DEEL EEN
Veelvoorkomende problemen met vacuümbekledingsapparatuur concentreren zich voornamelijk op drie kernscenario's: vacuümgraad, filmkwaliteit en werking van de apparatuur. Gerichte probleemoplossing van parameters en componenten kan deze problemen efficiënt oplossen. Het volgende is een gedetailleerde uitleg:
I. Vacuümgerelateerde problemen (kernimpact op de coatingomgeving)
Vraag 1:De vacuümgraad kan niet worden bereikt of de pompsnelheid is traag
Redenen:Veroudering en beschadiging van afdichtingsonderdelen (afdichtringen, afdichtrubber), verontreiniging of onvoldoende vacuümpompolie, restolie en waterdamp in de vacuümkamer, blokkering van de leiding of defecte klep.
Oplossing:Vervang de verouderde afdichtingsonderdelen en reinig het afdichtingsoppervlak; Vervang/vul de vacuümpompolie bij en onderhoud de vacuümpomp regelmatig. Reinig de holte en interne onderdelen met watervrije ethanol en droog ze om vocht te verwijderen. Controleer of de leiding geblokkeerd is en repareer of vervang de defecte klep.
Vraag 2:De vacuümgraad kan niet worden gehandhaafd (vatbaar voor lekkage)
Oorzaak:De holtedeur/flens is niet goed afgedicht. Observeer dat de afdichting bij de verbinding tussen het vensterglas en de holte is mislukt en dat de leidingverbinding los zit.
Oplossing:Draai de bouten van de holtedeur en flens opnieuw vast om ervoor te zorgen dat er geen vreemde voorwerpen op het afdichtingsoppervlak zitten. Vervang de pakking van het observatievenster; Controleer elke pijpverbinding één voor één, draai de losse onderdelen vast en vervang de verbindingsafdichtingen indien nodig.
II. Problemen met de filmkwaliteit (het meest voorkomend, direct van invloed op de productprestaties)
Vraag 1:Slechte hechting van de film (vatbaar voor afbladderen en krassen)
Reden:Er zitten onzuiverheden zoals olievlekken en stof op het oppervlak van de basis, en de voorbehandeling van de basis is onvoldoende. De coatingtemperatuur is te laag en de film hecht niet stevig aan het substraat. Het doelmateriaal komt niet overeen met het substraatmateriaal, of de sputtervermogen/drukparameters zijn onredelijk.
Oplossing:Reinig het substraat met ultrasone golven vóór het coaten en gebruik plasmareiniging om oppervlakteverontreinigingen te verwijderen. Verhoog de substraattemperatuur op passende wijze (aanpassen aan de substraattolerantie); Vervang het geschikte doelmateriaal, optimaliseer het sputtervermogen en de werkdruk en verleng de voorsputtertijd om de oxidelaag op het doeloppervlak te verwijderen.
Vraag 2:Slechte uniformiteit van de film (ongelijke dikte/kleur)
Redenen:Ongelijke consumptie van het doelmateriaal (zoals vlambogen op het doeloppervlak), ongelijke afstand tussen het substraat en het doelmateriaal, ongelijke luchtstroomverdeling in de holte en het substraat draait of beweegt niet met een constante snelheid tijdens het coatingproces.
Oplossing:Reinig regelmatig de vlambogen op het oppervlak van het doelmateriaal en vervang het doelmateriaal indien nodig. Pas de positie van het basisframe aan om ervoor te zorgen dat de afstand tussen alle basissen en het doelmateriaal consistent is. Controleer of de gasleiding vrij is en optimaliseer de luchtinlaatmethode. Zorg ervoor dat het basistransmissiesysteem (zoals de draaitafel) met een constante snelheid werkt en repareer defecte transmissiecomponenten.
Vraag 3:De film heeft gaatjes, deeltjes en bellen
Reden:De binnenkant van de holte is niet grondig gereinigd, waardoor stof en deeltjes achterblijven. De zuiverheid van het doelmateriaal is onvoldoende en bevat onzuiverheden. Er zitten verontreinigingen zoals vocht en olievlekken in het werkende gas. De coatingsnelheid is te hoog en het gas wordt niet op tijd afgevoerd.
Oplossing:Reinig de holte regelmatig en grondig (inclusief doelmateriaal, basisframe en binnenwand); Selecteer doelmaterialen en werkende gassen met een hoge zuiverheid (zoals argon met een zuiverheid van meer dan 99,99%); Installeer een filterinrichting in de gasleiding om vocht en olievlekken te verwijderen. Verminder de coatingsnelheid op passende wijze en verleng de vacuümduur.
Vraag 4:Abnormale kleur van de film (kleurafwijking, donkerder worden)
Redenen:De filmdikte voldeed niet aan de ontwerpeisen, de samenstelling van het doelmateriaal week af van de standaard, de vacuümgraad fluctueerde tijdens het coatingproces en de substraattemperatuur was te hoog of te laag.
Oplossing:Kalibreer de filmdiktemonitor om de coatingtijd en het vermogen nauwkeurig te regelen; Vervang gekwalificeerde doelmaterialen; Controleer op lekkagepunten in het vacuümsysteem en stabiliseer de vacuümgraad. Pas de substraattemperatuur aan naar het juiste bereik (raadpleeg de vereisten van het doelmateriaal en het filmtype).
III. Uitval van de werking van de apparatuur (beïnvloedt de productiecontinuïteit)
Vraag 1:Het sputterdoel ontlaadt niet of de ontlading is onstabiel
Oorzaak:Uitval van de RF/DC-voeding, losse verbinding tussen het doelmateriaal en de voeding, te lage of te hoge werkdruk, ernstige oxidatie op het oppervlak van het doelmateriaal.
Oplossing:Inspecteer en repareer de voeding (zoals het vervangen van zekeringen, het repareren van printplaten); Draai de klemmen van het doelmateriaal opnieuw vast. Pas de werkdruk aan naar een redelijk bereik (meestal 0,1-1 Pa); Voorsputter het doelmateriaal om de oppervlakteoxidelaag te verwijderen.
Vraag 2:Uitval van het koelsysteem (overmatige temperatuur van het doelmateriaal/holte)
Redenen:De koelwaterleiding is verstopt of lekt, het koelmiddel is onvoldoende of de temperatuur is te hoog en de koelpomp is beschadigd.
Oplossing:Maak de koelleiding vrij en repareer het lekkende onderdeel; Vul het koelmiddel bij (zoals gedeïoniseerd water of speciale koelolie) en controleer het warmteafvoereffect van de koelwatertank. Repareer of vervang de defecte koelpomp.
Vraag 3:Het transmissiesysteem zit vast (het basisframe draait niet, de transportband beweegt niet)
Oorzaak: Uitval van de motor, slijtage en losraken van transmissietandwielen/riemen, vreemde voorwerpen die transmissiecomponenten blokkeren.
Oplossing:Inspecteer en repareer de motor (zoals het controleren van de bedrading en het vervangen van de motor); Vervang versleten tandwielen of riemen en draai de transmissiecomponenten opnieuw vast; Verwijder vreemde voorwerpen uit de holte en in het transmissiesysteem.
DEEL TWEE
Deze dagelijkse onderhoudschecklist voor vacuümbekledingsapparatuur is geclassificeerd per "dagelijks/wekelijks/maandelijks", met de nadruk op kerncomponenten en sleutelparameters, rekening houdend met zowel bruikbaarheid als uitvoerbaarheid, en is handig voor directe implementatie
I. Dagelijks onderhoud (vóór opstarten en na uitschakelen, verplicht voor elk gebruik)
Controleer het oliepeil van de vacuümpompom ervoor te zorgen dat het tussen de schaallijnen ligt en dat de olie niet troebel of zwart is.
Reinig het oppervlak van de vacuümkamer en het observatievenster, verwijder stof en vingerafdrukken om te voorkomen dat de observatie en afdichting worden beïnvloed.
Controleer het koelsysteem:Het koelmiddelniveau is normaal, er is geen lekkage of verstopping in de leidingen en de koelpomp werkt zonder abnormale geluiden.
Inspecteer de afdichtingsonderdelen (holtedeur, flensafdichtingsring):geen schade of vervorming, geen olievlekken of onzuiverheden op het oppervlak. Veeg ze indien nodig af met watervrije ethanol.
Bevestig de gasleiding:De klep gaat soepel open en dicht, er is geen lekkage en de druk van het werkende gas (zoals argon) is voldoende.
Reinig na het uitschakelen het oppervlak van het doelmateriaal:Verwijder de oppervlakteoxidelaag door middel van voorsputteren en schakel alle stroom- en gaskleppen uit.
II. Wekelijks onderhoud (regelmatige inspectie om kleine gevaren te voorkomen)
Controleer het transmissiesysteem:Het basisframe en de transportband werken soepel zonder vast te lopen of abnormale geluiden, en de tandwielen/riemen zijn niet los of versleten.
Reinig de binnenkant van de holte:Veeg de holtewanden en het basisframe af met een pluisvrije doek om eventuele resterende doelmateriaalresten en deeltjes te verwijderen.
Controleer de stroomaansluiting:De klemmen van de RF/DC-voeding zijn niet los of oververhit en de isolatielaag van de kabel is niet beschadigd.
Test de vacuümpompsnelheid:Noteer de tijd die nodig is om het vacuüm naar de beoogde vacuümgraad te evacueren, vergelijk deze met de standaardwaarde en bepaal of er lekkage is of een afname van de pomplichaamefficiëntie.
Controleer de hulpcomponenten:De filmdiktemonitor, manometer en andere instrumenten geven nauwkeurig weer en hebben geen abnormale alarmen.
III. Maandelijks onderhoud (diepgaande service om de levensduur van de apparatuur te verlengen)
Ververs de vacuümpompolie:Tap de oude olie volledig af, reinig de olietank en voeg nieuwe speciale vacuümpompolie toe (passend bij het model volgens de apparatuurhandleiding).
Inspecteer en vervang de afdichtingsonderdelen:Vervang de verouderde en verharde afdichtringen en pakkingen om het afdichtingseffect te garanderen.
Reinig het gasfilter:Vervang of reinig het filterelement in de gasleiding om onzuiverheden zoals vocht en olievlekken te verwijderen.
Kalibreer sleutelparameters:Kalibreer de filmdiktemonitor en vacuümmeter om de coatingnauwkeurigheid te garanderen; Controleer het verbruik van het doelmateriaal en vervang het indien nodig.
Reinig de apparatuur grondig:Verwijder het stof en de olievlekken in de apparatuur, controleer de ventilatie van de schakelkasten en regelkasten om oververhitting te voorkomen.
Registreer de gebruiksgegevens van de apparatuur:vat parameters samen zoals vacuümgraad, sputtervermogen en coatingtijd, stel onderhoudsbestanden op en vergemakkelijk de latere traceerbaarheid van fouten.
IV. Onderhoudsvoorzorgsmaatregelen
1.Alle onderhoudswerkzaamheden moeten worden uitgevoerd nadat de stroom- en gastoevoer is uitgeschakeld om het risico op elektrische schokken of gaslekkage te voorkomen.
2.Gebruik bij het reinigen geen bijtende oplosmiddelen. Geef de voorkeur aan het gebruik van speciale verbruiksartikelen zoals watervrije ethanol en pluisvrije doeken.
3.Zorg er bij het vervangen van componenten (zoals doelmaterialen en afdichtingen) voor dat het model overeenkomt en dat ze correct zijn geïnstalleerd.
4.Als er een afwijking wordt geconstateerd (zoals een plotselinge daling van de vacuümgraad, abnormale geluiden van de apparatuur of een alarm), stop dan onmiddellijk de machine voor inspectie. Ga pas verder met het gebruik nadat de storing is verholpen.
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
