ΜΕΡΟΣ ΠΡΩΤΟ
Τα κοινά προβλήματα με τον εξοπλισμό επίστρωσης κενού επικεντρώνονται κυρίως σε τρία βασικά σενάρια: βαθμός κενού, ποιότητα φιλμ και λειτουργία εξοπλισμού. Η στοχευμένη αντιμετώπιση προβλημάτων παραμέτρων και εξαρτημάτων μπορεί να λύσει αποτελεσματικά αυτά τα ζητήματα. Ακολουθεί μια λεπτομερής εξήγηση:
I. Ζητήματα που σχετίζονται με το κενό (Βασικός αντίκτυπος στο περιβάλλον επίστρωσης)
Ερώτηση 1: Ο βαθμός κενού δεν μπορεί να επιτευχθεί ή η ταχύτητα άντλησης είναι αργή
Λόγοι: Γήρανση και ζημιά στα στεγανοποιητικά μέρη (δακτύλιοι στεγανοποίησης, ελαστικό στεγανοποίησης), μόλυνση ή ανεπάρκεια λαδιού αντλίας κενού, υπολειμματικό λάδι και υδρατμοί μέσα στο θάλαμο κενού, απόφραξη αγωγών ή βλάβη βαλβίδας.
Λύση: Αντικαταστήστε τα παλαιωμένα στεγανοποιητικά μέρη και καθαρίστε την επιφάνεια στεγανοποίησης. Αντικαταστήστε/αναπληρώστε το λάδι της αντλίας κενού και συντηρείτε τακτικά την αντλία κενού. Καθαρίστε την κοιλότητα και τα εσωτερικά μέρη με άνυδρη αιθανόλη και στεγνώστε τα για να αφαιρέσετε την υγρασία. Ελέγξτε εάν ο αγωγός είναι φραγμένος και επισκευάστε ή αντικαταστήστε τη βαλβίδα που παρουσιάζει βλάβη.
Ερώτηση 2: Ο βαθμός κενού δεν μπορεί να διατηρηθεί (επιρρεπής σε διαρροές)
Αιτία: Η πόρτα/φλάντζα της κοιλότητας δεν είναι σφραγισμένη σφιχτά. Παρατηρήστε ότι η στεγανοποίηση στη σύνδεση μεταξύ του γυαλιού του παραθύρου και της κοιλότητας έχει αποτύχει και η σύνδεση του αγωγού είναι χαλαρή.
Λύση: Σφίξτε ξανά τα μπουλόνια της πόρτας της κοιλότητας και της φλάντζας για να βεβαιωθείτε ότι δεν υπάρχουν ξένα αντικείμενα στην επιφάνεια στεγανοποίησης. Αντικαταστήστε το παρέμβυσμα του παρατηρητικού παραθύρου. Ελέγξτε κάθε σύνδεση σωλήνα μία προς μία, σφίξτε τα χαλαρά μέρη και αντικαταστήστε τα στεγανοποιητικά των συνδέσεων εάν είναι απαραίτητο.
II. Ζητήματα ποιότητας στρώματος φιλμ (τα πιο συνηθισμένα, που επηρεάζουν άμεσα την απόδοση του προϊόντος)
Ερώτηση 1: Κακή πρόσφυση του στρώματος φιλμ (επιρρεπές σε ξεφλούδισμα και γρατσουνιές)
Λόγος: Υπάρχουν ακαθαρσίες όπως λεκέδες λαδιού και σκόνη στην επιφάνεια της βάσης και η προεπεξεργασία της βάσης είναι ανεπαρκής. Η θερμοκρασία επίστρωσης είναι πολύ χαμηλή και το στρώμα φιλμ δεν συνδέεται σταθερά με το υπόστρωμα. Το υλικό στόχου δεν ταιριάζει με το υλικό του υποστρώματος ή οι παράμετροι ισχύος/πίεσης ψεκασμού είναι παράλογες.
Λύση: Καθαρίστε το υπόστρωμα με υπερήχους πριν από την επίστρωση και χρησιμοποιήστε καθαρισμό πλάσματος για να αφαιρέσετε τις ακαθαρσίες της επιφάνειας. Αυξήστε κατάλληλα τη θερμοκρασία του υποστρώματος (ρυθμίστε ανάλογα με την ανοχή του υποστρώματος). Αντικαταστήστε το κατάλληλο υλικό στόχου, βελτιστοποιήστε την ισχύ ψεκασμού και την πίεση λειτουργίας και επεκτείνετε τον χρόνο προ-ψεκασμού για να αφαιρέσετε το στρώμα οξειδίου στην επιφάνεια του υλικού στόχου.
Ερώτηση 2: Κακή ομοιομορφία του στρώματος φιλμ (ανώμαλο πάχος/χρώμα)
Λόγοι: Ανώμαλη κατανάλωση του υλικού στόχου (όπως κηλίδες τόξου στην επιφάνεια του στόχου), μη σύμφωνη απόσταση μεταξύ του υποστρώματος και του υλικού στόχου, ανομοιόμορφη κατανομή ροής αέρα μέσα στην κοιλότητα και το υπόστρωμα δεν περιστρέφεται ή κινείται με σταθερή ταχύτητα κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επίστρωσης.
Λύση: Καθαρίζετε τακτικά τις κηλίδες τόξου στην επιφάνεια του υλικού στόχου και αντικαταστήστε το υλικό στόχου εάν είναι απαραίτητο. Ρυθμίστε τη θέση του πλαισίου βάσης για να διασφαλίσετε ότι η απόσταση μεταξύ όλων των βάσεων και του υλικού στόχου είναι συνεπής. Ελέγξτε εάν ο αγωγός αερίου είναι απρόσκοπτος και βελτιστοποιήστε τη μέθοδο εισαγωγής αέρα. Βεβαιωθείτε ότι το σύστημα μετάδοσης της βάσης (όπως ο περιστρεφόμενος δίσκος) λειτουργεί με σταθερή ταχύτητα και επισκευάστε τα ελαττωματικά εξαρτήματα μετάδοσης.
Ερώτηση 3: Το στρώμα φιλμ έχει οπές, σωματίδια και φυσαλίδες
Λόγος: Το εσωτερικό της κοιλότητας δεν καθαρίστηκε καλά, αφήνοντας σκόνη και σωματίδια. Η καθαρότητα του υλικού στόχου είναι ανεπαρκής και περιέχει ακαθαρσίες. Υπάρχουν ρύποι όπως υγρασία και λεκέδες λαδιού στο αέριο εργασίας. Ο ρυθμός επίστρωσης είναι πολύ γρήγορος και το αέριο δεν εκκενώνεται έγκαιρα.
Λύση: Καθαρίζετε τακτικά και καλά την κοιλότητα (συμπεριλαμβανομένου του υλικού στόχου, του πλαισίου βάσης και του εσωτερικού τοιχώματος). Επιλέξτε υλικά στόχου και αέρια εργασίας υψηλής καθαρότητας (όπως αργό με καθαρότητα άνω του 99,99%). Εγκαταστήστε μια συσκευή φιλτραρίσματος στον αγωγό αερίου για να αφαιρέσετε την υγρασία και τους λεκέδες λαδιού. Μειώστε κατάλληλα τον ρυθμό επίστρωσης και επεκτείνετε τον χρόνο κενού.
Ερώτηση 4: Ανώμαλο χρώμα του στρώματος φιλμ (απόκλιση χρώματος, σκουρόχρωμα)
Λόγοι: Το πάχος του φιλμ δεν πληρούσε τις απαιτήσεις σχεδιασμού, η σύνθεση του υλικού στόχου απέκλινε από το πρότυπο, ο βαθμός κενού κυμάνθηκε κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επίστρωσης και η θερμοκρασία του υποστρώματος ήταν πολύ υψηλή ή πολύ χαμηλή.
Λύση: Βαθμονομήστε την οθόνη πάχους φιλμ για να ελέγξετε με ακρίβεια τον χρόνο και την ισχύ επίστρωσης. Αντικαταστήστε τα κατάλληλα υλικά στόχου. Ελέγξτε για σημεία διαρροής στο σύστημα κενού και σταθεροποιήστε τον βαθμό κενού. Ρυθμίστε τη θερμοκρασία του υποστρώματος στο κατάλληλο εύρος (ανατρέξτε στις απαιτήσεις του υλικού στόχου και του τύπου στρώματος φιλμ).
III. Βλάβη λειτουργίας εξοπλισμού (Επηρεάζει τη συνέχεια της παραγωγής)
Ερώτηση 1: Ο στόχος ψεκασμού δεν εκκενώνεται ή η εκκένωση είναι ασταθής
Αιτία: Βλάβη τροφοδοσίας RF/DC, χαλαρή σύνδεση μεταξύ του υλικού στόχου και της τροφοδοσίας, πολύ χαμηλή ή πολύ υψηλή πίεση αέρα εργασίας, σοβαρή οξείδωση στην επιφάνεια του υλικού στόχου.
Λύση: Επιθεωρήστε και επισκευάστε την τροφοδοσία (όπως αντικατάσταση ασφαλειών, επισκευή πλακέτων κυκλωμάτων). Σφίξτε ξανά τους ακροδέκτες του υλικού στόχου. Ρυθμίστε την πίεση αέρα εργασίας σε ένα λογικό εύρος (συνήθως 0,1-1Pa). Προ-ψεκασμός του υλικού στόχου για την αφαίρεση του στρώματος οξειδίου της επιφάνειας.
Ερώτηση 2: Βλάβη συστήματος ψύξης (Υπερβολική θερμοκρασία του υλικού στόχου/κοιλότητας)
Λόγοι: Ο αγωγός νερού ψύξης είναι φραγμένος ή διαρρέει, το ψυκτικό είναι ανεπαρκές ή η θερμοκρασία είναι πολύ υψηλή και η αντλία ψύξης έχει υποστεί ζημιά.
Λύση: Ξεμπλοκάρετε τον αγωγό ψύξης και επισκευάστε το μέρος που διαρρέει. Αναπληρώστε το ψυκτικό (όπως απιονισμένο νερό ή ειδικό λάδι ψύξης) και ελέγξτε την επίδραση απαγωγής θερμότητας του δοχείου νερού ψύξης. Επισκευάστε ή αντικαταστήστε την ελαττωματική αντλία ψύξης.
Ερώτηση 3: Το σύστημα μετάδοσης έχει κολλήσει (το πλαίσιο βάσης δεν περιστρέφεται, ο ιμάντας μεταφοράς δεν κινείται)
Αιτία: Βλάβη κινητήρα, φθορά και χαλάρωση γραναζιών/ιμάντων μετάδοσης, ξένα αντικείμενα που μπλοκάρουν τα εξαρτήματα μετάδοσης.
Λύση: Επιθεωρήστε και επισκευάστε τον κινητήρα (όπως έλεγχος της καλωδίωσης και αντικατάσταση του κινητήρα). Αντικαταστήστε τα φθαρμένα γρανάζια ή ιμάντες και σφίξτε ξανά τα εξαρτήματα μετάδοσης. Αφαιρέστε ξένα αντικείμενα από το εσωτερικό της κοιλότητας και στο σύστημα μετάδοσης.
ΜΕΡΟΣ ΔΕΥΤΕΡΟ
Αυτός ο κατάλογος ελέγχου καθημερινής συντήρησης για τον εξοπλισμό επίστρωσης κενού ταξινομείται ανά "καθημερινό/εβδομαδιαίο/μηνιαίο", εστιάζοντας στα βασικά εξαρτήματα και τις βασικές παραμέτρους, λαμβάνοντας υπόψη τόσο την πρακτικότητα όσο και τη λειτουργικότητα και είναι βολικός για άμεση εφαρμογή
I. Καθημερινή συντήρηση (Πριν από την εκκίνηση και μετά το κλείσιμο, υποχρεωτική για κάθε χρήση)
Ελέγξτε τη στάθμη λαδιού της αντλίας κενού για να βεβαιωθείτε ότι είναι μεταξύ των γραμμών κλίμακας και ότι το χρώμα του λαδιού δεν είναι θολό ή μαύρο.
Καθαρίστε την επιφάνεια του θαλάμου κενού και του παρατηρητικού παραθύρου, αφαιρέστε τη σκόνη και τα δακτυλικά αποτυπώματα για να αποφύγετε την επίδραση στην παρατήρηση και τη στεγανοποίηση.
Ελέγξτε το σύστημα ψύξης: Η στάθμη του ψυκτικού είναι φυσιολογική, δεν υπάρχει διαρροή ή απόφραξη στους αγωγούς και η αντλία ψύξης λειτουργεί χωρίς ασυνήθιστο θόρυβο.
Επιθεωρήστε τα στεγανοποιητικά μέρη (πόρτα κοιλότητας, δακτύλιος στεγανοποίησης φλάντζας) : χωρίς ζημιά ή παραμόρφωση, χωρίς λεκέδες λαδιού ή ακαθαρσίες στην επιφάνεια. Εάν είναι απαραίτητο, σκουπίστε τα με άνυδρη αιθανόλη.
Επιβεβαιώστε τον αγωγό αερίου: Η βαλβίδα ανοίγει και κλείνει ευέλικτα, δεν υπάρχει διαρροή και η πίεση του αερίου εργασίας (όπως αργό) είναι επαρκής.
Μετά το κλείσιμο, καθαρίστε την επιφάνεια του υλικού στόχου: Αφαιρέστε το στρώμα οξειδίου της επιφάνειας μέσω προ-ψεκασμού και απενεργοποιήστε όλες τις βαλβίδες ισχύος και αερίου.
II. Εβδομαδιαία συντήρηση (Τακτική επιθεώρηση για την πρόληψη μικρών κινδύνων)
Ελέγξτε το σύστημα μετάδοσης: Το πλαίσιο βάσης και ο ιμάντας μεταφοράς λειτουργούν ομαλά χωρίς εμπλοκή ή ασυνήθιστο θόρυβο και τα γρανάζια/ιμάντες δεν είναι χαλαρά ή φθαρμένα.
Καθαρίστε το εσωτερικό της κοιλότητας: Σκουπίστε τα τοιχώματα της κοιλότητας και το πλαίσιο βάσης με ένα πανί που δεν αφήνει χνούδι για να αφαιρέσετε τυχόν υπολείμματα υλικού στόχου και σωματίδια.
Ελέγξτε τη σύνδεση ρεύματος: Οι ακροδέκτες της τροφοδοσίας RF/DC δεν είναι χαλαροί ή υπερθερμαίνονται και το μονωτικό στρώμα του καλωδίου δεν έχει υποστεί ζημιά.
Δοκιμάστε την ταχύτητα άντλησης κενού: Καταγράψτε τον χρόνο που χρειάζεται για να εκκενώσετε το κενό στον στόχο κενού, συγκρίνετέ το με την τυπική τιμή και προσδιορίστε εάν υπάρχει διαρροή ή μείωση της απόδοσης του σώματος της αντλίας.
Ελέγξτε τα βοηθητικά εξαρτήματα: Η οθόνη πάχους φιλμ, το μανόμετρο και άλλα όργανα εμφανίζουν με ακρίβεια και δεν έχουν ασυνήθιστες ειδοποιήσεις.
III. Μηνιαία συντήρηση (Βαθιά συντήρηση για την επέκταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού)
Αλλάξτε το λάδι της αντλίας κενού: Αδειάστε εντελώς το παλιό λάδι, καθαρίστε το δοχείο λαδιού και προσθέστε νέο ειδικό λάδι αντλίας κενού (που ταιριάζει με το μοντέλο σύμφωνα με το εγχειρίδιο του εξοπλισμού).
Inspect και αντικαταστήστε τα στεγανοποιητικά μέρη: Αντικαταστήστε τους παλαιωμένους και σκληρυμένους δακτυλίους στεγανοποίησης και τα παρεμβύσματα για να διασφαλίσετε το αποτέλεσμα στεγανοποίησης.
Καθαρίστε το φίλτρο αερίου: Αντικαταστήστε ή καθαρίστε το στοιχείο φίλτρου στον αγωγό αερίου για να αφαιρέσετε ακαθαρσίες όπως υγρασία και λεκέδες λαδιού.
Βαθμονομήστε τις βασικές παραμέτρους: Βαθμονομήστε την οθόνη πάχους φιλμ και το μανόμετρο κενού για να διασφαλίσετε την ακρίβεια της επίστρωσης. Ελέγξτε την κατανάλωση του υλικού στόχου και αντικαταστήστε το εάν είναι απαραίτητο.
Καθαρίστε καλά τον εξοπλισμό: Αφαιρέστε τη σκόνη και τους λεκέδες λαδιού μέσα στον εξοπλισμό, ελέγξτε τον αερισμό των κουτιών διακλάδωσης κυκλώματος και των ντουλαπιών ελέγχου για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση.
Καταγράψτε τα δεδομένα λειτουργίας του εξοπλισμού: συνοψίστε παραμέτρους όπως βαθμός κενού, ισχύς ψεκασμού και χρόνος επίστρωσης, δημιουργήστε αρχεία συντήρησης και διευκολύνετε την επακόλουθη ανίχνευση σφαλμάτων.
IV. Προφυλάξεις συντήρησης
1.Όλες οι εργασίες συντήρησης πρέπει να πραγματοποιούνται αφού έχει διακοπεί η παροχή ρεύματος και αερίου για να αποφευχθεί ο κίνδυνος ηλεκτροπληξίας ή διαρροής αερίου.
2.Κατά τον καθαρισμό, μην χρησιμοποιείτε διαβρωτικά διαλυτικά. Δώστε προτεραιότητα στη χρήση ειδικών αναλώσιμων όπως άνυδρη αιθανόλη και πανιά που δεν αφήνουν χνούδι.
3.Κατά την αντικατάσταση εξαρτημάτων (όπως υλικά στόχου και στεγανοποιήσεις), βεβαιωθείτε ότι το μοντέλο ταιριάζει και ότι είναι εγκατεστημένα σωστά.
4.Εάν εντοπιστεί οποιαδήποτε ανωμαλία (όπως ξαφνική πτώση του βαθμού κενού, ασυνήθιστος θόρυβος εξοπλισμού ή συναγερμός), σταματήστε αμέσως τη μηχανή για έλεγχο. Μην συνεχίσετε να το χρησιμοποιείτε μέχρι να εξαλειφθεί το σφάλμα.
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
