ऑप्टिकल कोटिंग पीवीडी कोटिंग उपकरण के लिए छोटे इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीनें

छोटे इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन के मुख्य कार्य उच्च शुद्धता और अत्यधिक नियंत्रित फिल्मों की जमाव के आसपास घूमते हैं,जिसे विशेष रूप से निम्नलिखित श्रेणियों में वर्गीकृत किया जा सकता है:

• उच्च-ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग लक्ष्य सामग्री की सतह पर बमबारी करने के लिए किया जाता है, इसे पिघले या वाष्पित अवस्था तक गर्म किया जाता है, और लक्ष्य सामग्री के परमाणु/अणु गैस के रूप में भाग जाते हैं।प्रतिरोध हीटिंग की तुलना में, इलेक्ट्रॉन बीम हीटिंग में केंद्रित ऊर्जा और उच्च थर्मल दक्षता होती है, जिससे वोल्फ्रेमेन, मोलिब्डेनम, टाइटेनियम, SiO2 और TiO2 जैसी अग्निरोधक सामग्रियों का वाष्पीकरण संभव होता है।और हीटिंग स्रोत द्वारा लक्ष्य सामग्री के संदूषण से बचने.
• बहु-लक्ष्य सामग्री स्विचिंग का समर्थन करता है (आमतौर पर 2 से 6 ट्रिगबल पोजीशन से लैस), एकल-परत और बहु-परत फिल्मों की निरंतर जमाव की अनुमति देता है,और मिश्रित फिल्म परतों की तैयारी की आवश्यकताओं को पूरा.

• यह एक अंतर्निहित क्वार्ट्ज क्रिस्टल फिल्म मोटाई मॉनिटर से लैस है, जो वास्तविक समय में फिल्म परत की जमाव दर और मोटाई की निगरानी कर सकता है।नियंत्रण सटीकता नैनोमीटर स्तर (आमतौर पर ± 0.1 एनएम), और यह अति पतली कार्यात्मक फिल्मों (जैसे ऑप्टिकल प्रतिबिंब विरोधी फिल्मों और नैनोमीटर के दसियों के धातु प्रवाहकीय फिल्मों) तैयार कर सकते हैं।
• एक प्रोग्राम करने योग्य नियंत्रण प्रणाली से सुसज्जित, यह जमाव मापदंडों पूर्व निर्धारित कर सकते हैं (इलेक्ट्रॉन बीम शक्ति, वैक्यूम डिग्री, जमाव दर),स्वचालित कोटिंग प्राप्त करना और बैच फिल्म परतों की स्थिरता सुनिश्चित करना.

• एक यांत्रिक पंप + आणविक पंप वैक्यूम इकाई से लैस, गुहा की वैक्यूम डिग्री को 10−4~10−6 Pa के उच्च वैक्यूम वातावरण तक कम किया जा सकता है,वाष्पित कणों पर गैस के अणुओं के बिखराव और दूषित होने को कम करना, और यह सुनिश्चित करना कि फिल्म परत में उच्च शुद्धता, अच्छा घनत्व और मजबूत आसंजन हो।

• छोटे काम के टुकड़ों के लिए डिज़ाइन किया गया, काम के टुकड़े की मेज ज्यादातर घूर्णी है (कोटिंग परत की एकरूपता में सुधार के लिए),आमतौर पर कुछ मिलीमीटर से लेकर दसियों मिलीमीटर तक के आकार के सब्सट्रेट के लिए उपयुक्त (जैसे वेफर्स), ऑप्टिकल लेंस, चिप्स, सेंसर घटक), और सतह माउंट, शीट और छोटे भागों की कोटिंग का समर्थन करता है।

छोटी इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण कोटिंग मशीन, अपने कॉम्पैक्ट आकार, लचीले संचालन और उच्च परिशुद्धता के कारण,मुख्य रूप से वैज्ञानिक अनुसंधान प्रयोगों और छोटे बैच उच्च परिशुद्धता और उन्नत उत्पादों के उत्पादन में लागू किया जाता हैविशिष्ट परिदृश्य इस प्रकार हैंः

• नई सामग्री अनुसंधान एवं विकास: इसका उपयोग धातु फिल्मों (Au, Ag, Cu), डाइलेक्ट्रिक फिल्मों (SiO2, TiO2, Al2O3), अर्धचालक फिल्मों (Si, Ge) आदि को तैयार करने तथा संरचना का अध्ययन करने के लिए किया जाता है।फिल्म परतों के प्रदर्शन और अनुप्रयोग क्षमता.
• पतली फिल्म भौतिकी/रसायन प्रयोगः पतली फिल्म विकास तंत्र, अंतरफलक प्रतिक्रियाओं, डोपिंग संशोधन आदि पर मौलिक अनुसंधान करना।यह सामग्री विज्ञान जैसे विषयों में आम तौर पर प्रयोगात्मक उपकरण है, ऑप्टिक्स और इलेक्ट्रॉनिक्स।

• चिप और सेंसर तैयार करना: माइक्रो-सेंसर (जैसे दबाव सेंसर,गैस सेंसर) और सूक्ष्म इलेक्ट्रॉनिक घटक (जैसे एकीकृत सर्किट इलेक्ट्रोड), पतली फिल्म प्रतिरोधक) ।
• वेफर स्तर पर कोटिंगः प्रयोगशाला स्तर पर चिप प्रोटोटाइप विकास के लिए छोटे आकार के वेफर्स का स्थानीय कोटिंग।

• छोटे ऑप्टिकल लेंस कोटिंगः माइक्रोस्कोप उद्देश्यों, लेजर लेंस जैसे छोटे ऑप्टिकल घटकों के लिए प्रतिबिंब विरोधी फिल्म, प्रतिबिंबित फिल्म और बीम विभाजन फिल्म तैयार करें,और ऑप्टिकल फाइबर अंत चेहरे ऑप्टिकल प्रदर्शन को बढ़ाने के लिए.
• विशेष ऑप्टिकल फिल्मों का अनुसंधान एवं विकास: संकीर्ण बैंड फिल्टर विकसित करना,उच्च परावर्तनशीलता वाले दर्पण और लेजर उपकरण और ऑप्टिकल उपकरणों के प्रयोगात्मक प्रोटोटाइप के उत्पादन के लिए अन्य विशेष फिल्म परतें.

• बैटरी सामग्री अनुसंधान:बैटरी के चक्र जीवन और सुरक्षा को अनुकूलित करने के लिए लिथियम-आयन बैटरी और ठोस-राज्य बैटरी के इलेक्ट्रोड सामग्री के लिए सुरक्षात्मक परतों या प्रवाहकीय फिल्मों को जमा करना.
• सौर सेल अनुसंधान एवं विकासः सौर सेल के लिए प्रतिबिंब विरोधी फिल्म और इलेक्ट्रोड फिल्म तैयार करें, जिनका प्रयोग प्रयोगशाला में छोटे आकार के सेल के प्रदर्शन परीक्षण के लिए किया जाता है।

• माइक्रो-मेडिकल डिवाइस कोटिंगः इम्प्लांटेबल माइक्रो-डिवाइसेस (जैसे पेसमेकर इलेक्ट्रोड,सूक्ष्म जांच) संक्षारण प्रतिरोध और जैविक सुरक्षा को बढ़ाने के लिए.
• परिशुद्धता उपकरण/मोल्ड कोटिंगः छोटे परिशुद्धता उपकरण और सूक्ष्म मोल्ड पर उनकी सेवा जीवन को बढ़ाने के लिए कठोर और पहनने के प्रतिरोधी फिल्मों को जमा करें (छोटे बैच अनुकूलित उत्पादन के लिए) ।

• Depositing structural films and functional films for MEMS devices (such as micro-motors and micro gyroscopes) to achieve miniaturization and high performance of the devices is a key equipment in the research and development of MEMS prototypes.