| Parametry | Szczegóły |
|---|---|
| Kompatybilność podłoża | Maksymalny rozmiar szkła: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (wykonalne); Grubość: 1,6-6mm |
| Najwyższa próżnia | ≤ 8,0×10−5Pa (komora powłokowa) |
| Stawka depozytów | 00,5-2,5 μm/min (procesy reaktywne/niereakcyjne) |
| Kompatybilność docelowa | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (Low E, AR) |
| Pojemność produkcyjna | Do 1,6 mln m2/rok (jednostka, 6000 godzin pracy) |
| Czas cyklu | ≥ 15 s/kładkę (przełożenie ciągłe dużych prędkości) |
| Jednorodność filmu | ± 3% (zgodny z normą ASTMD3359 4B) |
Skontaktuj się z nami w każdej chwili