PARTIE UN
Les problèmes courants avec les équipements de revêtement sous vide se concentrent principalement sur trois scénarios principaux : le degré de vide, la qualité du film et le fonctionnement de l'équipement. Le dépannage ciblé des paramètres et des composants peut résoudre efficacement ces problèmes. Ce qui suit est une explication détaillée :
I. Problèmes liés au vide (Impact central sur l'environnement de revêtement)
Question 1 : Le degré de vide ne peut pas être atteint ou la vitesse de pompage est lente
Raisons : Vieillissement et endommagement des pièces d'étanchéité (joints, caoutchouc d'étanchéité), contamination ou insuffisance de l'huile de la pompe à vide, vapeur d'huile et d'eau résiduelle à l'intérieur de la chambre à vide, blocage des conduites ou défaillance des vannes.
Solution : Remplacez les pièces d'étanchéité vieillies et nettoyez la surface d'étanchéité ; Remplacez/remplissez l'huile de la pompe à vide et entretenez régulièrement la pompe à vide. Nettoyez la cavité et les pièces internes avec de l'éthanol anhydre et séchez-les pour éliminer l'humidité. Vérifiez si la conduite est bloquée et réparez ou remplacez la vanne défectueuse.
Question 2 : Le degré de vide ne peut pas être maintenu (sujet aux fuites)
Cause : La porte/bride de la cavité n'est pas hermétiquement scellée. Observez que le joint entre le verre de la fenêtre et la cavité a échoué et que le joint de la conduite est lâche.
Solution : Resserrez les boulons de la porte de la cavité et de la bride pour vous assurer qu'il n'y a pas de corps étrangers sur la surface d'étanchéité. Remplacez le joint de la fenêtre d'observation ; Vérifiez chaque joint de tuyau un par un, serrez les pièces desserrées et remplacez les joints si nécessaire.
II. Problèmes de qualité de la couche de film (les plus courants, affectant directement les performances du produit)
Question 1 : Mauvaise adhérence de la couche de film (sujette à l'écaillage et aux rayures)
Raison : Il y a des impuretés telles que des taches d'huile et de la poussière sur la surface de la base, et le prétraitement de la base est insuffisant. La température de revêtement est trop basse et la couche de film ne se lie pas fermement au substrat. Le matériau cible ne correspond pas au matériau du substrat, ou les paramètres de puissance/pression de pulvérisation sont déraisonnables.
Solution : Nettoyez le substrat avec des ondes ultrasonores avant le revêtement et utilisez un nettoyage au plasma pour éliminer les impuretés de surface. Augmentez de manière appropriée la température du substrat (ajustez-la en fonction de la tolérance du substrat) ; Remplacez le matériau cible approprié, optimisez la puissance de pulvérisation et la pression d'air de travail, et prolongez le temps de pré-pulvérisation pour éliminer la couche d'oxyde sur la surface du matériau cible.
Question 2 : Mauvaise uniformité de la couche de film (épaisseur/couleur incohérente)
Raisons : Consommation inégale du matériau cible (telle que des points d'arc sur la surface cible), distance incohérente entre le substrat et le matériau cible, répartition inégale du flux d'air à l'intérieur de la cavité et le substrat ne tournant pas ou ne se déplaçant pas à une vitesse constante pendant le processus de revêtement.
Solution : Nettoyez régulièrement les points d'arc sur la surface du matériau cible et remplacez le matériau cible si nécessaire. Ajustez la position du bâti de base pour vous assurer que la distance entre toutes les bases et le matériau cible est constante. Vérifiez si la conduite de gaz est dégagée et optimisez la méthode d'admission d'air. Assurez-vous que le système de transmission de la base (tel que la table tournante) fonctionne à une vitesse constante et réparez les composants de transmission défectueux.
Question 3 : La couche de film présente des trous d'épingle, des particules et des bulles
Raison : L'intérieur de la cavité n'a pas été nettoyé à fond, laissant de la poussière et des particules. La pureté du matériau cible est insuffisante et il contient des impuretés. Il y a des contaminants tels que l'humidité et des taches d'huile dans le gaz de travail. La vitesse de revêtement est trop rapide et le gaz n'est pas évacué à temps.
Solution : Nettoyez régulièrement et à fond la cavité (y compris le matériau cible, le bâti de base et la paroi interne) ; Sélectionnez des matériaux cibles et des gaz de travail de haute pureté (tels que l'argon avec une pureté supérieure à 99,99 %) ; Installez un dispositif de filtration dans la conduite de gaz pour éliminer l'humidité et les taches d'huile. Réduisez de manière appropriée la vitesse de revêtement et prolongez le temps de mise sous vide.
Question 4 : Couleur anormale de la couche de film (déviation de couleur, assombrissement)
Raisons : L'épaisseur du film n'a pas répondu aux exigences de conception, la composition du matériau cible s'est écartée de la norme, le degré de vide a fluctué pendant le processus de revêtement et la température du substrat était trop élevée ou trop basse.
Solution : Calibrez le moniteur d'épaisseur du film pour contrôler précisément le temps de revêtement et la puissance ; Remplacez les matériaux cibles qualifiés ; Vérifiez les points de fuite dans le système de vide et stabilisez le degré de vide. Ajustez la température du substrat à la plage appropriée (reportez-vous aux exigences du matériau cible et du type de couche de film).
III. Défaillance du fonctionnement de l'équipement (affectant la continuité de la production)
Question 1 : La cible de pulvérisation ne se décharge pas ou la décharge est instable
Cause : Défaillance de l'alimentation RF/CC, connexion lâche entre le matériau cible et l'alimentation, pression d'air de travail trop basse ou trop élevée, forte oxydation à la surface du matériau cible.
Solution : Inspectez et réparez l'alimentation (par exemple, remplacez les fusibles, réparez les cartes de circuits imprimés) ; Resserrez les borniers du matériau cible. Ajustez la pression d'air de travail à une plage raisonnable (généralement 0,1-1 Pa) ; Pré-pulvérisez le matériau cible pour éliminer la couche d'oxyde de surface.
Question 2 : Défaillance du système de refroidissement (température excessive du matériau cible/cavité)
Raisons : La conduite d'eau de refroidissement est obstruée ou fuit, le liquide de refroidissement est insuffisant ou la température est trop élevée et la pompe de refroidissement est endommagée.
Solution : Débouchez la conduite de refroidissement et réparez la partie qui fuit ; Remplissez le liquide de refroidissement (tel que de l'eau désionisée ou une huile de refroidissement spéciale) et vérifiez l'effet de dissipation thermique du réservoir d'eau de refroidissement. Réparez ou remplacez la pompe de refroidissement défectueuse.
Question 3 : Le système de transmission est bloqué (le bâti de base ne tourne pas, la courroie transporteuse ne bouge pas)
Cause : Défaillance du moteur, usure et desserrage des engrenages/courroies de transmission, corps étrangers bloquant les composants de transmission.
Solution : Inspectez et réparez le moteur (par exemple, vérifiez le câblage et remplacez le moteur) ; Remplacez les engrenages ou les courroies usés et resserrez les composants de transmission ; Retirez les corps étrangers de l'intérieur de la cavité et du système de transmission.
PARTIE DEUX
Cette liste de contrôle d'entretien quotidien pour les équipements de revêtement sous vide est classée par "quotidien/hebdomadaire/mensuel", en se concentrant sur les composants principaux et les paramètres clés, en tenant compte à la fois de la praticité et de l'opérabilité, et est pratique pour une mise en œuvre directe
I. Entretien quotidien (Avant le démarrage et après l'arrêt, obligatoire pour chaque utilisation)
Vérifiez le niveau d'huile de la pompe à videpour vous assurer qu'il se situe entre les lignes d'échelle et que la couleur de l'huile n'est ni trouble ni noire.
Nettoyez la surface de la chambre à vide et la fenêtre d'observation, retirez la poussière et les empreintes digitales pour éviter d'affecter l'observation et l'étanchéité.
Vérifiez le système de refroidissement : Le niveau de liquide de refroidissement est normal, il n'y a pas de fuite ni d'obstruction dans les conduites, et la pompe de refroidissement fonctionne sans bruit anormal.
Inspectez les pièces d'étanchéité (porte de la cavité, joint de bride) :pas de dommage ni de déformation, pas de taches d'huile ni d'impuretés sur la surface. Si nécessaire, essuyez-les avec de l'éthanol anhydre.
Confirmez la conduite de gaz : La vanne s'ouvre et se ferme avec souplesse, il n'y a pas de fuite et la pression du gaz de travail (tel que l'argon) est suffisante.
Après l'arrêt, nettoyez la surface du matériau cible : Retirez la couche d'oxyde de surface par pré-pulvérisation et éteignez toutes les vannes d'alimentation et de gaz.
II. Entretien hebdomadaire (Inspection régulière pour prévenir les risques mineurs)
Vérifiez le système de transmission : Le bâti de base et la courroie transporteuse fonctionnent en douceur sans blocage ni bruit anormal, et les engrenages/courroies ne sont ni desserrés ni usés.
Nettoyez l'intérieur de la cavité : Essuyez les parois de la cavité et le bâti de base avec un chiffon non pelucheux pour éliminer les débris et les particules restants du matériau cible.
Vérifiez la connexion d'alimentation : Les bornes de l'alimentation RF/CC ne sont ni desserrées ni surchauffées, et la couche d'isolation du câble n'est pas endommagée.
Testez la vitesse de pompage sous vide : Enregistrez le temps nécessaire pour évacuer le vide jusqu'au degré de vide cible, comparez-le à la valeur standard et déterminez s'il y a une fuite ou une diminution de l'efficacité du corps de la pompe.
Vérifiez les composants auxiliaires : Le moniteur d'épaisseur de film, le manomètre et d'autres instruments affichent avec précision et n'ont pas d'alarmes anormales.
III. Entretien mensuel (Entretien en profondeur pour prolonger la durée de vie de l'équipement)
Changez l'huile de la pompe à vide : Videz complètement l'ancienne huile, nettoyez le réservoir d'huile et ajoutez une nouvelle huile spéciale pour pompe à vide (correspondant au modèle selon le manuel de l'équipement).
Inspectez et remplacez les pièces d'étanchéité : Remplacez les joints et les joints toriques vieillis et durcis pour garantir l'effet d'étanchéité.
Nettoyez le filtre à gaz : Remplacez ou nettoyez l'élément filtrant dans la conduite de gaz pour éliminer les impuretés telles que l'humidité et les taches d'huile.
Calibrez les paramètres clés : Calibrez le moniteur d'épaisseur de film et le manomètre pour garantir la précision du revêtement ; Vérifiez la consommation du matériau cible et remplacez-le si nécessaire.
Nettoyez soigneusement l'équipement : Retirez la poussière et les taches d'huile à l'intérieur de l'équipement, vérifiez la ventilation des boîtes de jonction de circuits et des armoires de commande pour éviter la surchauffe.
Enregistrez les données de fonctionnement de l'équipement : résumez les paramètres tels que le degré de vide, la puissance de pulvérisation et le temps de revêtement, établissez des dossiers d'entretien et facilitez la traçabilité des défauts ultérieurs.
IV. Précautions d'entretien
1.Toutes les opérations d'entretien doivent être effectuées après la coupure de l'alimentation électrique et du gaz pour éviter le risque d'électrocution ou de fuite de gaz.
2.Lors du nettoyage, n'utilisez pas de solvants corrosifs. Privilégiez l'utilisation de consommables spéciaux tels que l'éthanol anhydre et les chiffons non pelucheux.
3.Lors du remplacement de composants (tels que les matériaux cibles et les joints), assurez-vous que le modèle correspond et qu'ils sont correctement installés.
4.Si une anomalie est détectée (telle qu'une chute soudaine du degré de vide, un bruit anormal de l'équipement ou une alarme), arrêtez immédiatement la machine pour inspection. Ne continuez pas à l'utiliser tant que le défaut n'est pas éliminé.
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