Ligne de production de revêtement continu pour la ligne de revêtement PVD en verre à faible émission Low-E
Ligne de revêtement PVD en verre à faible teneur en E
,Ligne de production de revêtement sous vide continu
,équipement de revêtement de verre à faible émission
- Unité de prétraitement:Système de chargement des feuilles; nettoyer et sécher le module.
- Unité de revêtement sous vide (module de base): Système sous vide; cathode à pulvérisation magnétronique Système de transmission en verre.
- Unité de post-traitement:Module de refroidissement; module de détection Module de tonte et de coupe.
- Un système de contrôle intelligent.
Une fois les feuilles de verre brutes nettoyées et séchées, elles sont envoyées dans la chambre de transition d'entrée par le convoyeur à rouleaux de transmission.La chambre de transition est d'abord évacuée à un faible vide (10−1Pa), puis augmenté progressivement à un vide élevé pour empêcher l'entrée de l'atmosphère dans la chambre de revêtement et la pollution de l'environnement.
Excitation du plasma:L'argon (Ar) est introduit dans la chambre de revêtement et une tension de courant continu de 400 à 600 V est appliquée entre le matériau cible et le verre (anode).Les électrons frappent les molécules d'argon., les faisant ioniser et former un plasma (ions argon + électrons).
Ionisation renforcée par confinement magnétique:Le champ magnétique derrière le matériau cible forme un "piège magnétique", et les électrons se déplacent en spirale sous l'action de la force de Lorentz,augmentation significative de la probabilité de collision avec des molécules d'argonLa densité du plasma augmente de 10 à 100 fois, ce qui améliore l'efficacité du pulvérisation.
Dépôt de film multicoucheLes ions argon bombardent la surface du matériau cible à grande vitesse, provoquant la fuite des atomes/molécules du matériau cible et leur passage à travers chaque zone cible uniformément avec le verre.Ils déposent successivement la couche moyenne (SiO2/Si3N4)La couche métallique de barrière (NiCr), la couche d'argent (noyau à faible émission), la couche métallique de barrière (NiCr) et la couche protectrice moyenne (Si3N4) forment un système complet de film à faible émission.la couche d'argent peut refléter le rayonnement thermique infrarouge lointainLa couche moyenne régule la transmission de la lumière visible, en tenant compte à la fois de la conservation de l'énergie et de l'éclairage.
Le verre revêtu entre dans la chambre de transition de sortie et revient progressivement à la pression atmosphérique.
- Efficacité de production élevée et adaptée à la fabrication à grande échelle
- La couche de film a une excellente qualité et des performances d'économie d'énergie stables
- Le processus est souple et adaptable à diverses demandes
- Économie d'énergie et écologique, à faible coût global
- Il est hautement automatisé et nécessite peu d'intervention humaine.
- Murs-rideaux de gratte-ciel portes et fenêtres résidentielles civiles; complexe commercial.
- Appliquer des couches de film Low-E sur les vitres des trains à grande vitesse, des avions et des voitures haut de gamme.
- Construction d'un entrepôt/hôpital à chaîne froide intégré photovoltaïque (BIPV).