Dopo la pulizia e l'essiccazione delle lastre di vetro grezze, vengono inviate nella camera di transizione di ingresso dal trasportatore a rulli di trasmissione.La camera di transizione viene prima evacuata ad un basso vuoto (10-1Pa), e successivamente aumentato gradualmente fino ad un vuoto elevato per evitare che l'atmosfera entri nella camera di rivestimento e inquinasse l'ambiente.
Escitazione plasmatica:L'argon (Ar) viene introdotto nella camera di rivestimento e viene applicata una tensione continua di 400-600 V tra il materiale bersaglio e il vetro (anodo).Gli elettroni colpiscono le molecole di argon, causando la loro ionizzazione e la formazione di plasma (ioni argon + elettroni).
Ionizzazione potenziata da confinamento magnetico:Il campo magnetico dietro il materiale bersaglio forma una "trappola magnetica", e gli elettroni si muovono in spirale sotto l'azione della forza di Lorentz,aumento significativo della probabilità di collisione con molecole di argonLa densità del plasma aumenta da 10 a 100 volte, migliorando l'efficienza dello sputtering.
Deposito di pellicole a più stratiGli ioni di argon bombardano la superficie del materiale bersaglio ad alta velocità, causando la fuga degli atomi/molecole del materiale bersaglio e passando attraverso ogni area bersaglio uniformemente con il vetro.Si deposita successivamente lo strato medio (SiO2/Si3N4), lo strato di barriera metallica (NiCr), lo strato d'argento (nucleo a bassa emissività), lo strato di barriera metallica (NiCr) e lo strato protettivo medio (Si3N4), che formano un completo sistema di pellicole a bassa emissione.lo strato d'argento può riflettere le radiazioni termiche infrarosse lontaneLo strato medio regola la trasmissione della luce visibile, tenendo conto sia della conservazione dell'energia che dell'illuminazione.
Il vetro rivestito entra nella camera di transizione di uscita e ritorna gradualmente alla pressione atmosferica.
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