| প্যারামিটার | বিস্তারিত |
|---|---|
| সাবস্ট্র্যাট সামঞ্জস্যতা | সর্বোচ্চ গ্লাসের আকারঃ 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (কাস্টমাইজযোগ্য); বেধঃ 1.6-6mm |
| চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম | ≤ ৮.০×১০-৫পিএ (কভারিং চেম্বার) |
| ডিপোজিট রেট | 0.৫-২.৫μm/মিনিট (প্রতিক্রিয়াশীল/অপ্রতিক্রিয়াশীল প্রক্রিয়া) |
| লক্ষ্য সামঞ্জস্য | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (Low-E, AR) |
| উৎপাদন ক্ষমতা | ১.৬ মিলিয়ন মিটার/বছর পর্যন্ত (একক লাইন, ৬০০০ কাজের ঘন্টা) |
| চক্র সময় | ≥15s/পিস (উচ্চ গতির অবিচ্ছিন্ন লেপ) |
| ফিল্ম অভিন্নতা | ± 3% (ASTMD3359 4B মান পূরণ করে) |
যে কোন সময় আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন