مشکلات رایج و راه حل های تجهیزات پوشش خلاء PVD و نگهداری روزانه تجهیزات پوشش خلاء PVD

بخش اول

مشکلات رایج تجهیزات پوشش خلاء عمدتاً در سه سناریوی اصلی متمرکز هستند: درجه خلاء، کیفیت فیلم و عملکرد تجهیزات. عیب‌یابی هدفمند پارامترها و اجزا می‌تواند این مسائل را به طور موثر حل کند. در ادامه توضیحات مفصلی ارائه می‌شود:

I. مسائل مربوط به خلاء (تاثیر اصلی بر محیط پوشش)
سوال 1: درجه خلاء قابل دستیابی نیست یا سرعت پمپاژ کند است
دلایل:پیری و آسیب دیدگی قطعات آب‌بندی (حلقه‌های آب‌بندی، لاستیک آب‌بندی)، آلودگی یا کمبود روغن پمپ خلاء، باقی‌مانده روغن و بخار آب در داخل محفظه خلاء، انسداد خط لوله یا خرابی شیر.
راه حل:قطعات آب‌بندی فرسوده را تعویض کرده و سطح آب‌بندی را تمیز کنید؛ روغن پمپ خلاء را تعویض/تجدید کرده و به طور منظم از پمپ خلاء نگهداری کنید. محفظه و قطعات داخلی را با اتانول بدون آب تمیز کرده و خشک کنید تا رطوبت از بین برود. بررسی کنید که آیا خط لوله مسدود شده است و شیر معیوب را تعمیر یا تعویض کنید.

سوال 2: درجه خلاء قابل حفظ نیست (مستعد نشتی)
علت: درب/فلنج محفظه به طور محکم آب‌بندی نشده است. مشاهده کنید که آب‌بندی در محل اتصال بین شیشه پنجره و محفظه خراب شده است و اتصال خط لوله شل است.
راه حل:پیچ‌های درب محفظه و فلنج را دوباره محکم کنید تا اطمینان حاصل شود که هیچ شی خارجی روی سطح آب‌بندی وجود ندارد. واشر پنجره مشاهده را تعویض کنید؛ هر اتصال لوله را یک به یک بررسی کنید، قطعات شل را محکم کنید و در صورت لزوم آب‌بندهای اتصال را تعویض کنید.

II. مسائل مربوط به کیفیت لایه فیلم (رایج‌ترین، که مستقیماً بر عملکرد محصول تأثیر می‌گذارد)
سوال 1: چسبندگی ضعیف لایه فیلم (مستعد پوسته پوسته شدن و خراشیدگی)
دلیل: ناخالصی‌هایی مانند لکه‌های روغن و گرد و غبار روی سطح پایه وجود دارد و پیش‌تصفیه پایه کافی نیست. دمای پوشش خیلی کم است و لایه فیلم به طور محکم به بستر متصل نمی‌شود. مواد هدف با مواد بستر مطابقت ندارد، یا پارامترهای توان/فشار پاشش نامعقول است.
خرابی موتور، سایش و شل شدن چرخ دنده‌ها/تسمه‌های انتقال، اشیاء خارجی که اجزای انتقال را گیر می‌کنند. قبل از پوشش، بستر را با امواج فراصوت تمیز کنید و از تمیز کردن پلاسما برای از بین بردن ناخالصی‌های سطح استفاده کنید. دمای بستر را به طور مناسب افزایش دهید (با توجه به تحمل بستر تنظیم کنید)؛ مواد هدف مناسب را تعویض کنید، توان پاشش و فشار هوای کار را بهینه کنید و زمان پیش‌پاشش را برای از بین بردن لایه اکسید روی سطح مواد هدف افزایش دهید.

سوال 2: یکنواختی ضعیف لایه فیلم (ضخامت/رنگ نامنظم)
دلایل: مصرف نامنظم مواد هدف (مانند لکه‌های قوس روی سطح هدف)، فاصله نامنظم بین بستر و مواد هدف، توزیع نامنظم جریان هوا در داخل محفظه و عدم چرخش یا حرکت بستر با سرعت ثابت در طول فرآیند پوشش.
خرابی موتور، سایش و شل شدن چرخ دنده‌ها/تسمه‌های انتقال، اشیاء خارجی که اجزای انتقال را گیر می‌کنند. به طور منظم لکه‌های قوس را روی سطح مواد هدف تمیز کرده و در صورت لزوم مواد هدف را تعویض کنید. موقعیت قاب پایه را تنظیم کنید تا اطمینان حاصل شود که فاصله بین تمام پایه‌ها و مواد هدف یکسان است. بررسی کنید که آیا خط لوله گاز بدون مانع است و روش ورودی هوا را بهینه کنید. اطمینان حاصل کنید که سیستم انتقال پایه (مانند صفحه گردان) با سرعت ثابت کار می‌کند و اجزای انتقال معیوب را تعمیر کنید.

سوال 3: لایه فیلم دارای سوراخ‌های سوزنی، ذرات و حباب است
دلیل: داخل محفظه به طور کامل تمیز نشده است و گرد و غبار و ذرات باقی مانده است. خلوص مواد هدف کافی نیست و حاوی ناخالصی است. آلاینده‌هایی مانند رطوبت و لکه‌های روغن در گاز کار وجود دارد. سرعت پوشش خیلی زیاد است و گاز به موقع تخلیه نمی‌شود.
خرابی موتور، سایش و شل شدن چرخ دنده‌ها/تسمه‌های انتقال، اشیاء خارجی که اجزای انتقال را گیر می‌کنند. به طور منظم و کامل محفظه را تمیز کنید (از جمله مواد هدف، قاب پایه و دیواره داخلی)؛ مواد هدف و گازهای کاری با خلوص بالا را انتخاب کنید (مانند آرگون با خلوص بیش از 99.99%)؛ یک دستگاه فیلتر در خط لوله گاز نصب کنید تا رطوبت و لکه‌های روغن از بین برود. سرعت پوشش را به طور مناسب کاهش دهید و زمان خلاء را افزایش دهید.

سوال 4: رنگ غیرعادی لایه فیلم (انحراف رنگ، تیره شدن)
دلایل: ضخامت فیلم الزامات طراحی را برآورده نکرد، ترکیب مواد هدف از استاندارد منحرف شد، درجه خلاء در طول فرآیند پوشش نوسان داشت و دمای بستر خیلی زیاد یا خیلی کم بود.
خرابی موتور، سایش و شل شدن چرخ دنده‌ها/تسمه‌های انتقال، اشیاء خارجی که اجزای انتقال را گیر می‌کنند. مانیتور ضخامت فیلم را کالیبره کنید تا زمان و توان پوشش را دقیقاً کنترل کنید؛ مواد هدف واجد شرایط را تعویض کنید؛ نقاط نشتی را در سیستم خلاء بررسی کرده و درجه خلاء را تثبیت کنید. دمای بستر را به محدوده مناسب تنظیم کنید (به الزامات مواد هدف و نوع لایه فیلم مراجعه کنید).

III. خرابی عملکرد تجهیزات (تأثیر بر تداوم تولید)
سوال 1: هدف پاشش تخلیه نمی‌شود یا تخلیه ناپایدار است
علت: خرابی منبع تغذیه RF/DC، اتصال شل بین مواد هدف و منبع تغذیه، فشار هوای کار خیلی کم یا خیلی زیاد، اکسیداسیون شدید روی سطح مواد هدف.
راه حل: منبع تغذیه را بازرسی و تعمیر کنید (مانند تعویض فیوزها، تعمیر بردهای مدار)؛ بلوک‌های ترمینال مواد هدف را دوباره محکم کنید. فشار هوای کار را به محدوده معقول تنظیم کنید (معمولاً 0.1-1Pa)؛ مواد هدف را پیش‌پاشش کنید تا لایه اکسید سطح از بین برود.

سوال 2: خرابی سیستم خنک کننده (دمای بیش از حد مواد هدف/محفظه)
دلایل: خط لوله آب خنک کننده مسدود شده یا نشتی دارد، خنک کننده کافی نیست یا دما خیلی زیاد است و پمپ خنک کننده آسیب دیده است.
راه حل: خط لوله خنک کننده را باز کنید و قسمت نشتی را تعمیر کنید؛ خنک کننده را تجدید کنید (مانند آب دیونیزه یا روغن خنک کننده مخصوص) و اثر اتلاف حرارت مخزن آب خنک کننده را بررسی کنید. پمپ خنک کننده معیوب را تعمیر یا تعویض کنید.

سوال 3: سیستم انتقال گیر کرده است (قاب پایه نمی‌چرخد، نوار نقاله حرکت نمی‌کند)
علت:
خرابی موتور، سایش و شل شدن چرخ دنده‌ها/تسمه‌های انتقال، اشیاء خارجی که اجزای انتقال را گیر می‌کنند.راه حل:

موتور را بازرسی و تعمیر کنید (مانند بررسی سیم‌کشی و تعویض موتور)؛ چرخ دنده‌ها یا تسمه‌های فرسوده را تعویض کرده و اجزای انتقال را دوباره محکم کنید؛ اشیاء خارجی را از داخل محفظه و در سیستم انتقال پاک کنید.
بخش دوم

این چک لیست نگهداری روزانه برای تجهیزات پوشش خلاء بر اساس "روزانه/هفتگی/ماهانه" طبقه‌بندی شده است، با تمرکز بر اجزای اصلی و پارامترهای کلیدی، با در نظر گرفتن عملی بودن و قابلیت اجرا، و برای اجرای مستقیم مناسب است
I. نگهداری روزانه (قبل از راه‌اندازی و بعد از خاموش شدن، برای هر بار استفاده اجباری است)سطح روغن پمپ خلاء را بررسی کنید
تا اطمینان حاصل شود که بین خطوط مقیاس است و رنگ روغن کدر یا سیاه نیست.سطح محفظه خلاء و پنجره مشاهده را تمیز کنید
، گرد و غبار و اثر انگشت را پاک کنید تا بر مشاهده و آب‌بندی تأثیر نگذارد.سیستم خنک کننده را بررسی کنید:
سطح خنک کننده طبیعی است، هیچ نشتی یا انسدادی در خطوط لوله وجود ندارد و پمپ خنک کننده بدون صدای غیرعادی کار می‌کند.قطعات آب‌بندی (درب محفظه، حلقه آب‌بندی فلنج) را بازرسی کنید:
هیچ آسیبی یا تغییری شکل، هیچ لکه روغن یا ناخالصی روی سطح وجود ندارد. در صورت لزوم، آنها را با اتانول بدون آب پاک کنید.خط لوله گاز را تأیید کنید:
شیر به طور انعطاف‌پذیر باز و بسته می‌شود، هیچ نشتی وجود ندارد و فشار گاز کار (مانند آرگون) کافی است.پس از خاموش شدن، سطح مواد هدف را تمیز کنید:

لایه اکسید سطح را از طریق پیش‌پاشش پاک کنید و تمام شیرهای برق و گاز را خاموش کنید.
II. نگهداری هفتگی (بازرسی منظم برای جلوگیری از خطرات جزئی)سیستم انتقال را بررسی کنید:
قاب پایه و نوار نقاله به آرامی و بدون گیر کردن یا صدای غیرعادی کار می‌کنند و چرخ دنده‌ها/تسمه‌ها شل یا فرسوده نیستند.داخل محفظه را تمیز کنید:
دیواره‌های محفظه و قاب پایه را با یک پارچه بدون پرز پاک کنید تا هرگونه زباله و ذرات مواد هدف باقی مانده از بین برود.اتصال برق را بررسی کنید:
ترمینال‌های منبع تغذیه RF/DC شل یا بیش از حد گرم نیستند و لایه عایق کابل آسیب ندیده است.سرعت پمپاژ خلاء را آزمایش کنید:
زمان لازم برای تخلیه خلاء به درجه خلاء مورد نظر را ثبت کنید، آن را با مقدار استاندارد مقایسه کنید و تعیین کنید که آیا نشتی وجود دارد یا راندمان بدنه پمپ کاهش یافته است.اجزای کمکی را بررسی کنید:

مانیتور ضخامت فیلم، فشارسنج و سایر ابزارها به درستی نمایش داده می‌شوند و هیچ هشدار غیرعادی ندارند.
III. نگهداری ماهانه (سرویس عمیق برای افزایش طول عمر تجهیزات)روغن پمپ خلاء را تعویض کنید:
روغن قدیمی را کاملاً تخلیه کنید، مخزن روغن را تمیز کنید و روغن پمپ خلاء مخصوص جدید اضافه کنید (مطابق با مدل مطابق با دفترچه راهنمای تجهیزات).Inspect و قطعات آب‌بندی را تعویض کنید:
حلقه‌ها و واشرهای آب‌بندی فرسوده و سخت شده را تعویض کنید تا از اثر آب‌بندی اطمینان حاصل شود.فیلتر گاز را تمیز کنید:
عنصر فیلتر را در خط لوله گاز تعویض یا تمیز کنید تا ناخالصی‌هایی مانند رطوبت و لکه‌های روغن از بین برود.پارامترهای کلیدی را کالیبره کنید:
مانیتور ضخامت فیلم و فشارسنج خلاء را کالیبره کنید تا از دقت پوشش اطمینان حاصل شود؛ مصرف مواد هدف را بررسی کنید و در صورت لزوم آن را تعویض کنید.تجهیزات را کاملاً تمیز کنید:
گرد و غبار و لکه‌های روغن را از داخل تجهیزات پاک کنید، تهویه جعبه‌های اتصال مدار و کابینت‌های کنترل را بررسی کنید تا از گرم شدن بیش از حد جلوگیری شود.داده‌های عملکرد تجهیزات را ثبت کنید:

پارامترهایی مانند درجه خلاء، توان پاشش و زمان پوشش را خلاصه کنید، فایل‌های نگهداری ایجاد کنید و ردیابی خطای بعدی را تسهیل کنید.
IV. اقدامات احتیاطی در نگهداری1.
تمام عملیات نگهداری باید پس از قطع برق و گاز انجام شود تا از خطر برق گرفتگی یا نشت گاز جلوگیری شود.2.
هنگام تمیز کردن، از حلال‌های خورنده استفاده نکنید. اولویت را به استفاده از مواد مصرفی خاص مانند اتانول بدون آب و پارچه‌های بدون پرز بدهید.3.
هنگام تعویض قطعات (مانند مواد هدف و مهر و موم)، اطمینان حاصل کنید که مدل مطابقت دارد و به درستی نصب شده‌اند.4.

اگر هرگونه ناهنجاری تشخیص داده شد (مانند افت ناگهانی درجه خلاء، صدای غیرعادی تجهیزات یا هشدار)، فوراً دستگاه را برای بازرسی متوقف کنید. تا زمانی که عیب برطرف نشده است، به استفاده از آن ادامه ندهید.