PARTE UNO
Los problemas comunes con los equipos de recubrimiento al vacío se concentran principalmente en tres escenarios principales: grado de vacío, calidad de la película y funcionamiento del equipo. La solución de problemas dirigida a los parámetros y componentes puede resolver estos problemas de manera eficiente. A continuación se muestra una explicación detallada:
I. Problemas relacionados con el vacío (Impacto central en el entorno de recubrimiento)
Pregunta 1: No se puede alcanzar el grado de vacío o la velocidad de bombeo es lenta
Razones: Envejecimiento y daño de las piezas de sellado (anillos de sellado, goma de sellado), contaminación o insuficiencia del aceite de la bomba de vacío, vapor de aceite y agua residual dentro de la cámara de vacío, bloqueo de la tubería o falla de la válvula.
Solución: Reemplace las piezas de sellado envejecidas y limpie la superficie de sellado; Reemplace/reponga el aceite de la bomba de vacío y mantenga la bomba de vacío regularmente. Limpie la cavidad y las piezas internas con etanol anhidro y séquelas para eliminar la humedad. Verifique si la tubería está bloqueada y repare o reemplace la válvula defectuosa.
Pregunta 2: No se puede mantener el grado de vacío (propenso a fugas)
Causa: La puerta/brida de la cavidad no está bien sellada. Observe que el sello en la conexión entre el vidrio de la ventana y la cavidad ha fallado, y la junta de la tubería está suelta.
Solución: Vuelva a apretar los pernos de la puerta de la cavidad y la brida para asegurarse de que no haya objetos extraños en la superficie de sellado. Reemplace la junta de la ventana de observación; Verifique cada junta de tubería una por una, apriete las piezas sueltas y reemplace los sellos de las juntas si es necesario.
II. Problemas de calidad de la capa de película (los más comunes, que afectan directamente el rendimiento del producto)
Pregunta 1: Poca adherencia de la capa de película (propensa a pelarse y rayarse)
Razón: Hay impurezas como manchas de aceite y polvo en la superficie de la base, y el pretratamiento de la base es insuficiente. La temperatura de recubrimiento es demasiado baja y la capa de película no se adhiere firmemente al sustrato. El material objetivo no coincide con el material del sustrato, o los parámetros de potencia/presión de pulverización son irrazonables.
Solución: Limpie el sustrato con ondas ultrasónicas antes del recubrimiento y use limpieza por plasma para eliminar las impurezas de la superficie. Aumente apropiadamente la temperatura del sustrato (ajuste según la tolerancia del sustrato); Reemplace el material objetivo adecuado, optimice la potencia de pulverización y la presión de aire de trabajo, y extienda el tiempo de pre-pulverización para eliminar la capa de óxido en la superficie del material objetivo.
Pregunta 2: Poca uniformidad de la capa de película (espesor/color inconsistentes)
Razones: Consumo desigual del material objetivo (como manchas de arco en la superficie del objetivo), distancia inconsistente entre el sustrato y el material objetivo, distribución desigual del flujo de aire dentro de la cavidad y el sustrato no gira ni se mueve a una velocidad constante durante el proceso de recubrimiento.
Solución: Limpie regularmente las manchas de arco en la superficie del material objetivo y reemplace el material objetivo si es necesario. Ajuste la posición del marco base para asegurarse de que la distancia entre todas las bases y el material objetivo sea consistente. Verifique si la tubería de gas no está obstruida y optimice el método de entrada de aire. Asegúrese de que el sistema de transmisión de la base (como la plataforma giratoria) funcione a una velocidad constante y repare los componentes de transmisión defectuosos.
Pregunta 3: La capa de película tiene agujeros, partículas y burbujas
Razón: El interior de la cavidad no se limpió a fondo, dejando polvo y partículas. La pureza del material objetivo es insuficiente y contiene impurezas. Hay contaminantes como humedad y manchas de aceite en el gas de trabajo. La velocidad de recubrimiento es demasiado rápida y el gas no se descarga a tiempo.
Solución: Limpie regular y a fondo la cavidad (incluido el material objetivo, el marco base y la pared interna); Seleccione materiales objetivo y gases de trabajo de alta pureza (como argón con una pureza superior al 99,99%); Instale un dispositivo de filtrado en la tubería de gas para eliminar la humedad y las manchas de aceite. Reduzca apropiadamente la velocidad de recubrimiento y extienda el tiempo de vacío.
Pregunta 4: Color anormal de la capa de película (desviación de color, oscurecimiento)
Razones: El espesor de la película no cumplió con los requisitos de diseño, la composición del material objetivo se desvió del estándar, el grado de vacío fluctuó durante el proceso de recubrimiento y la temperatura del sustrato fue demasiado alta o demasiado baja.
Solución: Calibre el monitor de espesor de la película para controlar con precisión el tiempo y la potencia de recubrimiento; Reemplace los materiales objetivo calificados; Verifique si hay puntos de fuga en el sistema de vacío y estabilice el grado de vacío. Ajuste la temperatura del sustrato al rango apropiado (consulte los requisitos del material objetivo y el tipo de capa de película).
III. Falla de funcionamiento del equipo (que afecta la continuidad de la producción)
Pregunta 1: El objetivo de pulverización no se descarga o la descarga es inestable
Causa: Falla de la fuente de alimentación RF/CC, conexión suelta entre el material objetivo y la fuente de alimentación, presión de aire de trabajo demasiado baja o demasiado alta, oxidación severa en la superficie del material objetivo.
Solución: Inspeccione y repare la fuente de alimentación (como reemplazar fusibles, reparar placas de circuito); Vuelva a apretar los bloques de terminales del material objetivo. Ajuste la presión de aire de trabajo a un rango razonable (generalmente 0,1-1Pa); Pre-pulverice el material objetivo para eliminar la capa de óxido de la superficie.
Pregunta 2: Falla del sistema de enfriamiento (Temperatura excesiva del material objetivo/cavidad)
Razones: La tubería de agua de enfriamiento está obstruida o tiene fugas, el refrigerante es insuficiente o la temperatura es demasiado alta y la bomba de enfriamiento está dañada.
Solución: Desatasque la tubería de enfriamiento y repare la parte con fugas; Reponga el refrigerante (como agua desionizada o aceite de enfriamiento especial) y verifique el efecto de disipación de calor del tanque de agua de enfriamiento. Repare o reemplace la bomba de enfriamiento defectuosa.
Pregunta 3: El sistema de transmisión está atascado (el marco base no gira, la cinta transportadora no se mueve)
Causa: Falla del motor, desgaste y aflojamiento de los engranajes/correas de transmisión, objetos extraños que atascan los componentes de transmisión.
Solución: Inspeccione y repare el motor (como verificar el cableado y reemplazar el motor); Reemplace los engranajes o correas desgastados y vuelva a apretar los componentes de transmisión; Retire los objetos extraños del interior de la cavidad y del sistema de transmisión.
PARTE DOS
Esta lista de verificación de mantenimiento diario para equipos de recubrimiento al vacío se clasifica por "diario/semanal/mensual", centrándose en los componentes principales y los parámetros clave, teniendo en cuenta tanto la practicidad como la operatividad, y es conveniente para la implementación directa
I. Mantenimiento diario (Antes del inicio y después del apagado, obligatorio para cada uso)
Verifique el nivel de aceite de la bomba de vacío para asegurarse de que esté entre las líneas de escala y que el color del aceite no sea turbio ni negro.
Limpie la superficie de la cámara de vacío y la ventana de observación, retire el polvo y las huellas dactilares para evitar afectar la observación y el sellado.
Verifique el sistema de enfriamiento: El nivel de refrigerante es normal, no hay fugas ni obstrucciones en las tuberías y la bomba de enfriamiento funciona sin ruidos anormales.
Inspeccione las piezas de sellado (puerta de la cavidad, anillo de sellado de la brida) : sin daños ni deformaciones, sin manchas de aceite ni impurezas en la superficie. Si es necesario, límpielos con etanol anhidro.
Confirme la tubería de gas: La válvula se abre y se cierra de forma flexible, no hay fugas y la presión del gas de trabajo (como el argón) es suficiente.
Después del apagado, limpie la superficie del material objetivo: Retire la capa de óxido de la superficie mediante pre-pulverización y apague todas las válvulas de alimentación y gas.
II. Mantenimiento semanal (Inspección regular para prevenir riesgos menores)
Verifique el sistema de transmisión: El marco base y la cinta transportadora funcionan sin problemas sin atascos ni ruidos anormales, y los engranajes/correas no están sueltos ni desgastados.
Limpie el interior de la cavidad: Limpie las paredes de la cavidad y el marco base con un paño sin pelusa para eliminar los restos de material objetivo y las partículas restantes.
Verifique la conexión de alimentación: Los terminales de la fuente de alimentación RF/CC no están sueltos ni sobrecalentados, y la capa de aislamiento del cable no está dañada.
Pruebe la velocidad de bombeo al vacío: Registre el tiempo que tarda en evacuar el vacío al grado de vacío objetivo, compárelo con el valor estándar y determine si hay alguna fuga o una disminución en la eficiencia del cuerpo de la bomba.
Verifique los componentes auxiliares: El monitor de espesor de la película, el manómetro y otros instrumentos se muestran con precisión y no tienen alarmas anormales.
III. Mantenimiento mensual (Servicio profundo para extender la vida útil del equipo)
Cambie el aceite de la bomba de vacío: Drene completamente el aceite viejo, limpie el tanque de aceite y agregue aceite nuevo especial para bombas de vacío (que coincida con el modelo según el manual del equipo).
Inspeccione y reemplace las piezas de sellado: Reemplace los anillos de sellado y las juntas envejecidos y endurecidos para garantizar el efecto de sellado.
Limpie el filtro de gas: Reemplace o limpie el elemento filtrante en la tubería de gas para eliminar impurezas como humedad y manchas de aceite.
Calibre los parámetros clave: Calibre el monitor de espesor de la película y el manómetro de vacío para garantizar la precisión del recubrimiento; Verifique el consumo del material objetivo y reemplácelo si es necesario.
Limpie a fondo el equipo: Retire el polvo y las manchas de aceite del interior del equipo, verifique la ventilación de las cajas de conexiones de los circuitos y los gabinetes de control para evitar el sobrecalentamiento.
Registre los datos de funcionamiento del equipo: resuma parámetros como el grado de vacío, la potencia de pulverización y el tiempo de recubrimiento, establezca archivos de mantenimiento y facilite el seguimiento de fallas posteriores.
IV. Precauciones de mantenimiento
1.Todas las operaciones de mantenimiento deben realizarse después de que se haya cortado el suministro de energía y gas para evitar el riesgo de descarga eléctrica o fugas de gas.
2.Al limpiar, no utilice disolventes corrosivos. Dé prioridad al uso de consumibles especiales como etanol anhidro y paños sin pelusa.
3.Al reemplazar componentes (como materiales objetivo y sellos), asegúrese de que el modelo coincida y que estén instalados correctamente.
4.Si se detecta alguna anomalía (como una caída repentina del grado de vacío, ruido anormal del equipo o alarma), detenga la máquina inmediatamente para su inspección. No continúe usándolo hasta que se elimine la falla.
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