Após a limpeza e a secagem das chapas de vidro em bruto, são enviadas para a câmara de transição de entrada pelo transportador de rolos de transmissão.A câmara de transição é primeiramente evacuada para um vácuo baixo (10-1Pa), e, em seguida, aumentado gradualmente para um vácuo elevado para evitar que a atmosfera entre na câmara de revestimento e poluir o ambiente.
Excitação plasmática:O argônio (Ar) é introduzido na câmara de revestimento e uma tensão de corrente contínua de 400-600 V é aplicada entre o material alvo e o vidro (ânodo).Os elétrons atingem as moléculas de argônio, fazendo com que eles se ionizem e formem plasma (iões argônio + elétrons).
Ionização reforçada por confinamento magnético:O campo magnético por trás do material alvo forma uma "armadilha magnética", e os elétrons se movem em espiral sob a ação da força de Lorentz,aumentando significativamente a probabilidade de colisão com moléculas de argônioA densidade do plasma aumenta de 10 a 100 vezes, melhorando a eficiência de pulverização.
Deposição de película multicamadasOs íons argônio bombardeiam a superfície do material alvo a alta velocidade, fazendo com que os átomos/moléculas do material alvo escapem e passem por cada área alvo uniformemente com o vidro.Eles depositam sucessivamente a camada média (SiO2/Si3N4), a camada de barreira metálica (NiCr), a camada de prata (núcleo de baixa emissividade), a camada de barreira metálica (NiCr) e a camada protetora média (Si3N4), formando um sistema completo de filme Low-E.A camada de prata pode refletir a radiação térmica do infravermelho distanteA camada média regula a transmissão da luz visível, tendo em conta tanto a conservação de energia como a iluminação.
O vidro revestido entra na câmara de transição de saída e retorna gradualmente à pressão atmosférica.
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