پس از تمیز کردن و خشک کردن ورق های شیشه ای خام، آنها توسط ناقل رول انتقال به اتاق انتقال ورودی ارسال می شوند.اتاق انتقال ابتدا به خلاء کم (10-1Pa) تخلیه می شود، و سپس به تدریج به خلاء بالا افزایش می یابد تا از ورود اتمسفر به اتاق پوشش و آلودگی محیط جلوگیری شود.
تحرک پلازما:آرگون (Ar) وارد اتاق پوشش می شود و ولتاژ 400-600V DC بین ماده هدف و شیشه (آنود) اعمال می شود.الکترون ها به مولکول های آرگون برخورد می کنند، باعث می شود که آنها یونیزه شوند و پلاسمای (ایون های آرگون + الکترون ها) را تشکیل دهند.
آيونيزاسيون افزايش يافتگي مغناطيسي:میدان مغناطیسی پشت ماده هدف یک " تله مغناطیسی " را تشکیل می دهد و الکترون ها تحت تأثیر نیروی لورنتز در یک مارپیچ حرکت می کنندبه طور قابل توجهی افزایش احتمال برخورد با مولکول های آرگونتراکم پلاسمای 10 تا 100 برابر افزایش می یابد، بهبود کارایی اسپتر کردن.
رسوب فیلم چند لایه اییون های آرگون با سرعت بالا سطح ماده هدف را بمباران می کنند و باعث می شوند که اتم ها / مولکول های ماده هدف فرار کنند و از هر منطقه هدف به طور یکنواخت با شیشه عبور کنند.آنها به ترتیب لایه متوسط (SiO2/Si3N4) را جمع می کنند.، لایه مانع فلزی (NiCr) ، لایه نقره ای (سیار کم انتشار) ، لایه مانع فلزی (NiCr) و لایه محافظ متوسط (Si3N4) ، یک سیستم فیلم کم E کامل را تشکیل می دهند.لایه نقره ای می تواند تابش حرارتی مادون قرمز دور را منعکس کندلایه متوسط، انتقال نور مرئی را با توجه به حفظ انرژی و روشنایی تنظیم می کند.
شیشه پوشش داده شده وارد اتاق انتقال خروجی می شود و به تدریج به فشار اتمسفر باز می گردد. پس از خنک شدن، بازرسی و برش، آن را به محصولات شیشه ای با کیفیت کم E تبدیل می کند.
در هر زمان با ما تماس بگیرید