पीवीडी वैक्यूम कोटिंग उपकरण की सामान्य समस्याएं और समाधान और पीवीडी वैक्यूम कोटिंग उपकरण का दैनिक रखरखाव

भाग एक

वैक्यूम कोटिंग उपकरण के साथ आम समस्याएं मुख्य रूप से तीन मुख्य परिदृश्यों में केंद्रित हैं: वैक्यूम डिग्री, फिल्म की गुणवत्ता और उपकरण संचालन। मापदंडों और घटकों की लक्षित समस्या निवारण इन मुद्दों को कुशलता से हल कर सकता है। निम्नलिखित एक विस्तृत व्याख्या है:

I. वैक्यूम से संबंधित मुद्दे (कोटिंग वातावरण पर मुख्य प्रभाव)
प्रश्न 1:वैक्यूम डिग्री प्राप्त नहीं की जा सकती है या पंपिंग गति धीमी है
कारण:सीलिंग भागों (सीलिंग रिंग, सीलिंग रबर) का पुराना होना और क्षति, वैक्यूम पंप तेल का संदूषण या अपर्याप्तता, वैक्यूम चैंबर के अंदर अवशिष्ट तेल और जल वाष्प, पाइपलाइन में रुकावट या वाल्व की विफलता।
समाधान:पुराने सीलिंग भागों को बदलें और सीलिंग सतह को साफ करें; वैक्यूम पंप तेल को बदलें/भरें और वैक्यूम पंप को नियमित रूप से बनाए रखें। गुहा और आंतरिक भागों को निर्जल इथेनॉल से साफ करें और नमी को हटाने के लिए उन्हें सुखाएं। जांचें कि क्या पाइपलाइन अवरुद्ध है और दोषपूर्ण वाल्व की मरम्मत या प्रतिस्थापन करें।

प्रश्न 2:वैक्यूम डिग्री को बनाए नहीं रखा जा सकता है (रिसाव की संभावना)
कारण:गुहा दरवाजा/फ्लैंज कसकर सील नहीं है। निरीक्षण करें कि विंडो ग्लास और गुहा के बीच के कनेक्शन पर सील विफल हो गई है, और पाइपलाइन जोड़ ढीला है।
समाधान:गुहा दरवाजा और फ्लैंज बोल्ट को फिर से कस लें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि सीलिंग सतह पर कोई विदेशी वस्तु नहीं है। अवलोकन खिड़की की गैसकेट को बदलें; प्रत्येक पाइप जोड़ की एक-एक करके जांच करें, ढीले भागों को कस लें, और यदि आवश्यक हो तो जोड़ सील को बदलें।

II. फिल्म परत की गुणवत्ता के मुद्दे (सबसे आम, सीधे उत्पाद के प्रदर्शन को प्रभावित करते हैं)
प्रश्न 1:फिल्म परत का खराब आसंजन (छिलने और खरोंचने की संभावना)
कारण:आधार की सतह पर तेल के धब्बे और धूल जैसे अशुद्धियाँ हैं, और आधार का पूर्व-उपचार अपर्याप्त है। कोटिंग का तापमान बहुत कम है, और फिल्म परत सब्सट्रेट के साथ दृढ़ता से बंधती नहीं है। लक्ष्य सामग्री सब्सट्रेट सामग्री से मेल नहीं खाती है, या स्पटरिंग पावर/प्रेशर पैरामीटर अनुचित हैं।
समाधान:कोटिंग से पहले अल्ट्रासोनिक तरंगों से सब्सट्रेट को साफ करें, और सतह की अशुद्धियों को हटाने के लिए प्लाज्मा सफाई का उपयोग करें। सब्सट्रेट तापमान को उचित रूप से बढ़ाएं (सब्सट्रेट सहनशीलता के अनुसार समायोजित करें); उपयुक्त लक्ष्य सामग्री को बदलें, स्पटरिंग पावर और कार्यशील वायु दाब को अनुकूलित करें, और लक्ष्य सामग्री की सतह पर ऑक्साइड परत को हटाने के लिए पूर्व-स्पटरिंग समय बढ़ाएं।

प्रश्न 2:फिल्म परत की खराब एकरूपता (असंगत मोटाई/रंग)
कारण:लक्ष्य सामग्री की असमान खपत (जैसे लक्ष्य सतह पर चाप धब्बे), सब्सट्रेट और लक्ष्य सामग्री के बीच असंगत दूरी, गुहा के अंदर असमान वायु प्रवाह वितरण, और कोटिंग प्रक्रिया के दौरान सब्सट्रेट का घूमना या स्थिर गति से चलना नहीं।
समाधान:लक्ष्य सामग्री की सतह पर चाप धब्बों को नियमित रूप से साफ करें और यदि आवश्यक हो तो लक्ष्य सामग्री को बदलें। आधार फ्रेम की स्थिति को समायोजित करें ताकि यह सुनिश्चित हो सके कि सभी आधारों और लक्ष्य सामग्री के बीच की दूरी सुसंगत है। जांचें कि क्या गैस पाइपलाइन निर्बाध है और वायु सेवन विधि को अनुकूलित करें। सुनिश्चित करें कि आधार ट्रांसमिशन सिस्टम (जैसे टर्नटेबल) स्थिर गति से संचालित होता है और दोषपूर्ण ट्रांसमिशन घटकों की मरम्मत करता है।

प्रश्न 3:फिल्म परत में पिनहोल, कण और बुलबुले हैं
कारण:गुहा के अंदरूनी हिस्से को अच्छी तरह से साफ नहीं किया गया था, जिससे धूल और कण रह गए। लक्ष्य सामग्री की शुद्धता अपर्याप्त है और इसमें अशुद्धियाँ हैं। कार्यशील गैस में नमी और तेल के धब्बे जैसे संदूषक हैं। कोटिंग दर बहुत तेज़ है और गैस समय पर डिस्चार्ज नहीं होती है।
समाधान:गुहा को नियमित रूप से और अच्छी तरह से साफ करें (जिसमें लक्ष्य सामग्री, आधार फ्रेम और आंतरिक दीवार शामिल हैं); उच्च-शुद्धता वाली लक्ष्य सामग्री और कार्यशील गैसों का चयन करें (जैसे 99.99% से अधिक शुद्धता वाला आर्गन); नमी और तेल के धब्बों को हटाने के लिए गैस पाइपलाइन में एक फिल्टरिंग डिवाइस स्थापित करें। कोटिंग दर को उचित रूप से कम करें और वैक्यूमिंग समय बढ़ाएं।

प्रश्न 4:फिल्म परत का असामान्य रंग (रंग विचलन, गहरा होना)
कारण:फिल्म की मोटाई डिजाइन आवश्यकताओं को पूरा नहीं करती है, लक्ष्य सामग्री की संरचना मानक से विचलित हो गई, कोटिंग प्रक्रिया के दौरान वैक्यूम डिग्री में उतार-चढ़ाव हुआ, और सब्सट्रेट का तापमान बहुत अधिक या बहुत कम था।
समाधान:कोटिंग समय और शक्ति को सटीक रूप से नियंत्रित करने के लिए फिल्म मोटाई मॉनिटर को कैलिब्रेट करें; योग्य लक्ष्य सामग्री को बदलें; वैक्यूम सिस्टम में रिसाव बिंदुओं की जांच करें और वैक्यूम डिग्री को स्थिर करें। सब्सट्रेट तापमान को उपयुक्त सीमा में समायोजित करें (लक्ष्य सामग्री और फिल्म परत प्रकार की आवश्यकताओं का संदर्भ लें)।

III. उपकरण संचालन विफलता (उत्पादन निरंतरता को प्रभावित करना)
प्रश्न 1:स्पटरिंग लक्ष्य डिस्चार्ज नहीं होता है या डिस्चार्ज अस्थिर है
कारण:RF/DC बिजली आपूर्ति विफलता, लक्ष्य सामग्री और बिजली आपूर्ति के बीच ढीला कनेक्शन, बहुत कम या बहुत अधिक कार्यशील वायु दाब, लक्ष्य सामग्री की सतह पर गंभीर ऑक्सीकरण।
समाधान:बिजली आपूर्ति का निरीक्षण और मरम्मत करें (जैसे फ्यूज बदलना, सर्किट बोर्ड की मरम्मत करना); लक्ष्य सामग्री के टर्मिनल ब्लॉक को फिर से कस लें। कार्यशील वायु दाब को एक उचित सीमा में समायोजित करें (आमतौर पर 0.1-1Pa); सतह ऑक्साइड परत को हटाने के लिए लक्ष्य सामग्री को पूर्व-स्पटर करें।

प्रश्न 2:शीतलन प्रणाली की विफलता (लक्ष्य सामग्री/गुहा का अत्यधिक तापमान)
कारण:शीतलन जल पाइपलाइन अवरुद्ध या लीक हो रही है, शीतलक अपर्याप्त है या तापमान बहुत अधिक है, और शीतलन पंप क्षतिग्रस्त है।
समाधान:शीतलन पाइपलाइन को खोलें और लीक हुए हिस्से की मरम्मत करें; शीतलक (जैसे विआयनीकृत पानी या विशेष शीतलन तेल) को भरें, और शीतलन जल टैंक के ताप अपव्यय प्रभाव की जांच करें। दोषपूर्ण शीतलन पंप की मरम्मत या प्रतिस्थापन करें।

प्रश्न 3:ट्रांसमिशन सिस्टम फंस गया है (आधार फ्रेम घूमता नहीं है, कन्वेयर बेल्ट नहीं चलता है)
कारण: मोटर विफलता, ट्रांसमिशन गियर/बेल्ट का घिसाव और ढीला होना, विदेशी वस्तुएं ट्रांसमिशन घटकों को जाम कर रही हैं।
समाधान:मोटर का निरीक्षण और मरम्मत करें (जैसे वायरिंग की जांच करना और मोटर बदलना); घिसे हुए गियर या बेल्ट को बदलें और ट्रांसमिशन घटकों को फिर से कस लें; गुहा के अंदर और ट्रांसमिशन सिस्टम में से विदेशी वस्तुओं को हटा दें।

भाग दो
वैक्यूम कोटिंग उपकरण के लिए यह दैनिक रखरखाव चेकलिस्ट "दैनिक/साप्ताहिक/मासिक" द्वारा वर्गीकृत है, जो मुख्य घटकों और प्रमुख मापदंडों पर ध्यान केंद्रित करता है, व्यावहारिकता और संचालन क्षमता दोनों को ध्यान में रखता है, और सीधे कार्यान्वयन के लिए सुविधाजनक है

I. दैनिक रखरखाव (स्टार्टअप से पहले और शटडाउन के बाद, प्रत्येक उपयोग के लिए अनिवार्य)
वैक्यूम पंप का तेल स्तर जांचेंयह सुनिश्चित करने के लिए कि यह स्केल लाइनों के बीच है, और तेल का रंग मैला या काला नहीं है।
वैक्यूम चैंबर और अवलोकन खिड़की की सतह को साफ करें, धूल और उंगलियों के निशान हटा दें ताकि अवलोकन और सीलिंग प्रभावित न हो।
शीतलन प्रणाली की जाँच करें:शीतलक का स्तर सामान्य है, पाइपलाइनों में कोई रिसाव या रुकावट नहीं है, और शीतलन पंप बिना किसी असामान्य शोर के संचालित होता है।
सीलिंग भागों (गुहा दरवाजा, फ्लैंज सीलिंग रिंग) का निरीक्षण करें:कोई क्षति या विकृति नहीं, सतह पर तेल के धब्बे या अशुद्धियाँ नहीं। यदि आवश्यक हो, तो उन्हें निर्जल इथेनॉल से पोंछ लें।
गैस पाइपलाइन की पुष्टि करें:वाल्व लचीले ढंग से खुलता और बंद होता है, कोई रिसाव नहीं होता है, और कार्यशील गैस (जैसे आर्गन) का दबाव पर्याप्त होता है।
शटडाउन के बाद, लक्ष्य सामग्री की सतह को साफ करें:पूर्व-स्पटरिंग के माध्यम से सतह ऑक्साइड परत को हटा दें, और सभी बिजली और गैस वाल्व बंद कर दें।

II. साप्ताहिक रखरखाव (मामूली खतरों को रोकने के लिए नियमित निरीक्षण)
ट्रांसमिशन सिस्टम की जाँच करें:आधार फ्रेम और कन्वेयर बेल्ट बिना जाम या असामान्य शोर के सुचारू रूप से संचालित होते हैं, और गियर/बेल्ट ढीले या घिसे हुए नहीं हैं।
गुहा के अंदरूनी हिस्से को साफ करें:किसी भी शेष लक्ष्य सामग्री के मलबे और कणों को हटाने के लिए गुहा की दीवारों और आधार फ्रेम को लिंट-फ्री कपड़े से पोंछ लें।
बिजली कनेक्शन की जाँच करें:RF/DC बिजली आपूर्ति के टर्मिनल ढीले या ज़्यादा गरम नहीं होते हैं, और केबल का इन्सुलेशन परत क्षतिग्रस्त नहीं होता है।
वैक्यूम पंपिंग गति का परीक्षण करें:वैक्यूम को लक्ष्य वैक्यूम डिग्री तक खाली करने में लगने वाले समय को रिकॉर्ड करें, इसकी तुलना मानक मान से करें, और यह निर्धारित करें कि क्या कोई रिसाव है या पंप बॉडी दक्षता में कमी आई है।
सहायक घटकों की जाँच करें:फिल्म मोटाई मॉनिटर, प्रेशर गेज और अन्य उपकरण सटीक रूप से प्रदर्शित होते हैं और उनमें कोई असामान्य अलार्म नहीं होता है।

III. मासिक रखरखाव (उपकरण के जीवनकाल को बढ़ाने के लिए गहरी सर्विसिंग)
वैक्यूम पंप तेल बदलें:पुराने तेल को पूरी तरह से निकाल दें, तेल टैंक को साफ करें, और नया विशेष वैक्यूम पंप तेल डालें (उपकरण मैनुअल के अनुसार मॉडल से मेल खाता है)।
Inspect और सीलिंग भागों को बदलें:सीलिंग प्रभाव सुनिश्चित करने के लिए पुराने और कठोर सीलिंग रिंग और गैसकेट को बदलें।
गैस फिल्टर को साफ करें:नमी और तेल के धब्बे जैसी अशुद्धियों को हटाने के लिए गैस पाइपलाइन में फिल्टर तत्व को बदलें या साफ करें।
प्रमुख मापदंडों को कैलिब्रेट करें:कोटिंग सटीकता सुनिश्चित करने के लिए फिल्म मोटाई मॉनिटर और वैक्यूम गेज को कैलिब्रेट करें; लक्ष्य सामग्री की खपत की जांच करें और यदि आवश्यक हो तो इसे बदलें।
उपकरण को अच्छी तरह से साफ करें:उपकरण के अंदर से धूल और तेल के धब्बों को हटा दें, ज़्यादा गरम होने से रोकने के लिए सर्किट जंक्शन बॉक्स और नियंत्रण कैबिनेट के वेंटिलेशन की जाँच करें।
उपकरण के संचालन डेटा को रिकॉर्ड करें:वैक्यूम डिग्री, स्पटरिंग पावर और कोटिंग समय जैसे मापदंडों का सारांश दें, रखरखाव फ़ाइलें स्थापित करें, और बाद की त्रुटि ट्रेसबिलिटी की सुविधा प्रदान करें।

IV. रखरखाव सावधानियां
1.बिजली के झटके या गैस रिसाव के जोखिम से बचने के लिए सभी रखरखाव संचालन बिजली और गैस आपूर्ति बंद करने के बाद किए जाने चाहिए।
2.सफाई करते समय, संक्षारक सॉल्वैंट्स का उपयोग न करें। निर्जल इथेनॉल और लिंट-फ्री कपड़ों जैसे विशेष उपभोग्य सामग्रियों का उपयोग करने को प्राथमिकता दें।
3.घटकों (जैसे लक्ष्य सामग्री और सील) को बदलते समय, सुनिश्चित करें कि मॉडल मेल खाता है और उन्हें ठीक से स्थापित किया गया है।
4.यदि कोई असामान्यता पाई जाती है (जैसे वैक्यूम डिग्री में अचानक गिरावट, असामान्य उपकरण शोर, या अलार्म), तो निरीक्षण के लिए तुरंत मशीन बंद कर दें। जब तक दोष समाप्त न हो जाए, तब तक इसका उपयोग जारी न रखें।