소형 전자 빔 증발 코팅 기계 광 코팅 pvd 코팅 장비

작은 전자 빔 증발 코팅 기계의 핵심 기능은 고 순수성 및 고 제어 가능한 필름의 퇴적에 관한 것입니다.특히 다음 분류로 분류할 수 있습니다.:

• 고에너지 전자 빔은 표적 물질의 표면을 폭격하여 녹은 상태 또는 증발 상태로 가열하여 표적 물질의 원자/분자가 기체 형태로 탈출하는 데 사용됩니다.저항 가열과 비교, 전자 빔 난방은 집중 에너지와 높은 열 효율을 갖추고 있으며, 울프스탄, 몰리브덴, 티타늄, SiO2 및 TiO2와 같은 불소연 물질의 증발을 가능하게합니다.그리고 난방 원천에 의해 대상 물질의 오염을 피하는.
• 멀티 타겟 재료 전환을 지원합니다 (일반적으로 2 ~ 6 개의 크라이블 위치가 장착되어 있으며, 일층 및 다층 필름의 연속 퇴적을 가능하게합니다.)그리고 복합 필름 층의 준비 요구 사항을 충족.

• 그것은 쿼츠 결정 필름 두께 모니터로 장착되어 있으며, 이는 필름 층의 퇴적 속도와 두께를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다.제어 정확도는 나노미터 수준에 도달 할 수 있습니다 (일반적으로 ± 0.1nm), 그리고 그것은 초 얇은 기능 필름 (광 반사 필름 및 수십 나노미터의 금속 전도 필름과 같은) 을 준비 할 수 있습니다.
• 프로그래밍 가능한 제어 시스템으로 장착되어, 퇴적 매개 변수를 미리 설정할 수 있습니다 (전자 빔 전력, 진공 정도, 퇴적 속도),자동 코팅을 달성하고 팩 필름 층의 일관성을 보장합니다..

• 기계 펌프 + 분자 펌프 진공 단위로 장착, 구멍의 진공 정도는 10-4 ~ 10-6 Pa의 높은 진공 환경에 줄일 수 있습니다.증발된 입자에 가스 분자의 산란과 오염을 줄이는, 그리고 필름 층이 높은 순도, 좋은 밀도 및 강한 접착력을 보장합니다.

• 작은 작업 부품을 위해 설계된 작업 부품 테이블은 대부분 회전형입니다.일반적으로 몇 밀리미터에서 수십 밀리미터까지의 크기의 기판에 적합합니다 (와이프와 같이), 광학 렌즈, 칩, 센서 구성 요소), 표면 장착, 시트 및 작은 부품의 코팅을 지원합니다.

작은 전자 빔 증발 코팅 기계, 그 콤팩트 크기, 유연한 작동과 높은 정확성 때문에,주로 과학 연구 실험 및 소량 고 정밀 및 첨단 제품의 생산에 사용됩니다.구체적인 시나리오는 다음과 같습니다.

• 새로운 재료 연구 및 개발: 금속 필름 (Au, Ag, Cu), 다이 일렉트릭 필름 (SiO2, TiO2, Al2O3), 반도체 필름 (Si, Ge) 등을 준비하고 구조를 연구하는 데 사용됩니다.필름 층의 성능 및 응용 잠재력.
• 얇은 필름 물리학/화학 실험: 얇은 필름 성장 메커니즘, 인터페이스 반응, 도핑 수정 등에 대한 기초 연구 수행그것은 재료 과학과 같은 학문에서 일반적으로 사용되는 실험 장치입니다., 광학, 그리고 전자.

• 칩 및 센서 준비: 마이크로 센서 (압도 센서,가스 센서) 와 마이크로 전자 부품 (종합 회로 전극 등), 얇은 필름 저항).
• 웨이퍼 레벨 코팅: 실험실 수준의 칩 프로토타입 개발을 위해 작은 크기의 웨이퍼의 로컬 코팅.

• 작은 광 렌즈 코팅: 미생물 객체, 레이저 렌즈와 같은 작은 광 구성 요소에 반사 필름, 반사 필름 및 빔 분할 필름을 준비합니다.광학 성능을 향상시키기 위해 광섬유 끝면.
• 특수 광적 필름의 연구 및 개발: 좁은 대역 필터를 개발레이저 장비 및 광학 기기의 실험 프로토 타입을 생산하기 위한 고 반사성 거울 및 다른 특수 필름 층.

• 배터리 재료 연구:배터리의 주기 수명 및 안전성을 최적화하기 위해 리?? 이온 배터리와 고체 배터리의 전극 재료에 보호층 또는 전도성 필름을 부착하는 것.
• 태양전지 연구 및 개발: 실험실에서 작은 크기의 세포의 성능 테스트에 사용되는 태양전지에 대한 반사 방지 필름과 전극 필름을 준비합니다.

• 미세 의료기기 코팅: 이식 가능한 미세 기기 (피스 메이커 전극,미세 탐사선 (micro-sondes) 으로 인해.
• 정밀 도구 / 곰팡이 코팅: 소형 정밀 도구 및 마이크로 곰팡이에 단단하고 마모 저항성 필름을 부착하여 서비스 수명을 연장합니다. (작은 팩 맞춤 제작).

• Depositing structural films and functional films for MEMS devices (such as micro-motors and micro gyroscopes) to achieve miniaturization and high performance of the devices is a key equipment in the research and development of MEMS prototypes.