Kleine elektronenbundelverdampingscoatingmachines voor optische coating PVD-coatingapparatuur

De kernfuncties van de kleine elektronenbundelverdampingscoatingmachine draaien om de depositie van zeer zuivere en goed controleerbare films, die specifiek kunnen worden ingedeeld in de volgende categorieën:

• Hoogenergetische elektronenbundels worden gebruikt om het oppervlak van het doelmateriaal te bombarderen, waardoor het wordt verwarmd tot een gesmolten of verdampte toestand, en de atomen/moleculen van het doelmateriaal ontsnappen in gasvorm. In vergelijking met weerstandsverwarming heeft elektronenbundelverwarming geconcentreerde energie en een hoge thermische efficiëntie, waardoor de verdamping van vuurvaste materialen zoals wolfraam, molybdeen, titanium, SiO₂ en TiO₂ mogelijk is, en contaminatie van het doelmateriaal door de warmtebron wordt vermeden.
• Ondersteunt het schakelen van multi-doelmaterialen (meestal uitgerust met 2 tot 6 smeltkroesposities), waardoor continue depositie van enkellaagse en meerlaagse films mogelijk is, en voldoet aan de voorbereidingsvereisten van composiet film lagen.

• Het is uitgerust met een ingebouwde kwartskristal filmdiktemonitor, die de depositie snelheid en dikte van de film laag in real time kan bewaken. De controle nauwkeurigheid kan het nanometer niveau bereiken (meestal ±0,1 nm), en het kan ultradunne functionele films (zoals optische anti-reflectie films en metalen geleidende films van tientallen nanometers) voorbereiden.
• Uitgerust met een programmeerbaar controlesysteem, kan het depositieparameters (elektronenbundelvermogen, vacuümgraad, depositie snelheid) vooraf instellen, waardoor geautomatiseerde coating wordt bereikt en de consistentie van batch film lagen wordt gewaarborgd.

• Uitgerust met een mechanische pomp + moleculaire pomp vacuümeenheid, kan de vacuümgraad van de holte worden verlaagd tot een hoge vacuümomgeving van 10⁻⁴~10⁻⁶ Pa, waardoor de verstrooiing en contaminatie van gasmoleculen op verdampte deeltjes wordt verminderd, en ervoor wordt gezorgd dat de film laag een hoge zuiverheid, goede dichtheid en sterke hechting heeft.

• Ontworpen voor kleine werkstukken, is de werkstuktafel meestal roterend (om de uniformiteit van de coatinglaag te verbeteren), geschikt voor substraten met afmetingen die typisch variëren van een paar millimeter tot tientallen millimeters (zoals wafers, optische lenzen, chips, sensorcomponenten), en ondersteunt coating van oppervlaktemontage, platen en kleine onderdelen.

De kleine elektronenbundelverdampingscoatingmachine, vanwege zijn compacte formaat, flexibele bediening en hoge precisie, wordt voornamelijk toegepast in wetenschappelijk onderzoeksexperimenten en de productie van kleine batches van hoogwaardige en geavanceerde producten. De specifieke scenario's zijn als volgt:

• Onderzoek en ontwikkeling van nieuwe materialen: Het wordt gebruikt om metaalfilms (Au, Ag, Cu), diëlektrische films (SiO₂, TiO₂, Al₂O₃), halfgeleiderfilms (Si, Ge), enz. te bereiden en om de structuur, prestaties en het toepassingspotentieel van de film lagen te bestuderen.
• Experimenten met dunne film fysica/chemie: Het uitvoeren van fundamenteel onderzoek naar dunne film groeimechanismen, grensvlakreacties, dopingmodificatie, enz., het is een veelgebruikt experimenteel apparaat in disciplines zoals materiaalkunde, optica en elektronica.

• Chip- en sensorvoorbereiding: Deponeer metalen elektrodefilms of isolerende diëlektrische films voor microsensoren (zoals druksensoren, gassensoren) en micro-elektronische componenten (zoals geïntegreerde schakelingselektroden, dunne-filmweerstanden).
• Wafer-level coating: Lokale coating van kleine wafers voor chip prototype ontwikkeling op laboratoriumniveau.

• Coating van kleine optische lenzen: Bereid anti-reflectie films, reflecterende films en bundelsplitsingsfilms voor kleine optische componenten zoals microscoopobjectieven, laserlenzen en optische vezel eindvlakken om de optische prestaties te verbeteren.
• Onderzoek en ontwikkeling van speciale optische films: Ontwikkel smalbandfilters, spiegels met hoge reflectie en andere speciale film lagen voor de productie van experimentele prototypes van laserapparatuur en optische instrumenten.

• Onderzoek naar batterijmaterialen: Het deponeren van beschermlagen of geleidende films voor elektrodematerialen van lithium-ion batterijen en solid-state batterijen om de levensduur en veiligheid van batterijen te optimaliseren.
• Onderzoek en ontwikkeling van zonnecellen: Bereid anti-reflectie films en elektrodefilms voor zonnecellen, die worden gebruikt voor prestatietests van kleine cellen in het laboratorium.

• Micro-medische apparaat coating: Het deponeren van biocompatibele films (zoals TiN, diamantachtige koolstof films) voor implanteerbare micro-apparaten (zoals pacemakerelektroden, micro-sondes) om de corrosiebestendigheid en biologische veiligheid te verbeteren.
• Precisiegereedschap/vormcoating: Deponeer harde en slijtvaste films op kleine precisiegereedschappen en microvormen om hun levensduur te verlengen (voor kleine batch aangepaste productie).

• Het deponeren van structurele films en functionele films voor MEMS-apparaten (zoals micro-motoren en micro-gyroscopen) om miniaturisatie en hoge prestaties van de apparaten te bereiken, is een belangrijke apparatuur in het onderzoek en de ontwikkeling van MEMS-prototypes.