PARTE UNO
I problemi comuni con le apparecchiature di rivestimento sottovuoto si concentrano principalmente in tre scenari principali: grado di vuoto, qualità del film e funzionamento delle apparecchiature. La risoluzione mirata dei problemi di parametri e componenti può risolvere efficacemente questi problemi. Di seguito è riportata una spiegazione dettagliata:
I. Problemi relativi al vuoto (impatto principale sull'ambiente di rivestimento)
Domanda 1:Il grado di vuoto non può essere raggiunto o la velocità di pompaggio è lenta
Motivi: Invecchiamento e danneggiamento delle parti di tenuta (anelli di tenuta, gomma di tenuta), contaminazione o insufficienza dell'olio della pompa per vuoto, residui di olio e vapore acqueo all'interno della camera a vuoto, blocco delle tubazioni o guasto della valvola.
Soluzione: Sostituire le parti di tenuta invecchiate e pulire la superficie di tenuta; Sostituire/rabboccare l'olio della pompa per vuoto e manutenere regolarmente la pompa per vuoto. Pulire la cavità e le parti interne con etanolo anidro e asciugarle per rimuovere l'umidità. Verificare se la tubazione è bloccata e riparare o sostituire la valvola difettosa.
Domanda 2:Il grado di vuoto non può essere mantenuto (soggetto a perdite)
Causa:La porta/flangia della cavità non è sigillata ermeticamente. Osservare che la tenuta tra il vetro della finestra e la cavità è fallita e il giunto della tubazione è allentato.
Soluzione: Serrare nuovamente i bulloni della porta della cavità e della flangia per garantire l'assenza di corpi estranei sulla superficie di tenuta. Sostituire la guarnizione della finestra di osservazione; Controllare ogni giunto del tubo uno per uno, serrare le parti allentate e sostituire le guarnizioni dei giunti se necessario.
II. Problemi di qualità dello strato di film (i più comuni, che influenzano direttamente le prestazioni del prodotto)
Domanda 1:Scarsa adesione dello strato di film (soggetto a sfaldamento e graffi)
Motivo:Sono presenti impurità come macchie di olio e polvere sulla superficie della base e il pretrattamento della base è insufficiente. La temperatura di rivestimento è troppo bassa e lo strato di film non si lega saldamente al substrato. Il materiale target non corrisponde al materiale del substrato o i parametri di potenza/pressione di sputtering non sono ragionevoli.
Soluzione:Pulire il substrato con ultrasuoni prima del rivestimento e utilizzare la pulizia al plasma per rimuovere le impurità superficiali. Aumentare opportunamente la temperatura del substrato (regolare in base alla tolleranza del substrato); Sostituire il materiale target adatto, ottimizzare la potenza di sputtering e la pressione dell'aria di lavoro ed estendere il tempo di pre-sputtering per rimuovere lo strato di ossido sulla superficie del materiale target.
Domanda 2:Scarsa uniformità dello strato di film (spessore/colore incoerenti)
Motivi: Consumo non uniforme del materiale target (come macchie ad arco sulla superficie del target), distanza non uniforme tra il substrato e il materiale target, distribuzione non uniforme del flusso d'aria all'interno della cavità e il substrato non ruota o si muove a velocità costante durante il processo di rivestimento.
Soluzione:Pulire regolarmente le macchie ad arco sulla superficie del materiale target e sostituire il materiale target se necessario. Regolare la posizione del telaio di base per garantire che la distanza tra tutte le basi e il materiale target sia coerente. Verificare se la tubazione del gas è libera e ottimizzare il metodo di aspirazione dell'aria. Assicurarsi che il sistema di trasmissione della base (come la piattaforma girevole) funzioni a velocità costante e riparare i componenti di trasmissione difettosi.
Domanda 3:Lo strato di film presenta fori stenopeici, particelle e bolle
Motivo:L'interno della cavità non è stato pulito a fondo, lasciando polvere e particelle. La purezza del materiale target è insufficiente e contiene impurità. Sono presenti contaminanti come umidità e macchie di olio nel gas di lavoro. La velocità di rivestimento è troppo elevata e il gas non viene scaricato in tempo.
Soluzione:Pulire regolarmente e a fondo la cavità (compresi il materiale target, il telaio di base e la parete interna); Selezionare materiali target e gas di lavoro ad alta purezza (come l'argon con una purezza superiore al 99,99%); Installare un dispositivo di filtraggio nella tubazione del gas per rimuovere umidità e macchie di olio. Ridurre opportunamente la velocità di rivestimento ed estendere il tempo di aspirazione.
Domanda 4:Colore anomalo dello strato di film (deviazione del colore, scurimento)
Motivi: Lo spessore del film non soddisfa i requisiti di progettazione, la composizione del materiale target si è discostata dallo standard, il grado di vuoto ha fluttuato durante il processo di rivestimento e la temperatura del substrato era troppo alta o troppo bassa.
Soluzione:Calibrare il monitor dello spessore del film per controllare con precisione il tempo e la potenza di rivestimento; Sostituire i materiali target qualificati; Verificare la presenza di punti di perdita nel sistema del vuoto e stabilizzare il grado di vuoto. Regolare la temperatura del substrato sull'intervallo appropriato (fare riferimento ai requisiti del materiale target e del tipo di strato di film).
III. Guasto del funzionamento delle apparecchiature (che influisce sulla continuità della produzione)
Domanda 1:Il target di sputtering non si scarica o la scarica è instabile
Causa:Guasto dell'alimentatore RF/CC, collegamento allentato tra il materiale target e l'alimentatore, pressione dell'aria di lavoro troppo bassa o troppo alta, forte ossidazione sulla superficie del materiale target.
Soluzione: Ispezionare e riparare l'alimentatore (ad esempio sostituendo i fusibili, riparando i circuiti stampati); Serrare nuovamente i morsetti del materiale target. Regolare la pressione dell'aria di lavoro su un intervallo ragionevole (di solito 0,1-1 Pa); Pre-sputterare il materiale target per rimuovere lo strato di ossido superficiale.
Domanda 2:Guasto del sistema di raffreddamento (temperatura eccessiva del materiale target/cavità)
Motivi: La tubazione dell'acqua di raffreddamento è ostruita o perde, il refrigerante è insufficiente o la temperatura è troppo alta e la pompa di raffreddamento è danneggiata.
Soluzione: Sbloccare la tubazione di raffreddamento e riparare la parte che perde; Rabboccare il refrigerante (come acqua deionizzata o olio di raffreddamento speciale) e controllare l'effetto di dissipazione del calore del serbatoio dell'acqua di raffreddamento. Riparare o sostituire la pompa di raffreddamento difettosa.
Domanda 3: Il sistema di trasmissione è bloccato (il telaio di base non ruota, il nastro trasportatore non si muove)
Causa: guasto del motore, usura e allentamento degli ingranaggi/cinghie di trasmissione, corpi estranei che bloccano i componenti di trasmissione.
Soluzione:Ispezionare e riparare il motore (ad esempio controllando il cablaggio e sostituendo il motore); Sostituire gli ingranaggi o le cinghie usurati e serrare nuovamente i componenti di trasmissione; Rimuovere i corpi estranei dall'interno della cavità e nel sistema di trasmissione.
PARTE DUE
Questo elenco di controllo della manutenzione giornaliera per le apparecchiature di rivestimento sottovuoto è classificato per "giornaliero/settimanale/mensile", concentrandosi sui componenti principali e sui parametri chiave, tenendo conto sia della praticità che dell'operatività ed è comodo per l'implementazione diretta
I. Manutenzione giornaliera (prima dell'avvio e dopo l'arresto, obbligatoria per ogni utilizzo)
Controllare il livello dell'olio della pompa per vuoto per assicurarsi che sia tra le linee di scala e che il colore dell'olio non sia torbido o nero.
Pulire la superficie della camera a vuoto e la finestra di osservazione, rimuovere polvere e impronte digitali per evitare di compromettere l'osservazione e la tenuta.
Controllare il sistema di raffreddamento: Il livello del refrigerante è normale, non ci sono perdite o ostruzioni nelle tubazioni e la pompa di raffreddamento funziona senza rumori anomali.
Ispezionare le parti di tenuta (porta della cavità, anello di tenuta della flangia): nessun danno o deformazione, nessuna macchia di olio o impurità sulla superficie. Se necessario, pulirli con etanolo anidro.
Confermare la tubazione del gas: La valvola si apre e si chiude in modo flessibile, non ci sono perdite e la pressione del gas di lavoro (come l'argon) è sufficiente.
Dopo l'arresto, pulire la superficie del materiale target: Rimuovere lo strato di ossido superficiale tramite pre-sputtering e spegnere tutte le valvole di alimentazione e del gas.
II. Manutenzione settimanale (ispezione regolare per prevenire piccoli pericoli)
Controllare il sistema di trasmissione: Il telaio di base e il nastro trasportatore funzionano senza problemi senza inceppamenti o rumori anomali e gli ingranaggi/cinghie non sono allentati o usurati.
Pulire l'interno della cavità: Pulire le pareti della cavità e il telaio di base con un panno privo di lanugine per rimuovere eventuali detriti e particelle di materiale target rimanenti.
Controllare il collegamento dell'alimentazione: I terminali dell'alimentatore RF/CC non sono allentati o surriscaldati e lo strato isolante del cavo non è danneggiato.
Testare la velocità di pompaggio del vuoto: Registrare il tempo necessario per evacuare il vuoto al grado di vuoto desiderato, confrontarlo con il valore standard e determinare se vi sono perdite o una diminuzione dell'efficienza del corpo pompa.
Controllare i componenti ausiliari: Il monitor dello spessore del film, il manometro e altri strumenti visualizzano accuratamente e non hanno allarmi anomali.
III. Manutenzione mensile (assistenza approfondita per prolungare la durata delle apparecchiature)
Cambiare l'olio della pompa per vuoto: Svuotare completamente l'olio vecchio, pulire il serbatoio dell'olio e aggiungere nuovo olio speciale per pompa per vuoto (abbinando il modello come da manuale delle apparecchiature).
Inspezionare e sostituire le parti di tenuta: Sostituire gli anelli di tenuta e le guarnizioni invecchiati e induriti per garantire l'effetto di tenuta.
Pulire il filtro del gas: Sostituire o pulire l'elemento filtrante nella tubazione del gas per rimuovere impurità come umidità e macchie di olio.
Calibrare i parametri chiave: Calibrare il monitor dello spessore del film e il manometro per garantire la precisione del rivestimento; Controllare il consumo del materiale target e sostituirlo se necessario.
Pulire a fondo l'apparecchiatura: Rimuovere la polvere e le macchie di olio all'interno dell'apparecchiatura, controllare la ventilazione delle scatole di giunzione dei circuiti e degli armadi di controllo per evitare il surriscaldamento.
Registrare i dati di funzionamento dell'apparecchiatura: riepilogare parametri come il grado di vuoto, la potenza di sputtering e il tempo di rivestimento, istituire file di manutenzione e facilitare la successiva tracciabilità dei guasti.
IV. Precauzioni per la manutenzione
1.Tutte le operazioni di manutenzione devono essere eseguite dopo che l'alimentazione e l'alimentazione del gas sono state interrotte per evitare il rischio di scosse elettriche o perdite di gas.
2.Durante la pulizia, non utilizzare solventi corrosivi. Dare la priorità all'utilizzo di materiali di consumo speciali come etanolo anidro e panni privi di lanugine.
3.Quando si sostituiscono i componenti (come materiali target e guarnizioni), assicurarsi che il modello corrisponda e che siano installati correttamente.
4.Se viene rilevata un'anomalia (come un calo improvviso del grado di vuoto, rumori anomali dell'apparecchiatura o allarme), arrestare immediatamente la macchina per l'ispezione. Non continuare a utilizzarla fino a quando il guasto non viene eliminato.
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