| Parameter | Detail |
|---|---|
| Substraatcompatibiliteit | Maximale glasgrootte: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (aanpasbaar); Dikte: 1,6-6mm |
| Ultieme vacuüm | ≤ 8,0×10−5Pa (coatingkamer) |
| Depositocijfer | 00,5-2,5 μm/min (reactieve/niet-reactieve processen) |
| Doelverenigbaarheid | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (low-E, AR) |
| Productiecapaciteit | Tot 1,6 miljoen m2/jaar (een enkele lijn, 6000 werkuren) |
| Cyclustijd | ≥ 15 s/stuk (hoge snelheidsgerelateerde continue coating) |
| Uniformiteit van de film | ± 3% (voldoet aan ASTMD3359 4B-norm) |
Neem op elk moment contact met ons op.