低E低放射性ガラスPVDコーティングラインの連続コーティング生産ライン

1. 前処理ユニット: シートローディングシステム; モジュールを清浄し乾燥させる。
2. 真空コーティングユニット（コアモジュール）: 真空システム; マグネトロンスパッタリングカソード ガラス搬送システム。
3. 後処理ユニット: 冷却モジュール; 検出モジュール せん断および切断モジュール。
4. インテリジェント制御システム。

生のガラス板は洗浄および乾燥後、搬送ローラーコンベアによって入口トランジションチャンバーに送られます。トランジションチャンバーは最初に低真空（10⁻¹Pa）に排気され、次に高真空に徐々に上昇させ、コーティングチャンバーへの大気の侵入を防ぎ、環境を汚染します。

プラズマ励起: アルゴン（Ar）をコーティングチャンバーに導入し、ターゲット材料とガラス（陽極）の間に400〜600VのDC電圧を印加します。電界の作用下で、電子がアルゴン分子に衝突し、イオン化を引き起こし、プラズマ（アルゴンイオン+電子）を形成します。

磁気閉じ込めによるイオン化の強化: ターゲット材料の後ろの磁場は「磁気トラップ」を形成し、電子はローレンツ力の作用下で螺旋状に移動し、アルゴン分子との衝突確率を大幅に増加させます。プラズマ密度は10〜100倍に増加し、スパッタリング効率が向上します。

多層膜堆積 アルゴンイオンは高速でターゲット材料の表面を爆撃し、ターゲット材料の原子/分子を逃がし、各ターゲット領域をガラスと均一に通過させます。それらは、媒体層（SiO₂/Si₃N₄）、金属バリア層（NiCr）、銀層（低放射コア）、金属バリア層（NiCr）、および媒体保護層（Si₃N₄）を連続的に堆積し、完全なLow-Eフィルムシステムを形成します。その中で、銀層は遠赤外線熱放射を反射し、低放射機能を達成します。媒体層は可視光線透過率を調整し、省エネと照明の両方を考慮しています。

コーティングされたガラスは出口トランジションチャンバーに入り、徐々に大気圧に戻ります。冷却、検査、切断後、それは合格したLow-Eガラス製品になります。

• 高い生産効率と大規模製造に適しています
• フィルム層は優れた品質と安定した省エネ性能を備えています
• プロセスは柔軟で、多様な要求に対応できます
• 省エネで環境に優しく、総合コストが低い
• 高度な自動化を実現しており、人間の介入はほとんど必要ありません

• 高層ビルのカーテンウォール 民間の住宅のドアと窓; 複合商業施設。

• 高速鉄道、航空機、高級車の窓ガラスにLow-Eフィルム層を適用します。

• BIPV（Building Integrated Photovoltaic） コールドチェーン倉庫/病院。