Después de limpiar y secar las láminas de vidrio en bruto, se envían a la cámara de transición de entrada por el transportador de rodillos de transmisión.La cámara de transición se evacua primero a un vacío bajo (10-1Pa), y luego aumentado gradualmente a un vacío alto para evitar que la atmósfera entre en la cámara de recubrimiento y contamine el medio ambiente.
Excitación del plasma:Se introduce argón (Ar) en la cámara de recubrimiento y se aplica un voltaje de 400-600 V de corriente continua entre el material objetivo y el vidrio (ánodo).Los electrones golpean las moléculas de argón, haciendo que se ionicen y formen plasma (iones de argón + electrones).
Ionización reforzada por confinamiento magnético:El campo magnético detrás del material objetivo forma una "trampa magnética", y los electrones se mueven en espiral bajo la acción de la fuerza de Lorentz,aumentando significativamente la probabilidad de colisión con moléculas de argónLa densidad del plasma aumenta de 10 a 100 veces, mejorando la eficiencia de pulverización.
Deposición de películas multicapaLos iones de argón bombardean la superficie del material objetivo a alta velocidad, haciendo que los átomos / moléculas del material objetivo escapen y pasen a través de cada área objetivo uniformemente con el vidrio.Se depositan sucesivamente la capa media (SiO2/Si3N4), la capa de barrera metálica (NiCr), la capa de plata (núcleo de baja emisividad), la capa de barrera metálica (NiCr) y la capa protectora media (Si3N4), que forman un sistema completo de película Low-E.la capa de plata puede reflejar la radiación térmica infrarroja lejanaLa capa media regula la transmitancia de la luz visible, teniendo en cuenta tanto la conservación de energía como la iluminación.
El vidrio recubierto entra en la cámara de transición de salida y vuelve gradualmente a la presión atmosférica.
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