| Parametro | Dettagli |
|---|---|
| Compatibilità del substrato | Dimensione massima del vetro: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (personalizzabile); Spessore: 1,6-6mm |
| Il vuoto finale | ≤ 8,0×10−5Pa (camera di rivestimento) |
| Tasso di deposito | 00,5-2,5 μm/min (processi reattivi/non reattivi) |
| Compatibilità degli obiettivi | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (basso E, AR) |
| Capacità di produzione | Fino a 1,6 milioni di m2/anno (linea singola, 6000 ore di lavoro) |
| Tempo di ciclo | ≥ 15s/pezzo (rivestimento continuo ad alta velocità) |
| Uniformità del film | ± 3% (conforme alla norma ASTMD3359 4B) |
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