Optik kaplama için küçük elektron ışınlı buharlaştırma kaplama makineleri pvd kaplama ekipmanları

Küçük elektron ışınlı buharlaştırma kaplama makinesinin temel işlevleri, özellikle aşağıdaki kategorilere ayrılabilen yüksek saflıkta ve yüksek düzeyde kontrol edilebilir filmlerin biriktirilmesi etrafında döner:

• Yüksek enerjili elektron ışınları, hedef malzemenin yüzeyini bombardıman etmek, onu erimiş veya buharlaşmış bir duruma ısıtmak için kullanılır ve hedef malzemenin atomları/molekülleri gaz halinde kaçar. Dirençli ısıtmayla karşılaştırıldığında, elektron ışınıyla ısıtma, konsantre enerji ve yüksek termal verime sahiptir; tungsten, molibden, titanyum, SiO₂ ve TiO₂ gibi refrakter malzemelerin buharlaşmasını sağlar ve hedef malzemenin ısıtma kaynağı tarafından kirlenmesini önler.
• Tek katmanlı ve çok katmanlı filmlerin sürekli biriktirilmesini sağlayan ve kompozit film katmanlarının hazırlık gereksinimlerini karşılayan çok hedefli malzeme değiştirmeyi (genellikle 2 ila 6 pota konumuyla donatılmıştır) destekler.

• Film katmanının biriktirme hızını ve kalınlığını gerçek zamanlı olarak izleyebilen yerleşik bir kuvars kristal film kalınlığı monitörü ile donatılmıştır. Kontrol doğruluğu nanometre seviyesine (genellikle ±0,1 nm) ulaşabilir ve ultra ince fonksiyonel filmler (optik yansıma önleyici filmler ve onlarca nanometrelik metal iletken filmler gibi) hazırlayabilir.
• Programlanabilir bir kontrol sistemi ile donatılmış olup, biriktirme parametrelerini (elektron ışın gücü, vakum derecesi, biriktirme hızı) önceden ayarlayabilir, otomatik kaplama sağlayabilir ve toplu film katmanlarının tutarlılığını sağlayabilir.

• Mekanik bir pompa + moleküler pompa vakum ünitesi ile donatılan boşluğun vakum derecesi, 10⁻⁴~10⁻⁶ Pa'lık yüksek bir vakum ortamına düşürülebilir, böylece gaz moleküllerinin buharlaşan parçacıklar üzerindeki saçılması ve kirlenmesi azaltılır ve film tabakasının yüksek saflığa, iyi yoğunluğa ve güçlü yapışmaya sahip olması sağlanır.

• Küçük iş parçaları için tasarlanan iş parçası tablası çoğunlukla dönerdir (kaplama katmanının tekdüzeliğini geliştirmek için), tipik olarak birkaç milimetreden onlarca milimetreye kadar değişen boyutlara sahip alt tabakalar (wafer'lar, optik lensler, çipler, sensör bileşenleri gibi) için uygundur ve yüzeye montaj, tabaka ve küçük parçaların kaplanmasını destekler.

Küçük elektron ışınlı buharlaştırma kaplama makinesi, kompakt boyutu, esnek çalışması ve yüksek hassasiyeti nedeniyle, esas olarak bilimsel araştırma deneylerinde ve küçük partili, yüksek hassasiyetli ve gelişmiş ürünlerin üretiminde uygulanır. Spesifik senaryolar aşağıdaki gibidir:

• Yeni malzeme araştırma ve geliştirme: Metal filmler (Au, Ag, Cu), dielektrik filmler (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), yarı iletken filmler (Si, Ge), vb. hazırlamak ve film katmanlarının yapısını, performansını ve uygulama potansiyelini incelemek için kullanılır.
• İnce film fiziği/kimya deneyleri: İnce film büyüme mekanizmaları, arayüzey reaksiyonları, doping modifikasyonu vb. konularda temel araştırmalar yürüten, malzeme bilimi, optik ve elektronik gibi disiplinlerde yaygın olarak kullanılan deneysel bir cihazdır.

• Çip ve sensör hazırlığı: Mikro sensörler (basınç sensörleri, gaz sensörleri gibi) ve mikroelektronik bileşenler (entegre devre elektrotları, ince film dirençleri gibi) için metal elektrot filmleri veya yalıtkan dielektrik filmler biriktirin.
• Plaka düzeyinde kaplama: Laboratuvar düzeyinde çip prototipi geliştirme için küçük boyutlu plakaların yerel kaplanması.

• Küçük optik lens kaplaması: Optik performansı artırmak amacıyla mikroskop objektifleri, lazer lensler ve optik fiber uç yüzleri gibi küçük optik bileşenler için yansıma önleyici filmler, yansıtıcı filmler ve ışın bölücü filmler hazırlayın.
• Özel optik filmlerin araştırılması ve geliştirilmesi: Lazer ekipmanı ve optik aletlerin deneysel prototiplerinin üretimi için dar bant filtreler, yüksek yansıtıcılığa sahip aynalar ve diğer özel film katmanları geliştirin.

• Pil malzemesi araştırması: Pillerin çevrim ömrünü ve güvenliğini optimize etmek için lityum iyon pillerin ve katı hal pillerin elektrot malzemeleri için koruyucu katmanlar veya iletken filmler biriktirme.
• Güneş pili araştırma ve geliştirme: Laboratuvarda küçük boyutlu hücrelerin performans testi için kullanılan, güneş pilleri için yansıma önleyici filmler ve elektrot filmleri hazırlayın.

• Mikro tıbbi cihaz kaplaması: Korozyon direncini ve biyolojik güvenliği artırmak için implante edilebilir mikro cihazlar (kalp pili elektrotları, mikro problar gibi) için biyouyumlu filmlerin (TiN, elmas benzeri karbon filmler gibi) biriktirilmesi.
• Hassas alet/kalıp kaplama: Hizmet ömrünü uzatmak için küçük hassas aletlerin ve mikro kalıpların üzerine sert ve aşınmaya dayanıklı filmler biriktirin (küçük partiler halinde özelleştirilmiş üretim için).

• Cihazların minyatürleştirilmesini ve yüksek performansını elde etmek için MEMS cihazları (mikro motorlar ve mikro jiroskoplar gibi) için yapısal filmlerin ve fonksiyonel filmlerin biriktirilmesi, MEMS prototiplerinin araştırılması ve geliştirilmesinde önemli bir ekipmandır.