PARTE UM
Os problemas comuns com equipamentos de revestimento a vácuo estão principalmente concentrados em três cenários principais: grau de vácuo, qualidade do filme e operação do equipamento. A solução de problemas direcionada de parâmetros e componentes pode resolver esses problemas de forma eficiente. O seguinte é uma explicação detalhada:
I. Questões relacionadas ao vácuo (Impacto central no ambiente de revestimento)
Questão 1: O grau de vácuo não pode ser alcançado ou a velocidade de bombeamento é lenta
Razões: Envelhecimento e danos nas peças de vedação (anéis de vedação, borracha de vedação), contaminação ou insuficiência do óleo da bomba de vácuo, óleo residual e vapor de água dentro da câmara de vácuo, bloqueio da tubulação ou falha da válvula.
Solução: Substitua as peças de vedação envelhecidas e limpe a superfície de vedação; Substitua/reponha o óleo da bomba de vácuo e faça a manutenção da bomba de vácuo regularmente. Limpe a cavidade e as peças internas com etanol anidro e seque-as para remover a umidade. Verifique se a tubulação está bloqueada e repare ou substitua a válvula defeituosa.
Questão 2: O grau de vácuo não pode ser mantido (propenso a vazamentos)
Causa: A porta/flange da cavidade não está bem vedada. Observe que a vedação na conexão entre o vidro da janela e a cavidade falhou, e a junta da tubulação está solta.
Solução: Aperte novamente os parafusos da porta da cavidade e do flange para garantir que não haja objetos estranhos na superfície de vedação. Substitua a junta da janela de observação; Verifique cada junta da tubulação uma por uma, aperte as peças soltas e substitua as vedações das juntas, se necessário.
II. Questões de qualidade da camada de filme (as mais comuns, afetando diretamente o desempenho do produto)
Questão 1: Má adesão da camada de filme (propenso a descamação e arranhões)
Razão: Existem impurezas como manchas de óleo e poeira na superfície da base, e o pré-tratamento da base é insuficiente. A temperatura de revestimento é muito baixa e a camada de filme não adere firmemente ao substrato. O material alvo não corresponde ao material do substrato, ou os parâmetros de potência/pressão de pulverização são irracionais.
Solução: Limpe o substrato com ondas ultrassônicas antes do revestimento e use a limpeza por plasma para remover impurezas da superfície. Aumente adequadamente a temperatura do substrato (ajuste de acordo com a tolerância do substrato); Substitua o material alvo adequado, otimize a potência de pulverização e a pressão de ar de trabalho e estenda o tempo de pré-pulverização para remover a camada de óxido na superfície do material alvo.
Questão 2: Uniformidade deficiente da camada de filme (espessura/cor inconsistente)
Razões: Consumo desigual do material alvo (como manchas de arco na superfície do alvo), distância inconsistente entre o substrato e o material alvo, distribuição desigual do fluxo de ar dentro da cavidade e o substrato não girando ou se movendo a uma velocidade constante durante o processo de revestimento.
Solução: Limpe regularmente as manchas de arco na superfície do material alvo e substitua o material alvo, se necessário. Ajuste a posição da estrutura da base para garantir que a distância entre todas as bases e o material alvo seja consistente. Verifique se a tubulação de gás está desobstruída e otimize o método de entrada de ar. Certifique-se de que o sistema de transmissão da base (como a plataforma giratória) opere a uma velocidade constante e repare os componentes de transmissão defeituosos.
Questão 3: A camada de filme tem furos, partículas e bolhas
Razão: O interior da cavidade não foi completamente limpo, deixando poeira e partículas. A pureza do material alvo é insuficiente e contém impurezas. Existem contaminantes como umidade e manchas de óleo no gás de trabalho. A taxa de revestimento é muito rápida e o gás não é descarregado a tempo.
Solução: Limpe regular e completamente a cavidade (incluindo material alvo, estrutura da base e parede interna); Selecione materiais alvo e gases de trabalho de alta pureza (como argônio com uma pureza superior a 99,99%); Instale um dispositivo de filtragem na tubulação de gás para remover umidade e manchas de óleo. Reduza adequadamente a taxa de revestimento e estenda o tempo de vácuo.
Questão 4: Cor anormal da camada de filme (desvio de cor, escurecimento)
Razões: A espessura do filme não atendeu aos requisitos de projeto, a composição do material alvo desviou-se do padrão, o grau de vácuo flutuou durante o processo de revestimento e a temperatura do substrato estava muito alta ou muito baixa.
Solução: Calibre o monitor de espessura do filme para controlar com precisão o tempo e a potência de revestimento; Substitua os materiais alvo qualificados; Verifique se há pontos de vazamento no sistema de vácuo e estabilize o grau de vácuo. Ajuste a temperatura do substrato para a faixa apropriada (consulte os requisitos do material alvo e do tipo de camada de filme).
III. Falha na operação do equipamento (Afetando a continuidade da produção)
Questão 1: O alvo de pulverização não descarrega ou a descarga é instável
Causa: Falha na fonte de alimentação RF/CC, conexão solta entre o material alvo e a fonte de alimentação, pressão de ar de trabalho muito baixa ou muito alta, oxidação severa na superfície do material alvo.
Solução: Inspecione e repare a fonte de alimentação (como substituir fusíveis, reparar placas de circuito); Aperte novamente os blocos de terminais do material alvo. Ajuste a pressão de ar de trabalho para uma faixa razoável (geralmente 0,1-1Pa); Pré-pulverize o material alvo para remover a camada de óxido da superfície.
Questão 2: Falha no sistema de resfriamento (Temperatura excessiva do material alvo/cavidade)
Razões: A tubulação de água de resfriamento está entupida ou com vazamento, o líquido de arrefecimento é insuficiente ou a temperatura está muito alta e a bomba de resfriamento está danificada.
Solução: Desobstrua a tubulação de resfriamento e repare a parte com vazamento; Reabasteça o líquido de arrefecimento (como água desionizada ou óleo de resfriamento especial) e verifique o efeito de dissipação de calor do tanque de água de resfriamento. Repare ou substitua a bomba de resfriamento defeituosa.
Questão 3: O sistema de transmissão está preso (a estrutura da base não gira, a correia transportadora não se move)
Causa: Falha do motor, desgaste e afrouxamento das engrenagens/correias de transmissão, objetos estranhos prendendo os componentes de transmissão.
Solução: Inspecione e repare o motor (como verificar a fiação e substituir o motor); Substitua engrenagens ou correias desgastadas e aperte novamente os componentes de transmissão; Remova objetos estranhos de dentro da cavidade e no sistema de transmissão.
PARTE DOIS
Esta lista de verificação de manutenção diária para equipamentos de revestimento a vácuo é classificada por "diário/semanal/mensal", com foco em componentes principais e parâmetros-chave, levando em consideração a praticidade e a operabilidade, e é conveniente para implementação direta
I. Manutenção diária (Antes da inicialização e após o desligamento, obrigatório para cada uso)
Verifique o nível de óleo da bomba de vácuo para garantir que esteja entre as linhas de escala e que a cor do óleo não esteja turva ou preta.
Limpe a superfície da câmara de vácuo e a janela de observação, remova poeira e impressões digitais para evitar afetar a observação e a vedação.
Verifique o sistema de resfriamento: O nível do líquido de arrefecimento está normal, não há vazamentos ou obstruções nas tubulações e a bomba de resfriamento opera sem ruído anormal.
Inspecione as peças de vedação (porta da cavidade, anel de vedação do flange) : sem danos ou deformações, sem manchas de óleo ou impurezas na superfície. Se necessário, limpe-os com etanol anidro.
Confirme a tubulação de gás: A válvula abre e fecha de forma flexível, não há vazamentos e a pressão do gás de trabalho (como argônio) é suficiente.
Após o desligamento, limpe a superfície do material alvo: Remova a camada de óxido da superfície por meio de pré-pulverização e desligue todas as válvulas de energia e gás.
II. Manutenção semanal (Inspeção regular para evitar pequenos perigos)
Verifique o sistema de transmissão: A estrutura da base e a correia transportadora operam suavemente, sem emperramento ou ruído anormal, e as engrenagens/correias não estão soltas ou desgastadas.
Limpe o interior da cavidade: Limpe as paredes da cavidade e a estrutura da base com um pano sem fiapos para remover quaisquer detritos e partículas restantes do material alvo.
Verifique a conexão de energia: Os terminais da fonte de alimentação RF/CC não estão soltos ou superaquecidos, e a camada de isolamento do cabo não está danificada.
Teste a velocidade de bombeamento a vácuo: Registre o tempo necessário para evacuar o vácuo para o grau de vácuo alvo, compare-o com o valor padrão e determine se há algum vazamento ou uma diminuição na eficiência do corpo da bomba.
Verifique os componentes auxiliares: O monitor de espessura do filme, o manômetro e outros instrumentos exibem com precisão e não possuem alarmes anormais.
III. Manutenção mensal (Serviço profundo para estender a vida útil do equipamento)
Troque o óleo da bomba de vácuo: Drene completamente o óleo velho, limpe o tanque de óleo e adicione óleo novo especial para bomba de vácuo (combinando o modelo conforme o manual do equipamento).
Inspecione e substitua as peças de vedação: Substitua os anéis de vedação e juntas envelhecidos e endurecidos para garantir o efeito de vedação.
Limpe o filtro de gás: Substitua ou limpe o elemento filtrante na tubulação de gás para remover impurezas como umidade e manchas de óleo.
Calibre os parâmetros-chave: Calibre o monitor de espessura do filme e o medidor de vácuo para garantir a precisão do revestimento; Verifique o consumo do material alvo e substitua-o, se necessário.
Limpe completamente o equipamento: Remova a poeira e as manchas de óleo de dentro do equipamento, verifique a ventilação das caixas de junção do circuito e dos gabinetes de controle para evitar o superaquecimento.
Registre os dados de operação do equipamento: resuma parâmetros como grau de vácuo, potência de pulverização e tempo de revestimento, estabeleça arquivos de manutenção e facilite a rastreabilidade de falhas subsequentes.
IV. Precauções de manutenção
1.Todas as operações de manutenção devem ser realizadas após a interrupção do fornecimento de energia e gás para evitar o risco de choque elétrico ou vazamento de gás.
2.Ao limpar, não use solventes corrosivos. Dê prioridade ao uso de consumíveis especiais, como etanol anidro e panos sem fiapos.
3.Ao substituir componentes (como materiais alvo e vedações), certifique-se de que o modelo corresponda e que eles sejam instalados corretamente.
4.Se alguma anormalidade for detectada (como uma queda repentina no grau de vácuo, ruído anormal do equipamento ou alarme), pare a máquina imediatamente para inspeção. Não continue a usá-la até que a falha seja eliminada.
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