BÖLÜM BİR
Vakum kaplama ekipmanlarında yaygın sorunlar temel olarak üç ana senaryoda yoğunlaşmaktadır: vakum derecesi, film kalitesi ve ekipman çalışması. Parametrelerin ve bileşenlerin hedeflenen sorun gidermesi, bu sorunları verimli bir şekilde çözebilir. Aşağıda ayrıntılı bir açıklama bulunmaktadır:
I. Vakumla İlgili Sorunlar (Kaplama Ortamı Üzerindeki Temel Etki)
Soru 1: Vakum derecesine ulaşılamıyor veya pompalama hızı yavaş
Nedenler: Sızdırmazlık parçalarının (sızdırmazlık halkaları, sızdırmazlık kauçuğu) eskimesi ve hasar görmesi, vakum pompası yağının kirlenmesi veya yetersizliği, vakum odası içinde kalan yağ ve su buharı, boru hattı tıkanıklığı veya valf arızası.
Çözüm: Eskimiş sızdırmazlık parçalarını değiştirin ve sızdırmazlık yüzeyini temizleyin; Vakum pompası yağını değiştirin/takviye edin ve vakum pompasını düzenli olarak bakım yapın. Boşluğu ve iç parçaları susuz etanol ile temizleyin ve nemi gidermek için kurutun. Boru hattının tıkanıp tıkanmadığını kontrol edin ve arızalı valfi onarın veya değiştirin.
Soru 2: Vakum derecesi korunamıyor (sızdırmaya eğilimli)
Neden: Boşluk kapısı/flanşı sıkıca kapatılmamış. Pencere camı ile boşluk arasındaki bağlantıdaki contanın başarısız olduğunu ve boru hattı bağlantısının gevşek olduğunu gözlemleyin.
Çözüm: Boşluk kapısını ve flanş cıvatalarını tekrar sıkın, sızdırmazlık yüzeyinde yabancı cisim olmadığından emin olun. Gözlem penceresinin contasını değiştirin; Her bir boru bağlantısını tek tek kontrol edin, gevşek parçaları sıkın ve gerekirse bağlantı contalarını değiştirin.
II. Film tabakası kalitesi sorunları (en yaygın, ürün performansını doğrudan etkiler)
Soru 1: Film tabakasının zayıf yapışması (soyulmaya ve çizilmeye eğilimli)
Neden: Taban yüzeyinde yağ lekeleri ve toz gibi yabancı maddeler var ve tabanın ön işlemi yetersiz. Kaplama sıcaklığı çok düşük ve film tabakası alt tabaka ile sıkıca bağlanmıyor. Hedef malzeme, alt tabaka malzemesiyle eşleşmiyor veya püskürtme gücü/basınç parametreleri mantıksız.
Çözüm: Kaplamadan önce alt tabakayı ultrasonik dalgalarla temizleyin ve yüzeydeki yabancı maddeleri gidermek için plazma temizleme kullanın. Alt tabaka sıcaklığını uygun şekilde artırın (alt tabaka toleransına göre ayarlayın); Uygun hedef malzemeyi değiştirin, püskürtme gücünü ve çalışma hava basıncını optimize edin ve hedef malzeme yüzeyindeki oksit tabakasını gidermek için ön püskürtme süresini uzatın.
Soru 2: Film tabakasının zayıf homojenliği (tutarsız kalınlık/renk)
Nedenler: Hedef malzemenin düzensiz tüketimi (örneğin, hedef yüzeyde ark noktaları), alt tabaka ile hedef malzeme arasındaki tutarsız mesafe, boşluk içinde düzensiz hava akışı dağılımı ve alt tabakanın kaplama işlemi sırasında sabit bir hızda dönmemesi veya hareket etmemesi.
Çözüm: Hedef malzemenin yüzeyindeki ark noktalarını düzenli olarak temizleyin ve gerekirse hedef malzemeyi değiştirin. Tüm tabanlar ile hedef malzeme arasındaki mesafenin tutarlı olduğundan emin olmak için taban çerçevesinin konumunu ayarlayın. Gaz boru hattının engelsiz olup olmadığını kontrol edin ve hava girişi yöntemini optimize edin. Taban iletim sisteminin (örneğin döner tabla) sabit bir hızda çalıştığından emin olun ve arızalı iletim bileşenlerini onarın.
Soru 3: Film tabakasında iğne delikleri, parçacıklar ve kabarcıklar var
Neden: Boşluğun içi iyice temizlenmedi, toz ve parçacıklar kaldı. Hedef malzemenin saflığı yetersiz ve yabancı maddeler içeriyor. Çalışma gazında nem ve yağ lekeleri gibi kirleticiler var. Kaplama hızı çok hızlı ve gaz zamanında boşaltılmıyor.
Çözüm: Boşluğu düzenli ve iyice temizleyin (hedef malzeme, taban çerçevesi ve iç duvar dahil); Yüksek saflıkta hedef malzemeler ve çalışma gazları seçin (örneğin, %99,99'un üzerinde saflıkta argon); Nem ve yağ lekelerini gidermek için gaz boru hattına bir filtreleme cihazı takın. Kaplama hızını uygun şekilde azaltın ve vakumlama süresini uzatın.
Soru 4: Film tabakasının anormal rengi (renk sapması, kararma)
Nedenler: Film kalınlığı tasarım gereksinimlerini karşılamadı, hedef malzemenin bileşimi standarttan saptı, kaplama işlemi sırasında vakum derecesi dalgalandı ve alt tabaka sıcaklığı çok yüksek veya çok düşüktü.
Çözüm: Kaplama süresini ve gücünü hassas bir şekilde kontrol etmek için film kalınlığı monitörünü kalibre edin; Nitelikli hedef malzemeleri değiştirin; Vakum sistemindeki sızıntı noktalarını kontrol edin ve vakum derecesini dengeleyin. Alt tabaka sıcaklığını uygun aralığa ayarlayın (hedef malzeme ve film tabakası türünün gereksinimlerine bakın).
III. Ekipman Çalışma Arızası (Üretim Sürekliliğini Etkileyen)
Soru 1: Püskürtme hedefi deşarj olmuyor veya deşarj kararsız
Neden: RF/DC güç kaynağı arızası, hedef malzeme ile güç kaynağı arasındaki gevşek bağlantı, çok düşük veya çok yüksek çalışma hava basıncı, hedef malzemenin yüzeyinde şiddetli oksidasyon.
Çözüm: Güç kaynağını inceleyin ve onarın (örneğin, sigortaları değiştirme, devre kartlarını onarma); Hedef malzemenin terminal bloklarını tekrar sıkın. Çalışma hava basıncını makul bir aralığa ayarlayın (genellikle 0,1-1Pa); Yüzey oksit tabakasını gidermek için hedef malzemeyi önceden püskürtün.
Soru 2: Soğutma sistemi arızası (Hedef malzeme/boşluğun aşırı sıcaklığı)
Nedenler: Soğutma suyu boru hattı tıkanmış veya sızdırıyor, soğutucu yetersiz veya sıcaklığı çok yüksek ve soğutma pompası hasar görmüş.
Çözüm: Soğutma boru hattının tıkanıklığını giderin ve sızdıran parçayı onarın; Soğutucuyu (örneğin, deiyonize su veya özel soğutma yağı) takviye edin ve soğutma suyu deposunun ısı dağılımı etkisini kontrol edin. Arızalı soğutma pompasını onarın veya değiştirin.
Soru 3: İletim sistemi sıkışmış (taban çerçevesi dönmüyor, konveyör bandı hareket etmiyor)
Neden: Motor arızası, iletim dişlilerinin/kayışlarının aşınması ve gevşemesi, iletim bileşenlerini sıkıştıran yabancı cisimler.
Çözüm: Motoru inceleyin ve onarın (örneğin, kabloları kontrol etme ve motoru değiştirme); Aşınmış dişlileri veya kayışları değiştirin ve iletim bileşenlerini tekrar sıkın; Boşluğun içinden ve iletim sisteminden yabancı cisimleri temizleyin.
BÖLÜM İKİ
Vakum kaplama ekipmanları için bu günlük bakım Kontrol Listesi, "günlük/haftalık/aylık" olarak sınıflandırılmıştır, temel bileşenlere ve temel parametrelere odaklanmakta, hem pratikliği hem de uygulanabilirliği dikkate almakta ve doğrudan uygulanmaya uygundur
I. Günlük Bakım (Başlatmadan önce ve kapatıldıktan sonra, her kullanım için zorunlu)
Vakum pompasının yağ seviyesini kontrol edin ölçek çizgileri arasında olduğundan ve yağ renginin bulanık veya siyah olmadığından emin olmak için.
Vakum odasının ve gözlem penceresinin yüzeyini temizleyin, gözlemi ve sızdırmazlığı etkilememek için toz ve parmak izlerini giderin.
Soğutma sistemini kontrol edin: Soğutucu seviyesi normal, boru hatlarında sızıntı veya tıkanıklık yok ve soğutma pompası anormal gürültü olmadan çalışıyor.
Sızdırmazlık parçalarını (boşluk kapısı, flanş sızdırmazlık halkası) inceleyin: hasar veya deformasyon yok, yüzeyde yağ lekesi veya yabancı madde yok. Gerekirse, susuz etanol ile silin.
Gaz boru hattını onaylayın: Valf esnek bir şekilde açılır ve kapanır, sızıntı yoktur ve çalışma gazının (örneğin argon) basıncı yeterlidir.
Kapatıldıktan sonra, hedef malzemenin yüzeyini temizleyin: Ön püskürtme yoluyla yüzey oksit tabakasını giderin ve tüm güç ve gaz vanalarını kapatın.
II. Haftalık Bakım (Küçük tehlikeleri önlemek için düzenli inceleme)
İletim sistemini kontrol edin: Taban çerçevesi ve konveyör bandı, sıkışma veya anormal gürültü olmadan sorunsuz çalışır ve dişliler/kayışlar gevşek veya aşınmış değildir.
Boşluğun içini temizleyin: Kalan hedef malzeme kalıntılarını ve parçacıkları gidermek için boşluk duvarlarını ve taban çerçevesini tüy bırakmayan bir bezle silin.
Güç bağlantısını kontrol edin: RF/DC güç kaynağının terminalleri gevşek veya aşırı ısınmamış ve kablonun yalıtım tabakası hasar görmemiş.
Vakum pompalama hızını test edin: Vakumu hedef vakum derecesine boşaltmanın ne kadar sürdüğünü kaydedin, standart değerle karşılaştırın ve sızıntı olup olmadığını veya pompa gövdesi verimliliğinde bir azalma olup olmadığını belirleyin.
Yardımcı bileşenleri kontrol edin: Film kalınlığı monitörü, basınç göstergesi ve diğer cihazlar doğru görüntülenir ve anormal alarmlar vermez.
III. Aylık Bakım (Ekipman Ömrünü Uzatmak İçin Derinlemesine Servis)
Vakum pompası yağını değiştirin: Eski yağı tamamen boşaltın, yağ deposunu temizleyin ve yeni özel vakum pompası yağı ekleyin (ekipman kılavuzuna göre modelle eşleşir).
Inspect ve sızdırmazlık parçalarını değiştirin: Sızdırmazlık etkisini sağlamak için eskimiş ve sertleşmiş sızdırmazlık halkalarını ve contaları değiştirin.
Gaz filtresini temizleyin: Nem ve yağ lekeleri gibi yabancı maddeleri gidermek için gaz boru hattındaki filtre elemanını değiştirin veya temizleyin.
Temel parametreleri kalibre edin: Kaplama doğruluğunu sağlamak için film kalınlığı monitörünü ve vakum ölçeri kalibre edin; Hedef malzemenin tüketimini kontrol edin ve gerekirse değiştirin.
Ekipmanı iyice temizleyin: Ekipmanın içindeki toz ve yağ lekelerini giderin, aşırı ısınmayı önlemek için devre bağlantı kutularının ve kontrol kabinlerinin havalandırmasını kontrol edin.
Ekipmanın çalışma verilerini kaydedin: vakum derecesi, püskürtme gücü ve kaplama süresi gibi parametreleri özetleyin, bakım dosyaları oluşturun ve sonraki arıza izlenebilirliğini kolaylaştırın.
IV. Bakım Önlemleri
1.Elektrik çarpması veya gaz kaçağı riskini önlemek için tüm bakım işlemleri, güç ve gaz beslemesi kesildikten sonra yapılmalıdır.
2.Temizlik yaparken, aşındırıcı çözücüler kullanmayın. Susuz etanol ve tüy bırakmayan bezler gibi özel sarf malzemeleri kullanmaya öncelik verin.
3.Bileşenleri (hedef malzemeler ve contalar gibi) değiştirirken, modelin eşleştiğinden ve doğru şekilde takıldığından emin olun.
4.Herhangi bir anormallik tespit edilirse (vakum derecesinde ani düşüş, anormal ekipman gürültüsü veya alarm gibi), inceleme için makineyi derhal durdurun. Arıza giderilene kadar kullanmaya devam etmeyin.
Mesajınız 20-3.000 karakter arasında olmalıdır!
