電子ビーム蒸発塗装用小型の光学塗装用 pvd塗装機器

小型電子ビーム蒸着コーティング機の主な機能は、高純度で高度に制御可能な薄膜の堆積であり、具体的には以下のカテゴリに分類できます。

• 高エネルギー電子ビームを使用してターゲット材料の表面を爆撃し、溶融または蒸発状態に加熱し、ターゲット材料の原子/分子を気体状に放出します。抵抗加熱と比較して、電子ビーム加熱はエネルギーが集中し、熱効率が高く、タングステン、モリブデン、チタン、SiO₂、TiO₂などの難溶融材料の蒸発を可能にし、加熱源によるターゲット材料の汚染を回避します。
• マルチターゲット材料の切り替えをサポート（通常2〜6個のるつぼ位置を装備）し、単層および多層膜の連続堆積を可能にし、複合膜層の作製要件を満たします。

• 内蔵の水晶振動子膜厚モニターを搭載しており、膜層の堆積速度と膜厚をリアルタイムで監視できます。制御精度はナノメートルレベル（通常±0.1nm）に達し、超薄型機能性膜（光学反射防止膜や数十ナノメートルの金属導電膜など）を作製できます。
• プログラム可能な制御システムを搭載しており、堆積パラメータ（電子ビーム出力、真空度、堆積速度）をプリセットでき、自動コーティングを実現し、バッチ膜層の一貫性を確保します。

• メカニカルポンプ+分子ポンプ真空ユニットを搭載しており、チャンバーの真空度を10⁻⁴〜10⁻⁶ Paの高真空環境に低減でき、蒸発粒子のガス分子による散乱と汚染を減らし、膜層が高純度、良好な密度、および強い密着性を確保します。

• 小型ワークピース用に設計されており、ワークピーステーブルはほとんどが回転式（コーティング層の均一性を向上させるため）であり、通常数ミリメートルから数十ミリメートル（ウェーハ、光学レンズ、チップ、センサーコンポーネントなど）のサイズの基板に適しており、表面実装、シート、および小さな部品のコーティングをサポートします。

小型電子ビーム蒸着コーティング機は、そのコンパクトなサイズ、柔軟な操作性、および高精度により、主に科学研究実験および少量生産の高精度で高度な製品に適用されます。具体的なシナリオは次のとおりです。

• 新材料の研究開発：金属膜（Au、Ag、Cu）、誘電体膜（SiO₂、TiO₂、Al₂O₃）、半導体膜（Si、Ge）などを調製し、膜層の構造、性能、および応用可能性を研究します。
• 薄膜物理学/化学実験：薄膜成長メカニズム、界面反応、ドーピング修飾などに関する基礎研究を行い、材料科学、光学、電子工学などの分野で一般的に使用される実験装置です。

• チップおよびセンサーの作製：マイクロセンサー（圧力センサー、ガスセンサーなど）およびマイクロ電子部品（集積回路電極、薄膜抵抗など）用の金属電極膜または絶縁誘電体膜を堆積します。
• ウェーハレベルのコーティング：実験室レベルのチッププロトタイプの開発のための小型ウェーハの局所コーティング。

• 小型光学レンズコーティング：顕微鏡対物レンズ、レーザーレンズ、光ファイバー端面などの小型光学部品用の反射防止膜、反射膜、ビームスプリッター膜を調製し、光学性能を向上させます。
• 特殊光学膜の研究開発：レーザー装置や光学機器の実験プロトタイプの製造用に、狭帯域フィルター、高反射ミラーなどの特殊膜層を開発します。

• バッテリー材料の研究：リチウムイオン電池および固体電池の電極材料用の保護層または導電膜を堆積し、バッテリーのサイクル寿命と安全性を最適化します。
• 太陽電池の研究開発：太陽電池用の反射防止膜および電極膜を調製し、実験室での小型セルの性能試験に使用します。

• マイクロ医療機器コーティング：埋め込み型マイクロデバイス（ペースメーカー電極、マイクロプローブなど）用の生体適合性膜（TiN、ダイヤモンドライクカーボン膜など）を堆積し、耐食性と生物学的安全性を向上させます。
• 精密工具/金型コーティング：小型精密工具およびマイクロ金型に硬質で耐摩耗性の膜を堆積し、耐用年数を延長します（少量カスタム生産用）。

• MEMSデバイス（マイクロモーターやマイクロジャイロスコープなど）用の構造膜および機能膜を堆積して、デバイスの小型化と高性能化を実現することは、MEMSプロトタイプの研究開発における重要な設備です。