| Parameter | Rincian |
|---|---|
| Substrate Compatibility | Ukuran kaca maksimum: 1500×2000mm ~ 2440×3660mm (bisa disesuaikan); Ketebalan: 1,6-6mm |
| Ultimate Vacuum | ≤ 8,0×10−5Pa (kamar pelapis) |
| Tingkat Deposit | 00,5-2,5μm/menit (proses reaktif/non-reaktif) |
| Kompatibilitas Target | Ti, Si, Cr, Al, ITO, Nb2O5, Si3N4 (E rendah, AR) |
| Kapasitas Produksi | Hingga 1,6 juta m2/tahun (line tunggal, 6000 jam kerja) |
| Waktu Siklus | ≥ 15s/potongan (lapisan terus menerus kecepatan tinggi) |
| Keseragaman Film | ± 3% (mengikuti standar ASTMD3359 4B) |
Hubungi kami kapan saja