| Struktur der Kammer | Hocheffiziente horizontale kontinuierliche Magnetronbeschichtungsanlage mit Vorder-/Hintergrobpumpenkammern, Übergangskammern, Raffinationspumpenkammern, Pufferkammernund Farbplattenkammer |
| Zieldesign | Fortgeschrittene Rotations- und Flachkatoden-Zielkonfigurationen |
| Leistungskonfiguration | Magnetron-Sputterstromversorgung mit hoher Leistung und mittlerer Frequenz |
| Elektrische Steuerung | PLC-gesteuerte Produktionslinie mit industriellem Computerbildschirm |
| Mensch-Maschine-Schnittstelle | Interaktives Steuerungssystem mit Alarm-Erinnerungen und Funktionsstörungsanzeige zur Anleitung des Bedieners |
| Übertragungssystem | Rollgetriebe mit Frequenzumwandlung; kompatibel mit Glas- und Flachplattenunterlagen |
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