| पैरामीटर | विवरण |
|---|---|
| सब्सट्रेट संगतता | ग्लास का अधिकतम आकारः 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (अनुकूलित); मोटाईः 1.6-6mm |
| परम वैक्यूम | ≤ 8.0×10−5Pa (कोटिंग कक्ष) |
| जमा दर | 0.5-2.5μm/min (प्रतिक्रियाशील/गैर-प्रतिक्रियाशील प्रक्रियाएं) |
| लक्ष्य संगतता | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (लो-ई, AR) |
| उत्पादन क्षमता | 1.6 मिलियन मीटर प्रतिवर्ष तक (एकल लाइन, 6000 कार्य घंटों) |
| चक्र समय | ≥15s/टुकड़ा (उच्च गति निरंतर कोटिंग) |
| फिल्म एकरूपता | ± 3% (ASTMD3359 4B मानक को पूरा करता है) |
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