Une fois les feuilles de verre brutes nettoyées et séchées, elles sont envoyées dans la chambre de transition d'entrée par le convoyeur à rouleaux de transmission.La chambre de transition est d'abord évacuée à un faible vide (10−1Pa), puis augmenté progressivement à un vide élevé pour empêcher l'entrée de l'atmosphère dans la chambre de revêtement et la pollution de l'environnement.
Excitation du plasma:L'argon (Ar) est introduit dans la chambre de revêtement et une tension de courant continu de 400 à 600 V est appliquée entre le matériau cible et le verre (anode).Les électrons frappent les molécules d'argon., les faisant ioniser et former un plasma (ions argon + électrons).
Ionisation renforcée par confinement magnétique:Le champ magnétique derrière le matériau cible forme un "piège magnétique", et les électrons se déplacent en spirale sous l'action de la force de Lorentz,augmentation significative de la probabilité de collision avec des molécules d'argonLa densité du plasma augmente de 10 à 100 fois, ce qui améliore l'efficacité du pulvérisation.
Dépôt de film multicoucheLes ions argon bombardent la surface du matériau cible à grande vitesse, provoquant la fuite des atomes/molécules du matériau cible et leur passage à travers chaque zone cible uniformément avec le verre.Ils déposent successivement la couche moyenne (SiO2/Si3N4)La couche métallique de barrière (NiCr), la couche d'argent (noyau à faible émission), la couche métallique de barrière (NiCr) et la couche protectrice moyenne (Si3N4) forment un système complet de film à faible émission.la couche d'argent peut refléter le rayonnement thermique infrarouge lointainLa couche moyenne régule la transmission de la lumière visible, en tenant compte à la fois de la conservation de l'énergie et de l'éclairage.
Le verre revêtu entre dans la chambre de transition de sortie et revient progressivement à la pression atmosphérique.
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