| Παράμετρος | Λεπτομέρειες |
|---|---|
| Συμφωνία υποστρώματος | Μέγιστο μέγεθος γυαλιού: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (προσαρμόσιμος) πάχος: 1,6-6mm |
| Τελικό Κενό | ≤ 8,0×10−5Pa (κάμαρα επικάλυψης) |
| Ποσοστό καταθέσεων | 00,5-2,5μm/min (αντιδραστικές/μη αντιδραστικές διαδικασίες) |
| Συμφωνία στόχων | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (Low-E, AR) |
| Κατανάλωση | Μέχρι 1,6 εκατ. m2/έτος (μονή γραμμή, 6000 ώρες εργασίας) |
| Χρόνος κύκλου | ≥ 15s/τμήμα (συνεχή επικάλυψη υψηλής ταχύτητας) |
| Ομοιομορφία ταινίας | ± 3% (ακολουθεί το πρότυπο ASTMD3359 4B) |
ΕΠΙΚΟΙΝΩΝΗΣΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ ΟΠΟΙΑΔΗΠΟΤΕ ΣΤΙΓΜΗ