังสปัตเตอร์ และเวลาในการเคลือบ สร้างไฟล์การบำรุงรักษา และอำนวยความสะดวกในการตรวจสอบย้อนกลับข้อบกพร่องที่ตามมา
IV ข้อควรระวังในการบำรุงรักษา
1.การดำเนินการบำรุงรักษาทั้งหมดจะต้องดำเนินการหลังจากตัดกระแสไฟฟ้าและก๊าซแล้ว เพื่อหลีกเลี่ยงความเสี่ยงจากไฟฟ้าช็อตหรือก๊าซรั่ว
2.เมื่อทำความสะอาดอย่าใช้ตัวทำละลายที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ให้ความสำคัญกับการใช้วัสดุสิ้นเปลืองพิเศษ เช่น เอทานอลปราศจากน้ำและผ้าที่ไม่เป็นขุย
3.เมื่อเปลี่ยนส่วนประกอบ (เช่น วัสดุเป้าหมายและซีล) ตรวจสอบให้แน่ใจว่ารุ่นตรงกันและติดตั้งอย่างถูกต้อง
4.หากตรวจพบความผิดปกติใดๆ (เช่น ระดับสุญญากาศลดลงกะทันหัน เสียงผิดปกติของอุปกรณ์ หรือสัญญาณเตือน) ให้หยุดเครื่องทันทีเพื่อตรวจสอบ อย่าใช้ต่อไปจนกว่าข้อบกพร่องจะหมดไป
ติดต่อเราตลอดเวลา
