অপটিক্যাল লেপ pvd লেপ সরঞ্জাম জন্য ছোট ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীকরণ লেপ মেশিন

ছোট ইলেকট্রন বীম বাষ্পীভবন কোটিং মেশিনের মূল কার্যাবলী হল উচ্চ-বিশুদ্ধতা এবং অত্যন্ত নিয়ন্ত্রণযোগ্য ফিল্ম জমা করা, যা বিশেষভাবে নিম্নলিখিত বিভাগে শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারে:

• লক্ষ্য উপাদানের পৃষ্ঠে উচ্চ-শক্তির ইলেকট্রন রশ্মি ব্যবহার করা হয়, এটিকে গলিত বা বাষ্পীভূত অবস্থায় উত্তপ্ত করা হয় এবং লক্ষ্য উপাদানের পরমাণু/অণু গ্যাসীয় আকারে নির্গত হয়। প্রতিরোধ গরম করার সাথে তুলনা করলে, ইলেকট্রন বীম গরম করার বৈশিষ্ট্য হল কেন্দ্রীভূত শক্তি এবং উচ্চ তাপীয় দক্ষতা, যা টাংস্টেন, মলিবডেনাম, টাইটানিয়াম, SiO₂ এবং TiO₂-এর মতো কঠিন পদার্থের বাষ্পীভবন সক্ষম করে এবং গরম করার উৎস দ্বারা লক্ষ্য উপাদানের দূষণ এড়াতে পারে।
• মাল্টি-টার্গেট উপাদান স্যুইচিং সমর্থন করে (সাধারণত ২ থেকে ৬ ক্রুসিবল অবস্থান দিয়ে সজ্জিত), একক-স্তর এবং বহু-স্তর ফিল্মের ক্রমাগত জমা করার সুবিধা দেয় এবং যৌগিক ফিল্ম স্তরের প্রস্তুতি প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে।

• এটি একটি অন্তর্নির্মিত কোয়ার্টজ ক্রিস্টাল ফিল্ম পুরুত্ব মনিটর দিয়ে সজ্জিত, যা ফিল্ম স্তরের জমার হার এবং বেধ রিয়েল টাইমে নিরীক্ষণ করতে পারে। নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা ন্যানোমিটার স্তরে পৌঁছাতে পারে (সাধারণত ±0.1nm), এবং এটি অতি-পাতলা কার্যকরী ফিল্ম তৈরি করতে পারে (যেমন অপটিক্যাল অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম এবং কয়েক ডজন ন্যানোমিটারের ধাতব পরিবাহী ফিল্ম)।
• একটি প্রোগ্রামযোগ্য নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা দিয়ে সজ্জিত, এটি স্বয়ংক্রিয় কোটিং অর্জন এবং ব্যাচ ফিল্ম স্তরের ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করে, জমার পরামিতি (ইলেকট্রন বীমের শক্তি, ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি, জমার হার) আগে থেকেই সেট করতে পারে।

• একটি যান্ত্রিক পাম্প + আণবিক পাম্প ভ্যাকুয়াম ইউনিট দিয়ে সজ্জিত, গহ্বরের ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি 10⁻⁴~10⁻⁶ Pa এর উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশে হ্রাস করা যেতে পারে, বাষ্পীভূত কণাগুলির উপর গ্যাস অণুগুলির বিক্ষেপণ এবং দূষণ হ্রাস করে এবং নিশ্চিত করে যে ফিল্ম স্তরটিতে উচ্চ বিশুদ্ধতা, ভাল ঘনত্ব এবং শক্তিশালী আনুগত্য রয়েছে।

• ছোট ওয়ার্কপিসের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, ওয়ার্কপিস টেবিলটি বেশিরভাগই ঘূর্ণায়মান (লেপ স্তরের অভিন্নতা উন্নত করতে), সাধারণত কয়েক মিলিমিটার থেকে কয়েক ডজন মিলিমিটার পর্যন্ত আকারের সাবস্ট্রেটের জন্য উপযুক্ত (যেমন ওয়েফার, অপটিক্যাল লেন্স, চিপস, সেন্সর উপাদান), এবং পৃষ্ঠ মাউন্ট, শীট, এবং ছোট অংশগুলির কোটিং সমর্থন করে।

ছোট ইলেকট্রন বীম বাষ্পীভবন কোটিং মেশিন, তার কমপ্যাক্ট আকার, নমনীয় অপারেশন এবং উচ্চ নির্ভুলতার কারণে, প্রধানত বৈজ্ঞানিক গবেষণা পরীক্ষা এবং ছোট-ব্যাচের উচ্চ-নির্ভুলতা এবং উন্নত পণ্যগুলির উৎপাদনে প্রয়োগ করা হয়। নির্দিষ্ট দৃশ্যগুলি নিম্নরূপ:

• নতুন উপাদান গবেষণা এবং উন্নয়ন: এটি ধাতু ফিল্ম (Au, Ag, Cu), ডাইইলেকট্রিক ফিল্ম (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ম (Si, Ge), ইত্যাদি প্রস্তুত করতে এবং ফিল্ম স্তরের গঠন, কর্মক্ষমতা এবং প্রয়োগের সম্ভাবনা অধ্যয়নের জন্য ব্যবহৃত হয়।
• পাতলা ফিল্ম পদার্থবিদ্যা/রসায়ন পরীক্ষা: পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধির প্রক্রিয়া, ইন্টারফেসিয়াল প্রতিক্রিয়া, ডোপিং পরিবর্তন, ইত্যাদির উপর মৌলিক গবেষণা পরিচালনা করা, এটি উপাদান বিজ্ঞান, অপটিক্স এবং ইলেকট্রনিক্সের মতো বিষয়ে একটি সাধারণভাবে ব্যবহৃত পরীক্ষামূলক ডিভাইস।

• চিপ এবং সেন্সর প্রস্তুতি: মাইক্রো-সেন্সর (যেমন প্রেসার সেন্সর, গ্যাস সেন্সর) এবং মাইক্রোইলেক্ট্রনিক উপাদানগুলির (যেমন ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট ইলেক্ট্রোড, পাতলা-ফিল্ম প্রতিরোধক) জন্য ধাতব ইলেক্ট্রোড ফিল্ম বা ইনসুলেটিং ডাইইলেকট্রিক ফিল্ম জমা করুন।
• ওয়েফার-লেভেল কোটিং: পরীক্ষাগার-স্তরের চিপ প্রোটোটাইপ বিকাশের জন্য ছোট আকারের ওয়েফারের স্থানীয় কোটিং।

• ছোট অপটিক্যাল লেন্স কোটিং: মাইক্রোস্কোপের উদ্দেশ্য, লেজার লেন্স এবং অপটিক্যাল ফাইবার প্রান্তের মতো ছোট অপটিক্যাল উপাদানগুলির জন্য অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম, প্রতিফলিত ফিল্ম এবং বীম বিভাজন ফিল্ম প্রস্তুত করুন যাতে অপটিক্যাল কর্মক্ষমতা বৃদ্ধি করা যায়।
• বিশেষ অপটিক্যাল ফিল্মের গবেষণা এবং উন্নয়ন: লেজার সরঞ্জাম এবং অপটিক্যাল যন্ত্রের পরীক্ষামূলক প্রোটোটাইপ তৈরির জন্য সংকীর্ণ-ব্যান্ড ফিল্টার, উচ্চ-প্রতিফলনশীল আয়না এবং অন্যান্য বিশেষ ফিল্ম স্তর তৈরি করুন।

• ব্যাটারি উপাদান গবেষণা: লিথিয়াম-আয়ন ব্যাটারি এবং কঠিন-অবস্থার ব্যাটারির ইলেক্ট্রোড উপাদানের জন্য সুরক্ষা স্তর বা পরিবাহী ফিল্ম জমা করা যা ব্যাটারির চক্র জীবন এবং নিরাপত্তা অপ্টিমাইজ করে।
• সৌর কোষ গবেষণা এবং উন্নয়ন: সৌর কোষের জন্য অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম এবং ইলেক্ট্রোড ফিল্ম প্রস্তুত করুন, যা পরীক্ষাগারে ছোট আকারের কোষের কর্মক্ষমতা পরীক্ষার জন্য ব্যবহৃত হয়।

• মাইক্রো-মেডিকেল ডিভাইস কোটিং: ইমপ্লান্টযোগ্য মাইক্রো-ডিভাইসগুলির (যেমন পেসমেকার ইলেক্ট্রোড, মাইক্রো-প্রোব) জন্য বায়োকম্প্যাটিবল ফিল্ম (যেমন TiN, হীরক-সদৃশ কার্বন ফিল্ম) জমা করা যা জারা প্রতিরোধ এবং জৈবিক নিরাপত্তা বাড়ায়।
• নির্ভুল সরঞ্জাম/ছাঁচ কোটিং: ছোট নির্ভুল সরঞ্জাম এবং মাইক্রো ছাঁচে শক্ত এবং পরিধান-প্রতিরোধী ফিল্ম জমা করুন তাদের পরিষেবা জীবন বাড়ানোর জন্য (ছোট-ব্যাচ কাস্টমাইজড উত্পাদনের জন্য)।

• MEMS ডিভাইসগুলির জন্য কাঠামোগত ফিল্ম এবং কার্যকরী ফিল্ম জমা করা (যেমন মাইক্রো-মোটর এবং মাইক্রো জাইরোস্কোপ) ডিভাইসগুলির ক্ষুদ্রকরণ এবং উচ্চ কর্মক্ষমতা অর্জনের জন্য MEMS প্রোটোটাইপের গবেষণা এবং বিকাশে একটি মূল সরঞ্জাম।