สายการผลิตเคลือบต่อเนื่องสำหรับกระจก Low-E (Low-Emissivity) สายเคลือบ PVD

1. หน่วยเตรียมการ:ระบบโหลดแผ่น; ทำความสะอาดและทำให้โมดูลแห้ง
2. หน่วยเคลือบสุญญากาศ (โมดูลหลัก): ระบบสุญญากาศ; แคโทดสปัตเตอร์แมกนีตรอน ระบบส่งผ่านกระจก
3. หน่วยหลังการประมวลผล:โมดูลระบายความร้อน; โมดูลตรวจจับ โมดูลตัดและตัด
4. ระบบควบคุมอัจฉริยะ

หลังจากแผ่นกระจกดิบถูกทำความสะอาดและทำให้แห้งแล้ว จะถูกส่งเข้าไปในห้องเปลี่ยนผ่านทางเข้าโดยสายพานลำเลียงลูกกลิ้ง ห้องเปลี่ยนผ่านจะถูกอพยพเป็นสุญญากาศต่ำ (10⁻¹Pa) ก่อน จากนั้นจึงค่อยๆ เพิ่มขึ้นเป็นสุญญากาศสูงเพื่อป้องกันไม่ให้อากาศเข้าสู่ห้องเคลือบและก่อให้เกิดมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อม

การกระตุ้นพลาสมา:มีการนำอาร์กอน (Ar) เข้าไปในห้องเคลือบ และใช้แรงดันไฟฟ้า DC 400-600V ระหว่างวัสดุเป้าหมายและกระจก (แอโนด) ภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า อิเล็กตรอนจะชนโมเลกุลอาร์กอน ทำให้เกิดไอออไนซ์และสร้างพลาสมา (ไอออนอาร์กอน + อิเล็กตรอน)

การกักขังแม่เหล็กช่วยเพิ่มไอออไนเซชัน:สนามแม่เหล็กด้านหลังวัสดุเป้าหมายจะสร้าง "กับดักแม่เหล็ก" และอิเล็กตรอนจะเคลื่อนที่แบบเกลียวภายใต้การกระทำของแรงลอเรนซ์ ซึ่งจะเพิ่มโอกาสในการชนกับโมเลกุลอาร์กอนอย่างมาก ความหนาแน่นของพลาสมาเพิ่มขึ้น 10 ถึง 100 เท่า ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการสปัตเตอร์

การสะสมฟิล์มหลายชั้นไอออนอาร์กอนจะระเบิดพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายด้วยความเร็วสูง ทำให้อะตอม/โมเลกุลของวัสดุเป้าหมายหลุดออกมาและผ่านแต่ละพื้นที่เป้าหมายอย่างสม่ำเสมอด้วยกระจก พวกมันจะสะสมชั้นกลาง (SiO₂/Si₃N₄) ชั้นกั้นโลหะ (NiCr) ชั้นเงิน (แกนปล่อยรังสีต่ำ) ชั้นกั้นโลหะ (NiCr) และชั้นป้องกันกลาง (Si₃N₄) ตามลำดับ ทำให้เกิดระบบฟิล์ม Low-E ที่สมบูรณ์ ในบรรดาพวกมัน ชั้นเงินสามารถสะท้อนรังสีความร้อนอินฟราเรดไกลได้ ทำให้ได้ฟังก์ชันการแผ่รังสีต่ำ ชั้นกลางควบคุมการส่งผ่านแสงที่มองเห็นได้ โดยคำนึงถึงทั้งการอนุรักษ์พลังงานและการให้แสงสว่าง

กระจกเคลือบจะเข้าสู่ห้องเปลี่ยนผ่านทางออกและค่อยๆ กลับสู่ความดันบรรยากาศ หลังจากระบายความร้อน ตรวจสอบ และตัดแล้ว จะกลายเป็นผลิตภัณฑ์กระจก Low-E ที่มีคุณสมบัติเหมาะสม

• ประสิทธิภาพการผลิตสูงและเหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมาก
• ชั้นฟิล์มมีคุณภาพดีเยี่ยมและมีประสิทธิภาพการประหยัดพลังงานที่เสถียร
• กระบวนการมีความยืดหยุ่นและปรับให้เข้ากับความต้องการที่หลากหลายได้
• ประหยัดพลังงานและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม โดยมีต้นทุนโดยรวมต่ำ
• มีความเป็นอัตโนมัติในระดับสูงและต้องการการแทรกแซงของมนุษย์เพียงเล็กน้อย

• ผนังม่านอาคารสูง ประตูและหน้าต่างที่อยู่อาศัยพลเรือน; คอมเพล็กซ์เชิงพาณิชย์

• ใช้ชั้นฟิล์ม Low-E กับกระจกหน้าต่างของรถไฟความเร็วสูง เครื่องบิน และรถยนต์ระดับไฮเอนด์

• อาคารบูรณาการโฟโตโวลตาอิก (BIPV) คลังสินค้า/โรงพยาบาลสายโซ่เย็น