Macchine di rivestimento a vapore di fasci di elettroni per rivestimento ottico

Le funzioni fondamentali della macchina di rivestimento per evaporazione a fascio di elettroni di piccole dimensioni ruotano attorno alla deposizione di pellicole di alta purezza e altamente controllabili,che possono essere specificamente classificati nelle seguenti categorie::

• I fasci di elettroni ad alta energia vengono utilizzati per bombardare la superficie del materiale bersaglio, riscaldandolo fino a uno stato fuso o evaporato, e gli atomi/molecole del materiale bersaglio sfuggono in forma gassosa.Rispetto al riscaldamento a resistenzaIl riscaldamento a fascio di elettroni è caratterizzato da un'energia concentrata e da un'elevata efficienza termica, che consente l'evaporazione di materiali refrattari come il tungsteno, il molibdeno, il titanio, il SiO2 e il TiO2.Evitare la contaminazione del materiale bersaglio dalla fonte di riscaldamento.
• Supporta il commutamento di materiali multi-target (solitamente dotati di 2-6 posizioni di crogiolo), consentendo la deposizione continua di film mono- e multi-strati,e soddisfa i requisiti di preparazione degli strati di pellicola composita.

• È dotato di un monitor di spessore della pellicola in cristallo di quarzo, in grado di monitorare in tempo reale il tasso di deposizione e lo spessore dello strato di pellicola.L'accuratezza di controllo può raggiungere il livello nanometrico (di solito ±0.1 nm), e può preparare film funzionali ultra-sottili (come film ottici antiriflesso e film metallo conduttivi di decine di nanometri).
• Equipaggiato con un sistema di controllo programmabile, può preimpostare i parametri di deposizione (potenza del fascio elettronico, grado di vuoto, velocità di deposizione),realizzare un rivestimento automatizzato e garantire la consistenza degli strati di pellicola di lotto.

• Equipaggiato con una pompa meccanica + un'unità di vuoto della pompa molecolare, il grado di vuoto della cavità può essere ridotto a un ambiente di vuoto elevato di 10−4~10−6 Pa,riduzione della dispersione e della contaminazione delle molecole di gas sulle particelle evaporate, e assicurando che lo strato di pellicola abbia un'elevata purezza, una buona densità e una forte adesione.

• Progettato per piccoli pezzi da lavorare, il tavolo per pezzi da lavorare è per lo più rotativo (per migliorare l'uniformità dello strato di rivestimento),adatti a substrati con dimensioni che vanno in genere da pochi millimetri a decine di millimetri (ad esempio wafer), lenti ottiche, chip, componenti di sensori) e supporta il rivestimento di supporti di superficie, fogli e piccole parti.

La piccola macchina di rivestimento per evaporazione del fascio di elettroni, grazie alle sue dimensioni compatte, al funzionamento flessibile e all'alta precisione,viene applicato principalmente negli esperimenti di ricerca scientifica e nella produzione di piccoli lotti di prodotti avanzati e di alta precisioneGli scenari specifici sono i seguenti:

• Ricerca e sviluppo di nuovi materiali: viene utilizzato per preparare pellicole metalliche (Au, Ag, Cu), pellicole dielettriche (SiO2, TiO2, Al2O3), pellicole semiconduttrici (Si, Ge), ecc., e per studiare la struttura,prestazioni e potenziale di applicazione degli strati di pellicola.
• Esperimenti di fisica/chimia del film sottile: realizzazione di ricerche fondamentali sui meccanismi di crescita del film sottile, le reazioni interfacciali, la modificazione del doping, ecc.,è un dispositivo sperimentale comunemente utilizzato in discipline come la scienza dei materiali, ottica ed elettronica.

• Preparazione di chip e sensori: pellicole di elettrodi metallici di deposito o pellicole dielettriche isolanti per micro-sensori (come i sensori di pressione,sensori di gas) e componenti microelettronici (come gli elettrodi di circuito integrato, resistori a pellicola sottile).
• Rivestimento a livello di wafer: rivestimento locale di wafer di piccole dimensioni per lo sviluppo di prototipi di chip a livello di laboratorio.

• Rivestimento di lenti ottiche di piccole dimensioni: preparazione di pellicole antiriflessione, pellicole riflettenti e pellicole di scissione del fascio per piccoli componenti ottici quali obiettivi per microscopi, lenti laser,e finestre di fibra ottica per migliorare le prestazioni ottiche.
• Ricerca e sviluppo di film ottici speciali: sviluppo di filtri a banda stretta,specchi ad alta riflettività e altri strati di pellicola speciali per la produzione di prototipi sperimentali di apparecchiature laser e strumenti ottici.

• Ricerca sui materiali delle batterie:Deposito di strati protettivi o di film conduttivi per i materiali degli elettrodi delle batterie agli ioni di litio e delle batterie allo stato solido per ottimizzare la durata del ciclo e la sicurezza delle batterie.
• Ricerca e sviluppo di celle solari: preparazione di pellicole antiriflesso e pellicole di elettrodi per celle solari, utilizzate per la prova delle prestazioni di celle di piccole dimensioni in laboratorio.

• Rivestimento di dispositivi micro medici: deposito di film biocompatibili (come TiN, film di carbonio simili a diamanti) per micro dispositivi impiantabili (come elettrodi pacemaker,- le micro-sonde) per migliorare la resistenza alla corrosione e la sicurezza biologica.
• Strumento di precisione/rivestimento dello stampo: depositare pellicole dure e resistenti all'usura su piccoli strumenti di precisione e micro stampi per prolungare la loro vita utile (per la produzione su misura di piccoli lotti).

• Depositing structural films and functional films for MEMS devices (such as micro-motors and micro gyroscopes) to achieve miniaturization and high performance of the devices is a key equipment in the research and development of MEMS prototypes.