| チャンバー構造 | フロント/バック粗引きポンプチャンバー、トランジションチャンバー、精製ポンプチャンバー、バッファチャンバー、カラープレーティングチャンバーを備えた、高効率水平連続マグネトロンコーティングアセンブリライン |
| ターゲット設計 | 高度な回転カソードターゲットとフラットカソードターゲット構成 |
| 電源構成 | 高出力中周波マグネトロンスパッタリング電源 |
| 電気制御 | 産業用コンピュータ表示システムを備えたPLC制御生産ライン |
| ヒューマンマシンインターフェース | オペレーターガイダンスのためのアラームリマインダーと誤動作表示を備えたインタラクティブ制御システム |
| 伝送システム | 周波数変換によるローラー伝送。ガラスおよびフラットボード基板に対応 |