| パラメータ | 詳細 |
|---|---|
| 基板の互換性 | 最大ガラスサイズ: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (カスタマイズ可能); 厚さ: 1.6-6mm |
| 究極の真空 | ≤ 8.0×10−5Pa (コーティング室) |
| 預金率 | 0.5-2.5μm/min (反応性/非反応性プロセス) |
| 目標の互換性 | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (Low-E, AR) |
| 生産能力 | 年間最大1600万m2 (単一ライン,6000作業時間) |
| サイクルの時間 | ≥15s/パーツ (高速連続コーティング) |
| フィルムの均一性 | ±3% (ASTMD3359 4B規格を満たす) |