BAGIAN SATU
Masalah umum pada peralatan pelapisan vakum terutama terpusat pada tiga skenario inti: tingkat vakum, kualitas film, dan pengoperasian peralatan. Pemecahan masalah yang ditargetkan pada parameter dan komponen dapat secara efisien menyelesaikan masalah ini. Berikut adalah penjelasan rinci:
I. Masalah Terkait Vakum (Dampak Inti pada Lingkungan Pelapisan)
Pertanyaan 1: Tingkat vakum tidak dapat dicapai atau kecepatan pemompaan lambat
Alasan: Penuaan dan kerusakan bagian penyegel (cincin penyegel, karet penyegel), kontaminasi atau kekurangan oli pompa vakum, sisa uap oli dan air di dalam ruang vakum, penyumbatan saluran pipa atau kegagalan katup.
Solusi: Ganti bagian penyegel yang sudah tua dan bersihkan permukaan penyegel; Ganti/isi ulang oli pompa vakum dan rawat pompa vakum secara teratur. Bersihkan rongga dan bagian dalam dengan etanol anhidrat dan keringkan untuk menghilangkan kelembapan. Periksa apakah saluran pipa tersumbat dan perbaiki atau ganti katup yang rusak.
Pertanyaan 2: Tingkat vakum tidak dapat dipertahankan (rentan terhadap kebocoran)
Penyebab: Pintu/flensa rongga tidak tersegel rapat. Amati bahwa segel pada sambungan antara kaca jendela dan rongga telah gagal, dan sambungan saluran pipa longgar.
Solusi: Kencangkan kembali baut pintu rongga dan flensa untuk memastikan tidak ada benda asing pada permukaan penyegel. Ganti paking jendela pengamatan; Periksa setiap sambungan pipa satu per satu, kencangkan bagian yang longgar, dan ganti segel sambungan jika perlu.
II. Masalah kualitas lapisan film (paling umum, secara langsung memengaruhi kinerja produk)
Pertanyaan 1: Adhesi lapisan film yang buruk (rentan terhadap pengelupasan dan goresan)
Alasan: Terdapat kotoran seperti noda oli dan debu pada permukaan dasar, dan pra-perawatan dasar tidak mencukupi. Suhu pelapisan terlalu rendah, dan lapisan film tidak merekat erat dengan substrat. Bahan target tidak cocok dengan bahan substrat, atau parameter daya/tekanan sputtering tidak masuk akal.
Solusi: Bersihkan substrat dengan gelombang ultrasonik sebelum pelapisan, dan gunakan pembersihan plasma untuk menghilangkan kotoran permukaan. Tingkatkan suhu substrat secara tepat (sesuaikan sesuai dengan toleransi substrat); Ganti bahan target yang sesuai, optimalkan daya sputtering dan tekanan udara kerja, dan perpanjang waktu pra-sputtering untuk menghilangkan lapisan oksida pada permukaan bahan target.
Pertanyaan 2: Keseragaman lapisan film yang buruk (ketebalan/warna tidak konsisten)
Alasan: Konsumsi bahan target yang tidak merata (seperti bintik busur pada permukaan target), jarak yang tidak konsisten antara substrat dan bahan target, distribusi aliran udara yang tidak merata di dalam rongga, dan substrat tidak berputar atau bergerak dengan kecepatan konstan selama proses pelapisan.
Solusi: Bersihkan bintik busur pada permukaan bahan target secara teratur dan ganti bahan target jika perlu. Sesuaikan posisi rangka dasar untuk memastikan bahwa jarak antara semua dasar dan bahan target konsisten. Periksa apakah saluran pipa gas tidak terhalang dan optimalkan metode pemasukan udara. Pastikan bahwa sistem transmisi dasar (seperti meja putar) beroperasi dengan kecepatan konstan dan perbaiki komponen transmisi yang rusak.
Pertanyaan 3: Lapisan film memiliki lubang jarum, partikel, dan gelembung
Alasan: Bagian dalam rongga tidak dibersihkan secara menyeluruh, meninggalkan debu dan partikel. Kemurnian bahan target tidak mencukupi dan mengandung kotoran. Terdapat kontaminan seperti kelembapan dan noda oli dalam gas kerja. Laju pelapisan terlalu cepat dan gas tidak dikeluarkan tepat waktu.
Solusi: Bersihkan rongga secara teratur dan menyeluruh (termasuk bahan target, rangka dasar, dan dinding bagian dalam); Pilih bahan target dan gas kerja dengan kemurnian tinggi (seperti argon dengan kemurnian di atas 99,99%); Pasang perangkat penyaringan di saluran pipa gas untuk menghilangkan kelembapan dan noda oli. Kurangi laju pelapisan secara tepat dan perpanjang waktu vakum.
Pertanyaan 4: Warna lapisan film yang tidak normal (penyimpangan warna, penggelapan)
Alasan: Ketebalan film tidak memenuhi persyaratan desain, komposisi bahan target menyimpang dari standar, tingkat vakum berfluktuasi selama proses pelapisan, dan suhu substrat terlalu tinggi atau terlalu rendah.
Solusi: Kalibrasi monitor ketebalan film untuk mengontrol waktu dan daya pelapisan secara tepat; Ganti bahan target yang memenuhi syarat; Periksa titik kebocoran dalam sistem vakum dan stabilkan tingkat vakum. Sesuaikan suhu substrat ke rentang yang sesuai (mengacu pada persyaratan bahan target dan jenis lapisan film).
III. Kegagalan Pengoperasian Peralatan (Memengaruhi Kontinuitas Produksi)
Pertanyaan 1: Target sputtering tidak mengeluarkan atau pengeluaran tidak stabil
Penyebab: Kegagalan catu daya RF/DC, sambungan longgar antara bahan target dan catu daya, tekanan udara kerja terlalu rendah atau terlalu tinggi, oksidasi parah pada permukaan bahan target.
Solusi: Periksa dan perbaiki catu daya (seperti mengganti sekering, memperbaiki papan sirkuit); Kencangkan kembali blok terminal bahan target. Sesuaikan tekanan udara kerja ke rentang yang wajar (biasanya 0,1-1Pa); Pra-sputter bahan target untuk menghilangkan lapisan oksida permukaan.
Pertanyaan 2: Kegagalan sistem pendingin (Suhu bahan target/rongga yang berlebihan)
Alasan: Saluran pipa air pendingin tersumbat atau bocor, pendingin tidak mencukupi atau suhunya terlalu tinggi, dan pompa pendingin rusak.
Solusi: Buka sumbatan saluran pipa pendingin dan perbaiki bagian yang bocor; Isi ulang pendingin (seperti air deionisasi atau oli pendingin khusus), dan periksa efek pelepasan panas dari tangki air pendingin. Perbaiki atau ganti pompa pendingin yang rusak.
Pertanyaan 3: Sistem transmisi macet (rangka dasar tidak berputar, ban berjalan tidak bergerak)
Penyebab: Kegagalan motor, keausan dan kelonggaran roda gigi/sabuk transmisi, benda asing yang menghambat komponen transmisi.
Solusi: Periksa dan perbaiki motor (seperti memeriksa kabel dan mengganti motor); Ganti roda gigi atau sabuk yang aus dan kencangkan kembali komponen transmisi; Bersihkan benda asing dari dalam rongga dan dalam sistem transmisi.
BAGIAN DUA
Daftar periksa perawatan harian untuk peralatan pelapisan vakum ini diklasifikasikan berdasarkan "harian/mingguan/bulanan", dengan fokus pada komponen inti dan parameter kunci, dengan mempertimbangkan kepraktisan dan pengoperasian, dan nyaman untuk implementasi langsung
I. Perawatan Harian (Sebelum memulai dan setelah mematikan, wajib untuk setiap penggunaan)
Periksa level oli pompa vakum untuk memastikan berada di antara garis skala, dan warna oli tidak keruh atau hitam.
Bersihkan permukaan ruang vakum dan jendela pengamatan, hilangkan debu dan sidik jari untuk menghindari memengaruhi pengamatan dan penyegelan.
Periksa sistem pendingin: Level pendingin normal, tidak ada kebocoran atau penyumbatan di saluran pipa, dan pompa pendingin beroperasi tanpa suara abnormal.
Periksa bagian penyegel (pintu rongga, cincin penyegel flensa) : tidak ada kerusakan atau deformasi, tidak ada noda oli atau kotoran pada permukaan. Jika perlu, usap dengan etanol anhidrat.
Konfirmasikan saluran pipa gas: Katup membuka dan menutup secara fleksibel, tidak ada kebocoran, dan tekanan gas kerja (seperti argon) cukup.
Setelah mematikan, bersihkan permukaan bahan target: Hilangkan lapisan oksida permukaan melalui pra-sputtering, dan matikan semua daya dan katup gas.
II. Perawatan Mingguan (Pemeriksaan rutin untuk mencegah bahaya kecil)
Periksa sistem transmisi: Rangka dasar dan ban berjalan beroperasi dengan lancar tanpa macet atau suara abnormal, dan roda gigi/sabuk tidak longgar atau aus.
Bersihkan bagian dalam rongga: Usap dinding rongga dan rangka dasar dengan kain bebas serat untuk menghilangkan sisa serpihan dan partikel bahan target.
Periksa sambungan daya: Terminal catu daya RF/DC tidak longgar atau terlalu panas, dan lapisan isolasi kabel tidak rusak.
Uji kecepatan pemompaan vakum: Catat waktu yang dibutuhkan untuk mengosongkan vakum ke tingkat vakum target, bandingkan dengan nilai standar, dan tentukan apakah ada kebocoran atau penurunan efisiensi badan pompa.
Periksa komponen tambahan: Monitor ketebalan film, pengukur tekanan, dan instrumen lainnya menampilkan secara akurat dan tidak memiliki alarm abnormal.
III. Perawatan Bulanan (Servis mendalam untuk Memperpanjang Umur Peralatan)
Ganti oli pompa vakum: Kuras sepenuhnya oli lama, bersihkan tangki oli, dan tambahkan oli pompa vakum khusus baru (sesuai dengan model sesuai dengan manual peralatan).
Inspeksi dan ganti bagian penyegel: Ganti cincin penyegel dan paking yang sudah tua dan mengeras untuk memastikan efek penyegelan.
Bersihkan filter gas: Ganti atau bersihkan elemen filter di saluran pipa gas untuk menghilangkan kotoran seperti kelembapan dan noda oli.
Kalibrasi parameter kunci: Kalibrasi monitor ketebalan film dan pengukur vakum untuk memastikan akurasi pelapisan; Periksa konsumsi bahan target dan ganti jika perlu.
Bersihkan peralatan secara menyeluruh: Hilangkan debu dan noda oli di dalam peralatan, periksa ventilasi kotak sambungan sirkuit dan kabinet kontrol untuk mencegah panas berlebih.
Catat data pengoperasian peralatan: rangkum parameter seperti tingkat vakum, daya sputtering, dan waktu pelapisan, buat file perawatan, dan fasilitasi penelusuran kesalahan selanjutnya.
IV. Tindakan Pencegahan Perawatan
1.Semua operasi perawatan harus dilakukan setelah daya dan pasokan gas terputus untuk menghindari risiko sengatan listrik atau kebocoran gas.
2.Saat membersihkan, jangan gunakan pelarut korosif. Berikan prioritas untuk menggunakan bahan habis pakai khusus seperti etanol anhidrat dan kain bebas serat.
3.Saat mengganti komponen (seperti bahan target dan segel), pastikan modelnya cocok dan dipasang dengan benar.
4.Jika ada kelainan yang terdeteksi (seperti penurunan tiba-tiba tingkat vakum, suara peralatan yang tidak normal, atau alarm), segera hentikan mesin untuk diperiksa. Jangan terus menggunakannya sampai kesalahan dihilangkan.
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
