저-E 저출력 유리 PVD 코팅 라인을 위한 연속 코팅 생산 라인

1. 전처리 장치: 시트 로딩 시스템; 모듈을 청소하고 건조합니다.
2. 진공 코팅 장치(핵심 모듈): 진공 시스템; 마그네트론 스퍼터링 음극 유리 전송 시스템.
3. 후처리 장치: 냉각 모듈; 감지 모듈 전단 및 절단 모듈.
4. 지능형 제어 시스템.

원유리가 세척 및 건조된 후, 전송 롤러 컨베이어에 의해 입구 전환 챔버로 보내집니다. 전환 챔버는 먼저 저진공(10⁻¹Pa)으로 진공 처리된 다음, 코팅 챔버로의 대기 유입을 방지하고 환경을 오염시키기 위해 점차적으로 고진공으로 증가합니다.

플라즈마 여기: 아르곤(Ar)이 코팅 챔버에 도입되고, 타겟 재료와 유리(양극) 사이에 400-600V DC 전압이 가해집니다. 전기장의 작용 하에 전자는 아르곤 분자를 때려 이온화시켜 플라즈마(아르곤 이온 + 전자)를 형성합니다.

자기 구속 강화 이온화: 타겟 재료 뒤의 자기장은 "자기 트랩"을 형성하고, 전자는 로렌츠 힘의 작용 하에 나선형으로 움직여 아르곤 분자와의 충돌 확률을 크게 증가시킵니다. 플라즈마 밀도는 10~100배 증가하여 스퍼터링 효율을 향상시킵니다.

다층 필름 증착 아르곤 이온은 고속으로 타겟 재료의 표면을 폭격하여 타겟 재료의 원자/분자가 탈출하여 유리를 통해 각 타겟 영역을 균일하게 통과하게 합니다. 이들은 차례로 중간층(SiO₂/Si₃N₄), 금속 장벽층(NiCr), 은층(저방사 코어), 금속 장벽층(NiCr) 및 중간 보호층(Si₃N₄)을 증착하여 완전한 Low-E 필름 시스템을 형성합니다. 그중 은층은 원적외선 열 복사를 반사하여 저방사 기능을 달성합니다. 중간층은 가시광선 투과율을 조절하여 에너지 절약과 조명을 모두 고려합니다.

코팅된 유리는 출구 전환 챔버로 들어가 점차적으로 대기압으로 돌아갑니다. 냉각, 검사 및 절단 후, 이는 자격을 갖춘 Low-E 유리 제품이 됩니다.

• 높은 생산 효율성과 대규모 제조에 적합
• 필름층은 우수한 품질과 안정적인 에너지 절약 성능을 가지고 있습니다.
• 공정은 유연하고 다양한 요구에 적응할 수 있습니다.
• 에너지 절약 및 환경 친화적이며, 낮은 종합 비용
• 높은 수준의 자동화를 갖추고 있으며, 사람의 개입이 거의 필요하지 않습니다.

• 고층 건물 커튼월; 민간 주거용 문과 창문; 상업 복합 단지.

• 고속철도, 항공기 및 고급 자동차의 창유리에 Low-E 필름층을 적용합니다.

• 건물 통합 태양광 발전(BIPV) 냉장 창고/병원.