>
>
2025-11-13
الجزء الأول
تتركز المشاكل الشائعة في معدات الطلاء بالفراغ بشكل أساسي في ثلاثة سيناريوهات رئيسية: درجة الفراغ، جودة الفيلم، وتشغيل المعدات. يمكن أن يؤدي استكشاف الأخطاء وإصلاحها المستهدف للمعلمات والمكونات إلى حل هذه المشكلات بكفاءة. فيما يلي شرح تفصيلي:
أولاً: المشكلات المتعلقة بالفراغ (التأثير الأساسي على بيئة الطلاء)
السؤال 1:لا يمكن تحقيق درجة الفراغ أو أن سرعة الضخ بطيئة
الأسباب:تقادم وتلف أجزاء الإحكام (حلقات الإحكام، المطاط المانع للتسرب)، تلوث أو عدم كفاية زيت مضخة التفريغ، بقايا الزيت وبخار الماء داخل غرفة التفريغ، انسداد خط الأنابيب أو تعطل الصمام.
الحل:استبدال أجزاء الإحكام القديمة وتنظيف سطح الإحكام؛ استبدال/تجديد زيت مضخة التفريغ وصيانة مضخة التفريغ بانتظام. تنظيف التجويف والأجزاء الداخلية بالإيثانول اللامائي وتجفيفها لإزالة الرطوبة. تحقق مما إذا كان خط الأنابيب مسدودًا وقم بإصلاح الصمام المعيب أو استبداله.
السؤال 2:لا يمكن الحفاظ على درجة الفراغ (عرضة للتسرب)
السبب:باب/شفة التجويف غير محكمة الإغلاق. لاحظ فشل الإحكام عند الوصلة بين الزجاج النافذة والتجويف، وأن وصلة خط الأنابيب مفكوكة.
الحل:أعد إحكام مسامير باب التجويف والشفة للتأكد من عدم وجود أجسام غريبة على سطح الإحكام. استبدل حشية نافذة المراقبة؛ تحقق من كل وصلة أنبوب على حدة، وشد الأجزاء المفكوكة، واستبدل موانع التسرب إذا لزم الأمر.
ثانياً: مشكلات جودة طبقة الفيلم (الأكثر شيوعًا، تؤثر بشكل مباشر على أداء المنتج)
السؤال 1:ضعف التصاق طبقة الفيلم (عرضة للتقشير والخدش)
السبب:هناك شوائب مثل بقع الزيت والغبار على سطح القاعدة، والمعالجة المسبقة للقاعدة غير كافية. درجة حرارة الطلاء منخفضة جدًا، ولا تلتصق طبقة الفيلم بقوة بالركيزة. لا تتطابق مادة الهدف مع مادة الركيزة، أو أن معلمات طاقة/ضغط الرش غير معقولة.
الحل:نظف الركيزة بالموجات فوق الصوتية قبل الطلاء، واستخدم التنظيف بالبلازما لإزالة الشوائب السطحية. قم بزيادة درجة حرارة الركيزة بشكل مناسب (اضبطها وفقًا لتحمل الركيزة)؛ استبدل مادة الهدف المناسبة، وحسّن طاقة الرش وضغط التشغيل، وقم بإطالة وقت الرش المسبق لإزالة طبقة الأكسيد على سطح مادة الهدف.
السؤال 2:عدم تجانس طبقة الفيلم (سُمك/لون غير متناسق)
الأسباب:الاستهلاك غير المتكافئ لمادة الهدف (مثل بقع القوس على سطح الهدف)، المسافة غير المتناسقة بين الركيزة ومادة الهدف، توزيع تدفق الهواء غير المتكافئ داخل التجويف، وعدم دوران الركيزة أو تحركها بسرعة ثابتة أثناء عملية الطلاء.
الحل:نظف بقع القوس على سطح مادة الهدف بانتظام واستبدل مادة الهدف إذا لزم الأمر. اضبط موضع إطار القاعدة للتأكد من أن المسافة بين جميع القواعد ومادة الهدف متسقة. تحقق مما إذا كان خط أنابيب الغاز غير معوق وحسّن طريقة سحب الهواء. تأكد من أن نظام نقل القاعدة (مثل القرص الدوار) يعمل بسرعة ثابتة وقم بإصلاح مكونات النقل المعيبة.
السؤال 3:تحتوي طبقة الفيلم على ثقوب دقيقة وجسيمات وفقاعات
السبب:لم يتم تنظيف الجزء الداخلي من التجويف جيدًا، مما أدى إلى ترك الغبار والجسيمات. نقاء مادة الهدف غير كافٍ ويحتوي على شوائب. توجد ملوثات مثل الرطوبة وبقع الزيت في غاز العمل. معدل الطلاء سريع جدًا ولا يتم تصريف الغاز في الوقت المناسب.
الحل:نظف التجويف بانتظام وبشكل شامل (بما في ذلك مادة الهدف وإطار القاعدة والجدار الداخلي)؛ اختر مواد هدف وغازات عمل عالية النقاء (مثل الأرجون بنقاء يزيد عن 99.99%)؛ قم بتركيب جهاز تصفية في خط أنابيب الغاز لإزالة الرطوبة وبقع الزيت. قلل معدل الطلاء بشكل مناسب وقم بإطالة وقت التفريغ.
السؤال 4:لون طبقة الفيلم غير طبيعي (انحراف اللون، التعتيم)
الأسباب:لم يستوفِ سمك الفيلم متطلبات التصميم، وانحرف تكوين مادة الهدف عن المعيار، وتقلب درجة الفراغ أثناء عملية الطلاء، وكانت درجة حرارة الركيزة مرتفعة جدًا أو منخفضة جدًا.
الحل:قم بمعايرة جهاز مراقبة سمك الفيلم للتحكم بدقة في وقت الطلاء والطاقة؛ استبدل مواد الهدف المؤهلة؛ تحقق من نقاط التسرب في نظام التفريغ وثبت درجة الفراغ. اضبط درجة حرارة الركيزة على النطاق المناسب (ارجع إلى متطلبات مادة الهدف ونوع طبقة الفيلم).
ثالثاً: فشل تشغيل المعدات (يؤثر على استمرارية الإنتاج)
السؤال 1:لا يفرغ هدف الرش أو أن التفريغ غير مستقر
السبب:فشل مصدر طاقة التردد اللاسلكي/التيار المستمر، اتصال مفكوك بين مادة الهدف ومصدر الطاقة، ضغط هواء تشغيل منخفض جدًا أو مرتفع جدًا، أكسدة شديدة على سطح مادة الهدف.
الحل:افحص مصدر الطاقة وأصلحه (مثل استبدال المصهرات وإصلاح لوحات الدوائر)؛ أعد إحكام كتل أطراف مادة الهدف. اضبط ضغط هواء التشغيل على نطاق معقول (عادةً 0.1-1 باسكال)؛ قم بالرش المسبق لمادة الهدف لإزالة طبقة الأكسيد السطحية.
السؤال 2:فشل نظام التبريد (درجة الحرارة المفرطة لمادة الهدف/التجويف)
الأسباب:انسداد أو تسرب خط أنابيب مياه التبريد، عدم كفاية المبرد أو ارتفاع درجة حرارته، وتلف مضخة التبريد.
الحل:افتح خط أنابيب التبريد وأصلح الجزء المتسرب؛ قم بتجديد المبرد (مثل الماء منزوع الأيونات أو زيت تبريد خاص)، وتحقق من تأثير تبديد الحرارة لخزان مياه التبريد. قم بإصلاح أو استبدال مضخة التبريد المعيبة.
السؤال 3:تعطل نظام النقل (لا يدور إطار القاعدة، ولا يتحرك الحزام الناقل)
السبب: فشل المحرك، تآكل وفقدان تروس/أحزمة النقل، دخول أجسام غريبة تعيق مكونات النقل.
الحل:افحص المحرك وأصلحه (مثل فحص الأسلاك واستبدال المحرك)؛ استبدل التروس أو الأحزمة البالية وأعد إحكام مكونات النقل؛ قم بإزالة الأجسام الغريبة من داخل التجويف وفي نظام النقل.
الجزء الثاني
تم تصنيف قائمة التحقق هذه للصيانة اليومية لمعدات الطلاء بالفراغ حسب "يومي/أسبوعي/شهري"، مع التركيز على المكونات الأساسية والمعلمات الرئيسية، مع مراعاة كل من التطبيق العملي والتشغيل، وهي مناسبة للتنفيذ المباشر
أولاً: الصيانة اليومية (قبل التشغيل وبعد الإغلاق، إلزامي لكل استخدام)
تحقق من مستوى الزيت في مضخة التفريغللتأكد من أنه بين خطوط المقياس، وأن لون الزيت ليس عكرًا أو أسود.
نظف سطح غرفة التفريغ ونافذة المراقبة، قم بإزالة الغبار وبصمات الأصابع لتجنب التأثير على المراقبة والإحكام.
تحقق من نظام التبريد:مستوى المبرد طبيعي، لا يوجد تسرب أو انسداد في خطوط الأنابيب، وتعمل مضخة التبريد بدون ضوضاء غير طبيعية.
افحص أجزاء الإحكام (باب التجويف، حلقة إحكام الشفة):لا يوجد تلف أو تشوه، ولا توجد بقع زيت أو شوائب على السطح. إذا لزم الأمر، امسحها بالإيثانول اللامائي.
تأكد من خط أنابيب الغاز:يفتح الصمام ويغلق بمرونة، ولا يوجد تسرب، وضغط غاز العمل (مثل الأرجون) كافٍ.
بعد الإغلاق، نظف سطح مادة الهدف:قم بإزالة طبقة الأكسيد السطحية من خلال الرش المسبق، وأوقف تشغيل جميع صمامات الطاقة والغاز.
ثانياً: الصيانة الأسبوعية (فحص منتظم لمنع المخاطر البسيطة)
تحقق من نظام النقل:يعمل إطار القاعدة والحزام الناقل بسلاسة دون تشويش أو ضوضاء غير طبيعية، والتروس/الأحزمة ليست مفكوكة أو بالية.
نظف الجزء الداخلي من التجويف:امسح جدران التجويف وإطار القاعدة بقطعة قماش خالية من النسالة لإزالة أي بقايا وجسيمات مادة الهدف المتبقية.
تحقق من توصيل الطاقة:أطراف مصدر طاقة التردد اللاسلكي/التيار المستمر ليست مفكوكة أو مفرطة السخونة، وطبقة العزل للكابل غير تالفة.
اختبر سرعة الضخ بالفراغ:سجل الوقت الذي يستغرقه إخلاء الفراغ إلى درجة الفراغ المستهدفة، وقارنه بالقيمة القياسية، وحدد ما إذا كان هناك أي تسرب أو انخفاض في كفاءة جسم المضخة.
تحقق من المكونات المساعدة:تعرض شاشة سمك الفيلم ومقياس الضغط والأدوات الأخرى بدقة وليس لديها إنذارات غير طبيعية.
ثالثاً: الصيانة الشهرية (خدمة عميقة لإطالة عمر المعدات)
غير زيت مضخة التفريغ:قم بتصريف الزيت القديم بالكامل، ونظف خزان الزيت، وأضف زيت مضخة تفريغ خاص جديد (يتوافق مع الطراز وفقًا لدليل المعدات).
أنافحص واستبدال أجزاء الإحكام:استبدل حلقات الإحكام والحشيات القديمة والمتصلبة لضمان تأثير الإحكام.
نظف مرشح الغاز:استبدل أو نظف عنصر المرشح في خط أنابيب الغاز لإزالة الشوائب مثل الرطوبة وبقع الزيت.
قم بمعايرة المعلمات الرئيسية:قم بمعايرة شاشة سمك الفيلم ومقياس التفريغ لضمان دقة الطلاء؛ تحقق من استهلاك مادة الهدف واستبدلها إذا لزم الأمر.
نظف المعدات جيدًا:قم بإزالة الغبار وبقع الزيت داخل المعدات، وتحقق من تهوية صناديق وصلات الدوائر الكهربائية وخزائن التحكم لمنع ارتفاع درجة الحرارة.
سجل بيانات تشغيل المعدات:لخص معلمات مثل درجة الفراغ وطاقة الرش ووقت الطلاء، وأنشئ ملفات صيانة، ويسهل تتبع الأخطاء اللاحقة.
رابعاً: احتياطات الصيانة
1.يجب إجراء جميع عمليات الصيانة بعد قطع التيار الكهربائي وإمدادات الغاز لتجنب خطر الصدمة الكهربائية أو تسرب الغاز.
2.عند التنظيف، لا تستخدم المذيبات المسببة للتآكل. أعط الأولوية لاستخدام المواد الاستهلاكية الخاصة مثل الإيثانول اللامائي وقطع القماش الخالية من النسالة.
3.عند استبدال المكونات (مثل مواد الهدف والأختام)، تأكد من أن الطراز يتطابق وأنها مثبتة بشكل صحيح.
4.إذا تم اكتشاف أي خلل (مثل الانخفاض المفاجئ في درجة الفراغ أو ضوضاء المعدات غير الطبيعية أو الإنذار)، فأوقف تشغيل الجهاز على الفور للفحص. لا تستمر في استخدامه حتى يتم التخلص من العطل.
اتصل بنا في أي وقت
