2025-11-13
PART ONE
진공 증착 장비의 일반적인 문제는 주로 진공도, 막 품질, 장비 작동의 세 가지 핵심 시나리오에 집중되어 있습니다. 매개변수 및 구성 요소의 목표 문제 해결을 통해 이러한 문제를 효율적으로 해결할 수 있습니다. 다음은 자세한 설명입니다.
I. 진공 관련 문제 (코팅 환경에 대한 핵심 영향)
문제 1: 진공도를 달성할 수 없거나 펌핑 속도가 느립니다.
원인: 밀봉 부품(밀봉 링, 밀봉 고무)의 노후화 및 손상, 진공 펌프 오일의 오염 또는 부족, 진공 챔버 내부의 잔류 오일 및 수증기, 파이프라인 막힘 또는 밸브 고장.
해결책: 노후된 밀봉 부품을 교체하고 밀봉 표면을 청소합니다. 진공 펌프 오일을 교체/보충하고 진공 펌프를 정기적으로 유지 관리합니다. 무수 에탄올로 캐비티 및 내부 부품을 청소하고 건조하여 수분을 제거합니다. 파이프라인이 막혔는지 확인하고 고장난 밸브를 수리하거나 교체합니다.
문제 2: 진공도를 유지할 수 없음 (누출 발생 가능성)
원인: 캐비티 도어/플랜지가 단단히 밀봉되지 않았습니다. 창 유리와 캐비티 사이의 연결부에서 밀봉이 실패했는지 확인하고 파이프라인 연결부가 느슨한지 확인합니다.
해결책: 캐비티 도어와 플랜지 볼트를 다시 조여 밀봉 표면에 이물질이 없는지 확인합니다. 관찰 창의 개스킷을 교체합니다. 각 파이프 연결부를 하나씩 확인하고 느슨한 부분을 조이고 필요한 경우 연결부 밀봉을 교체합니다.
II. 막 층 품질 문제 (가장 일반적이며 제품 성능에 직접적인 영향)
문제 1: 막 층의 접착 불량 (박리 및 긁힘 발생 가능성)
원인: 기판 표면에 오일 얼룩 및 먼지와 같은 불순물이 있고 기판의 전처리가 불충분합니다. 코팅 온도가 너무 낮아 막 층이 기판과 단단히 결합되지 않습니다. 타겟 재료가 기판 재료와 일치하지 않거나 스퍼터링 전력/압력 매개변수가 비합리적입니다.
해결책: 코팅 전에 초음파로 기판을 청소하고 플라즈마 청소를 사용하여 표면 불순물을 제거합니다. 기판 온도를 적절하게 높입니다 (기판 허용 오차에 따라 조정). 적합한 타겟 재료를 교체하고 스퍼터링 전력 및 작동 공기압을 최적화하고 사전 스퍼터링 시간을 연장하여 타겟 재료 표면의 산화층을 제거합니다.
문제 2: 막 층의 균일성 불량 (두께/색상 불일치)
원인: 타겟 재료의 불균일한 소모 (예: 타겟 표면의 아크 반점), 기판과 타겟 재료 사이의 거리 불일치, 캐비티 내부의 불균일한 공기 흐름 분포, 코팅 과정에서 기판이 일정한 속도로 회전하거나 움직이지 않음.
해결책: 타겟 재료 표면의 아크 반점을 정기적으로 청소하고 필요한 경우 타겟 재료를 교체합니다. 모든 기판과 타겟 재료 사이의 거리가 일치하도록 기판 프레임의 위치를 조정합니다. 가스 파이프라인이 막히지 않았는지 확인하고 공기 흡입 방법을 최적화합니다. 기판 전송 시스템 (예: 턴테이블)이 일정한 속도로 작동하는지 확인하고 고장난 전송 구성 요소를 수리합니다.
문제 3: 막 층에 핀홀, 입자 및 기포가 있습니다.
원인: 캐비티 내부가 완전히 청소되지 않아 먼지와 입자가 남아 있습니다. 타겟 재료의 순도가 불충분하고 불순물이 포함되어 있습니다. 작동 가스에 수분 및 오일 얼룩과 같은 오염 물질이 있습니다. 코팅 속도가 너무 빠르고 가스가 제때 배출되지 않습니다.
해결책: 캐비티를 정기적으로 철저히 청소합니다 (타겟 재료, 기판 프레임 및 내벽 포함). 고순도 타겟 재료 및 작동 가스 (예: 99.99% 이상의 순도를 가진 아르곤)를 선택합니다. 가스 파이프라인에 필터링 장치를 설치하여 수분 및 오일 얼룩을 제거합니다. 코팅 속도를 적절하게 줄이고 진공 시간을 연장합니다.
문제 4: 막 층의 비정상적인 색상 (색상 편차, 어두워짐)
원인: 막 두께가 설계 요구 사항을 충족하지 못했고, 타겟 재료의 구성이 표준에서 벗어났으며, 코팅 과정에서 진공도가 변동했으며, 기판 온도가 너무 높거나 낮았습니다.
해결책: 막 두께 모니터를 보정하여 코팅 시간과 전력을 정확하게 제어합니다. 자격을 갖춘 타겟 재료를 교체합니다. 진공 시스템의 누출 지점을 확인하고 진공도를 안정화합니다. 기판 온도를 적절한 범위로 조정합니다 (타겟 재료 및 막 층 유형의 요구 사항 참조).
III. 장비 작동 실패 (생산 연속성에 영향)
문제 1: 스퍼터링 타겟이 방전되지 않거나 방전이 불안정합니다.
원인: RF/DC 전원 공급 장치 고장, 타겟 재료와 전원 공급 장치 사이의 느슨한 연결, 작동 공기압이 너무 낮거나 높음, 타겟 재료 표면의 심한 산화.
해결책: 전원 공급 장치를 검사하고 수리합니다 (예: 퓨즈 교체, 회로 기판 수리). 타겟 재료의 단자 블록을 다시 조입니다. 작동 공기압을 합리적인 범위로 조정합니다 (일반적으로 0.1-1Pa). 타겟 재료를 사전 스퍼터링하여 표면 산화층을 제거합니다.
문제 2: 냉각 시스템 고장 (타겟 재료/캐비티의 과도한 온도)
원인: 냉각수 파이프라인이 막히거나 누출, 냉각수가 부족하거나 온도가 너무 높음, 냉각 펌프 손상.
해결책: 냉각 파이프라인을 뚫고 누출 부분을 수리합니다. 냉각수 (예: 탈이온수 또는 특수 냉각 오일)를 보충하고 냉각수 탱크의 열 방출 효과를 확인합니다. 고장난 냉각 펌프를 수리하거나 교체합니다.
문제 3: 전송 시스템이 멈춤 (기판 프레임이 회전하지 않고 컨베이어 벨트가 움직이지 않음)
원인: 모터 고장, 전송 기어/벨트의 마모 및 느슨함, 이물질이 전송 구성 요소를 막음.
해결책: 모터를 검사하고 수리합니다 (예: 배선 확인 및 모터 교체). 마모된 기어 또는 벨트를 교체하고 전송 구성 요소를 다시 조입니다. 캐비티 내부 및 전송 시스템에서 이물질을 제거합니다.
PART TWO
진공 증착 장비에 대한 이 일일 유지 관리 체크리스트는 "일일/주간/월간"으로 분류되어 핵심 구성 요소 및 주요 매개변수에 중점을 두고 실용성과 작동성을 모두 고려하여 직접 구현하기에 편리합니다.
I. 일일 유지 관리 (시작 전 및 종료 후, 각 사용 시 필수)
진공 펌프의 오일 레벨을 확인합니다. 눈금선 사이에 있는지 확인하고 오일 색상이 탁하거나 검지 않은지 확인합니다.
진공 챔버와 관찰 창의 표면을 청소합니다. 먼지와 지문을 제거하여 관찰 및 밀봉에 영향을 미치지 않도록 합니다.
냉각 시스템을 확인합니다: 냉각수 레벨이 정상이고 파이프라인에 누출이나 막힘이 없으며 냉각 펌프가 비정상적인 소음 없이 작동합니다.
밀봉 부품 (캐비티 도어, 플랜지 밀봉 링)을 검사합니다: 손상이나 변형이 없고 표면에 오일 얼룩이나 불순물이 없습니다. 필요한 경우 무수 에탄올로 닦습니다.
가스 파이프라인을 확인합니다: 밸브가 유연하게 열리고 닫히고 누출이 없으며 작동 가스 (예: 아르곤)의 압력이 충분합니다.
종료 후 타겟 재료의 표면을 청소합니다: 사전 스퍼터링을 통해 표면 산화층을 제거하고 모든 전원 및 가스 밸브를 끕니다.
II. 주간 유지 관리 (사소한 위험을 방지하기 위한 정기 검사)
전송 시스템을 확인합니다: 기판 프레임과 컨베이어 벨트가 걸림이나 비정상적인 소음 없이 부드럽게 작동하고 기어/벨트가 느슨하거나 마모되지 않았습니다.
캐비티 내부를 청소합니다: 캐비티 벽과 기판 프레임을 보푸라기 없는 천으로 닦아 남아있는 타겟 재료 잔해와 입자를 제거합니다.
전원 연결을 확인합니다: RF/DC 전원 공급 장치의 단자가 느슨하거나 과열되지 않았고 케이블의 절연층이 손상되지 않았습니다.
진공 펌핑 속도를 테스트합니다: 진공을 목표 진공도로 대피하는 데 걸리는 시간을 기록하고 표준 값과 비교하여 누출 또는 펌프 본체 효율 감소가 있는지 확인합니다.
보조 구성 요소를 확인합니다: 막 두께 모니터, 압력 게이지 및 기타 계기가 정확하게 표시되고 비정상적인 경고가 없습니다.
III. 월간 유지 관리 (장비 수명 연장을 위한 심층 서비스)
진공 펌프 오일을 교체합니다: 오래된 오일을 완전히 배출하고 오일 탱크를 청소하고 새 특수 진공 펌프 오일을 추가합니다 (장비 설명서에 따라 모델과 일치).
Inspect 및 밀봉 부품 교체: 노후되고 경화된 밀봉 링과 개스킷을 교체하여 밀봉 효과를 보장합니다.
가스 필터를 청소합니다: 가스 파이프라인의 필터 요소를 교체하거나 청소하여 수분 및 오일 얼룩과 같은 불순물을 제거합니다.
주요 매개변수를 보정합니다: 코팅 정확도를 보장하기 위해 막 두께 모니터와 진공 게이지를 보정합니다. 타겟 재료의 소모를 확인하고 필요한 경우 교체합니다.
장비를 철저히 청소합니다: 장비 내부의 먼지와 오일 얼룩을 제거하고 회로 정션 박스 및 제어 캐비닛의 환기를 확인하여 과열을 방지합니다.
장비의 작동 데이터를 기록합니다: 진공도, 스퍼터링 전력 및 코팅 시간과 같은 매개변수를 요약하고 유지 관리 파일을 설정하여 후속 고장 추적을 용이하게 합니다.
IV. 유지 관리 주의 사항
1.모든 유지 관리 작업은 감전 또는 가스 누출의 위험을 피하기 위해 전원 및 가스 공급이 차단된 후에 수행해야 합니다.
2.청소할 때는 부식성 용제를 사용하지 마십시오. 무수 에탄올 및 보푸라기 없는 천과 같은 특수 소모품을 우선적으로 사용하십시오.
3.구성 요소 (예: 타겟 재료 및 씰)를 교체할 때는 모델이 일치하고 올바르게 설치되었는지 확인합니다.
4.비정상적인 사항 (예: 진공도의 갑작스러운 감소, 비정상적인 장비 소음 또는 경고)이 감지되면 즉시 기계를 중지하고 검사합니다. 고장이 제거될 때까지 계속 사용하지 마십시오.
