ЧАСТЬ ПЕРВАЯ
Основные проблемы с оборудованием для вакуумного напыления в основном сосредоточены в трех ключевых сценариях: вакуум, качество пленки и работа оборудования. Целенаправленная диагностика параметров и компонентов может эффективно решить эти проблемы. Ниже приводится подробное объяснение:
I. Проблемы, связанные с вакуумом (основное влияние на среду напыления)
Вопрос 1: Невозможно достичь вакуума или скорость откачки низкая
Причины: Старение и повреждение уплотнительных деталей (уплотнительные кольца, уплотнительная резина), загрязнение или недостаточность масла вакуумного насоса, остаточный пар масла и воды внутри вакуумной камеры, засорение трубопровода или неисправность клапана.
Решение: Замените устаревшие уплотнительные детали и очистите уплотнительную поверхность; Замените/долейте масло вакуумного насоса и регулярно обслуживайте вакуумный насос. Очистите полость и внутренние детали безводным этанолом и высушите их для удаления влаги. Проверьте, не засорен ли трубопровод, и отремонтируйте или замените неисправный клапан.
Вопрос 2: Невозможно поддерживать вакуум (склонность к утечкам)
Причина: Дверь/фланец камеры не герметичны. Наблюдается нарушение герметичности в месте соединения между оконным стеклом и камерой, а также ослабление соединения трубопровода.
Решение: Затяните болты двери камеры и фланца, чтобы убедиться в отсутствии посторонних предметов на уплотнительной поверхности. Замените прокладку смотрового окна; Проверьте каждое трубное соединение по одному, затяните ослабленные детали и при необходимости замените уплотнения соединений.
II. Проблемы с качеством пленочного слоя (наиболее распространенные, напрямую влияющие на производительность продукта)
Вопрос 1: Плохая адгезия пленочного слоя (склонность к отслаиванию и царапинам)
Причина: На поверхности основы имеются загрязнения, такие как масляные пятна и пыль, а предварительная обработка основы недостаточна. Температура напыления слишком низкая, и пленочный слой не прочно связывается с подложкой. Материал мишени не соответствует материалу подложки, или параметры мощности/давления распыления неразумны.
Решение: Очистите подложку ультразвуком перед напылением и используйте плазменную очистку для удаления поверхностных загрязнений. Соответствующим образом увеличьте температуру подложки (отрегулируйте в соответствии с допуском подложки); Замените подходящий материал мишени, оптимизируйте мощность распыления и рабочее давление воздуха, а также увеличьте время предварительного распыления для удаления оксидного слоя на поверхности материала мишени.
Вопрос 2: Неравномерность пленочного слоя (несоответствие толщины/цвета)
Причины: Неравномерный расход материала мишени (например, дуговые пятна на поверхности мишени), несоответствие расстояния между подложкой и материалом мишени, неравномерное распределение воздушного потока внутри камеры, а также отсутствие вращения или движения подложки с постоянной скоростью во время процесса напыления.
Решение: Регулярно очищайте дуговые пятна на поверхности материала мишени и при необходимости заменяйте материал мишени. Отрегулируйте положение базовой рамы, чтобы обеспечить одинаковое расстояние между всеми основаниями и материалом мишени. Проверьте, не заблокирован ли газопровод, и оптимизируйте метод забора воздуха. Убедитесь, что система передачи основания (например, поворотный стол) работает с постоянной скоростью, и отремонтируйте неисправные компоненты передачи.
Вопрос 3: В пленочном слое имеются поры, частицы и пузырьки
Причина: Внутренняя часть камеры не была тщательно очищена, в ней остались пыль и частицы. Чистота материала мишени недостаточна, и он содержит примеси. В рабочем газе присутствуют загрязнители, такие как влага и масляные пятна. Скорость напыления слишком высока, и газ не удаляется вовремя.
Решение: Регулярно и тщательно очищайте камеру (включая материал мишени, базовую раму и внутреннюю стенку); Выбирайте материалы мишени и рабочие газы высокой чистоты (например, аргон чистотой более 99,99%); Установите фильтрующее устройство в газопроводе для удаления влаги и масляных пятен. Соответствующим образом уменьшите скорость напыления и увеличьте время вакуумирования.
Вопрос 4: Ненормальный цвет пленочного слоя (отклонение цвета, потемнение)
Причины: Толщина пленки не соответствовала требованиям конструкции, состав материала мишени отклонялся от стандарта, вакуум колебался во время процесса напыления, а температура подложки была слишком высокой или слишком низкой.
Решение: Откалибруйте измеритель толщины пленки для точного контроля времени и мощности напыления; Замените квалифицированные материалы мишени; Проверьте наличие точек утечки в вакуумной системе и стабилизируйте вакуум. Отрегулируйте температуру подложки до соответствующего диапазона (в соответствии с требованиями к материалу мишени и типу пленочного слоя).
III. Сбой в работе оборудования (влияет на непрерывность производства)
Вопрос 1: Мишень для распыления не разряжается или разряд нестабилен
Причина: Неисправность источника питания RF/DC, ослабленное соединение между материалом мишени и источником питания, слишком низкое или слишком высокое рабочее давление воздуха, сильное окисление на поверхности материала мишени.
Решение: Осмотрите и отремонтируйте источник питания (например, замените предохранители, отремонтируйте печатные платы); Затяните клеммные колодки материала мишени. Отрегулируйте рабочее давление воздуха до разумного диапазона (обычно 0,1-1 Па); Предварительно распылите материал мишени, чтобы удалить поверхностный оксидный слой.
Вопрос 2: Сбой системы охлаждения (чрезмерная температура материала мишени/камеры)
Причины: Трубопровод охлаждающей воды засорен или протекает, охлаждающей жидкости недостаточно или температура слишком высока, а охлаждающий насос поврежден.
Решение: Прочистите трубопровод охлаждения и отремонтируйте протекающую часть; Долейте охлаждающую жидкость (например, деионизированную воду или специальное охлаждающее масло) и проверьте эффект отвода тепла от бака охлаждающей воды. Отремонтируйте или замените неисправный охлаждающий насос.
Вопрос 3: Заедание системы передачи (базовая рама не вращается, конвейерная лента не движется)
Причина: Неисправность двигателя, износ и ослабление шестерен/ремней передачи, попадание посторонних предметов в компоненты передачи.
Решение: Осмотрите и отремонтируйте двигатель (например, проверьте проводку и замените двигатель); Замените изношенные шестерни или ремни и затяните компоненты передачи; Удалите посторонние предметы изнутри камеры и системы передачи.
ЧАСТЬ ВТОРАЯ
Этот контрольный список ежедневного технического обслуживания оборудования для вакуумного напыления классифицируется по категориям «ежедневно/еженедельно/ежемесячно», ориентируясь на основные компоненты и ключевые параметры, учитывая как практичность, так и работоспособность, и удобен для непосредственного внедрения
I. Ежедневное техническое обслуживание (перед запуском и после выключения, обязательно для каждого использования)
Проверьте уровень масла в вакуумном насосечтобы убедиться, что он находится между линиями шкалы, а цвет масла не мутный и не черный.
Очистите поверхность вакуумной камеры и смотрового окна, удалите пыль и отпечатки пальцев, чтобы не повлиять на наблюдение и герметизацию.
Проверьте систему охлаждения: Уровень охлаждающей жидкости в норме, в трубопроводах нет утечек и засоров, а охлаждающий насос работает без посторонних шумов.
Осмотрите уплотнительные детали (дверь камеры, уплотнительное кольцо фланца):отсутствие повреждений или деформаций, отсутствие масляных пятен или загрязнений на поверхности. При необходимости протрите их безводным этанолом.
Подтвердите газопровод: Клапан открывается и закрывается гибко, нет утечек, а давление рабочего газа (например, аргона) достаточно.
После выключения очистите поверхность материала мишени: Удалите поверхностный оксидный слой путем предварительного распыления и выключите все клапаны питания и газа.
II. Еженедельное техническое обслуживание (регулярный осмотр для предотвращения незначительных опасностей)
Проверьте систему передачи: Базовая рама и конвейерная лента работают плавно, без заеданий и посторонних шумов, а шестерни/ремни не ослаблены и не изношены.
Очистите внутреннюю часть камеры: Протрите стенки камеры и базовую раму безворсовой тканью, чтобы удалить остатки материала мишени и частицы.
Проверьте подключение питания: Клеммы источника питания RF/DC не ослаблены и не перегреваются, а изоляционный слой кабеля не поврежден.
Проверьте скорость откачки: Запишите время, необходимое для вакуумирования до целевой степени вакуума, сравните его со стандартным значением и определите, есть ли утечки или снижение эффективности корпуса насоса.
Проверьте вспомогательные компоненты: Измеритель толщины пленки, манометр и другие приборы отображают показания точно и не имеют аномальных сигналов тревоги.
III. Ежемесячное техническое обслуживание (глубокое обслуживание для продления срока службы оборудования)
Замените масло в вакуумном насосе: Полностью слейте старое масло, очистите масляный бак и добавьте новое специальное масло для вакуумного насоса (в соответствии с моделью в соответствии с руководством по эксплуатации оборудования).
Iосмотрите и замените уплотнительные детали: Замените устаревшие и затвердевшие уплотнительные кольца и прокладки, чтобы обеспечить эффект уплотнения.
Очистите газовый фильтр: Замените или очистите фильтрующий элемент в газопроводе для удаления примесей, таких как влага и масляные пятна.
Откалибруйте ключевые параметры: Откалибруйте измеритель толщины пленки и вакуумметр, чтобы обеспечить точность напыления; Проверьте расход материала мишени и при необходимости замените его.
Тщательно очистите оборудование: Удалите пыль и масляные пятна внутри оборудования, проверьте вентиляцию распределительных коробок и шкафов управления, чтобы предотвратить перегрев.
Запишите данные работы оборудования: обобщите такие параметры, как вакуум, мощность распыления и время напыления, создайте файлы технического обслуживания и облегчите последующую трассировку неисправностей.
IV. Меры предосторожности при техническом обслуживании
1.Все операции по техническому обслуживанию должны выполняться после отключения питания и подачи газа, чтобы избежать риска поражения электрическим током или утечки газа.
2.При очистке не используйте агрессивные растворители. Отдавайте предпочтение использованию специальных расходных материалов, таких как безводный этанол и безворсовые ткани.
3.При замене компонентов (например, материалов мишени и уплотнений) убедитесь, что модель соответствует и они установлены правильно.
4.При обнаружении каких-либо отклонений (например, внезапного падения вакуума, ненормального шума оборудования или сигнала тревоги) немедленно остановите машину для осмотра. Не продолжайте использовать его, пока не будет устранена неисправность.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
