| 매개 변수 | 세부 사항 |
|---|---|
| 기판 호환성 | 최대 유리 크기: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (자격화 가능); 두께: 1.6-6mm |
| 최후의 진공 | ≤ 8.0×10−5Pa (부연 챔버) |
| 예금율 | 0.5-2.5μm/min (반응성/반응성 없는 과정) |
| 목표의 호환성 | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (Low-E, AR) |
| 생산용량 | 최대 1600만 m2/년 (일선, 6000시간) |
| 사이클 시간 | ≥15s/단위 (고속 연속 코팅) |
| 필름 균일성 | ±3% (ASTMD3359 4B 표준을 충족) |