Εισαγωγή
ΠΑΡΟΥΣΙΑΣΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ
Ένα μηχάνημα επίστρωσης με εκτόξευση μαγνητρονίου είναι μια συσκευή που βασίζεται στην τεχνολογία εκτόξευσης μαγνητρονίου. Χρησιμοποιεί ιόντα περιορισμένα από μαγνητικό πεδίο για να βομβαρδίσουν στόχους, εναποθέτοντας ομοιόμορφα, πυκνά φιλμ σε υποστρώματα.
Γιατί είναι καλό: Είναι γνωστό για την παραγωγή ομοιόμορφων, πυκνών φιλμ με ισχυρή πρόσφυση.
Τι είναι για: Χρησιμοποιείται ευρέως για την επίστρωση εξαρτημάτων υλικού, καθώς και για λειτουργική επίστρωση σε τομείς όπως ημιαγωγοί, οπτικοί φακοί και εργαλεία κοπής.
|
Τυπικός τύπος φιλμ
|
Τυπικές Εφαρμογές
|
|
Μεταλλικά & Κράματα Φιλμ:
|
Κατάλληλο για διασυνδέσεις ημιαγωγών, ηλεκτρόδια ηλεκτρονικών συσκευών
|
|
Μονωτικά Φιλμ
|
Μόνωση, προστασία; χρησιμοποιείται για συσκευασία ηλεκτρονικών εξαρτημάτων, υποστρώματα οπτικών συσκευών
|
|
Οπτικά Φιλμ
|
Για φακούς, οθόνες, οπτικά φίλτρα
|
|
Διακοσμητικά & Προστατευτικά Φιλμ
|
Για επιφανειακή επεξεργασία κοσμημάτων, υλικού, εργαλείων κοπής και καλουπιών
|
|
Λειτουργικά Σύνθετα Φιλμ
|
Διαφανής αγωγιμότητα, αντιβακτηριακή ιδιότητα, υδροφοβικότητα; κατάλληλο για ηλεκτρονική οθόνη, ιατρικές συσκευές, προϊόντα νέας ενέργειας
|
Χαρακτηριστικά εξοπλισμού: Κάνει το φιλμ λείο και συμπαγές, και το πάχος του φιλμ μπορεί να αυξηθεί γραμμικά.
Εφαρμογή εξοπλισμού: Μπαστούνια γκολφ, κεραμικά, γυάλινα προϊόντα, θήκη κινητού τηλεφώνου, βραχιόλι θήκης ρολογιού, κοσμήματα υψηλής ποιότητας, επιτραπέζια σκεύη κ.λπ.
Χρώμα διεργασίας: Τιτάνιο χρυσό, ιαπωνικό χρυσό, ροζ χρυσό, χρυσό σαμπάνιας, καφέ χρυσό, μαύρο χρυσό, μπλε διαμάντι, επτά χρωμάτων κ.λπ.
Σημείωση: Η διαμόρφωση και το μέγεθος του εξοπλισμού επίστρωσης θα προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών και τα προϊόντα που επεξεργάζονται οι πελάτες.
Δομή:
Αποτελείται από μια μονάδα παροχής παλμικής ισχύος, ένα θάλαμο εκτόξευσης μαγνητρονίου, μια διάταξη υλικού στόχου, ένα σύστημα κενού, μια μονάδα μετάδοσης και ελέγχου θερμοκρασίας υποστρώματος, καθώς και ένα σύστημα online παρακολούθησης κ.λπ.
Αρχή λειτουργίας:
Με την έξοδο μιας παλμικής τάσης με συχνότητα που κυμαίνεται από 10 έως 350kHz, η εκτόξευση στόχου επιτυγχάνεται στο στάδιο της αρνητικής τάσης και τα ηλεκτρόνια εισάγονται στο στάδιο της θετικής τάσης για την εξουδετέρωση των συσσωρευμένων θετικών φορτίων στην επιφάνεια του στόχου. Κατά τη λειτουργία, ο θάλαμος εκκενώνεται πρώτα σε κενό και εισάγονται αέρια εργασίας όπως το αργό. Αφού η παροχή παλμικής ισχύος εφαρμόσει τάση, το αέριο ιονίζεται για να σχηματίσει πλάσμα. Υπό τον περιορισμό του μαγνητικού πεδίου, το πλάσμα βομβαρδίζει το υλικό στόχου, προκαλώντας την αποκόλληση των ατόμων ή των μορίων του υλικού στόχου και την εναπόθεσή τους στην επιφάνεια του υποστρώματος για να σχηματίσουν ένα φιλμ.
Χαρακτηριστικά
Οι παράμετροι παλμού είναι ευέλικτες και ρυθμιζόμενες:
Ο εξοπλισμός μπορεί να ρυθμίσει με ακρίβεια βασικές παραμέτρους όπως η συχνότητα παλμού, ο κύκλος λειτουργίας και η μέγιστη ισχύς, προσαρμοζόμενος σε διαφορετικά υλικά στόχου και απαιτήσεις επίστρωσης. Ρυθμίζοντας τον κύκλο λειτουργίας, μπορεί επίσης να εξισορροπηθεί η παραγωγή θερμότητας του υλικού στόχου και ο ρυθμός εκτόξευσης. Ορισμένα μοντέλα υψηλής τεχνολογίας μπορούν να επιτύχουν συχνότητα παλμού έως και 150kHz, η οποία μπορεί να καλύψει τις απαιτήσεις εναπόθεσης σύνθετων στρώσεων φιλμ.
Συμβατό με διάφορα υλικά στόχου και υποστρώματα:
Μπορεί όχι μόνο να χειριστεί μεταλλικούς στόχους όπως Ti και Al, αλλά και να επιτύχει σταθερή εκτόξευση μονωτικών στόχων όπως Al₂O₃ και TiO₂ μέσω αμφίδρομων παλμών ή μεσαίας συχνότητας AC. Επιπλέον, ο σχεδιασμός διεργασίας χαμηλής θερμοκρασίας μπορεί να προσαρμοστεί σε διαφορετικά υποστρώματα υλικών όπως γυαλί, πλαστικό και PET και είναι ιδιαίτερα κατάλληλος για την επίστρωση θερμοευαίσθητων υποστρωμάτων όπως τα εύκαμπτα OLeds.
Υψηλός βαθμός ολοκλήρωσης και νοημοσύνης:
Τα κύρια μοντέλα είναι εξοπλισμένα με πολλαπλούς ενσωματωμένους χειριστές κενού, online παρακολούθηση πάχους φιλμ και αυτόματα συστήματα ευθυγράμμισης, υποστηρίζοντας τη συνεχή παραγωγή σε πολλαπλούς θαλάμους.
Πλεονεκτήματα
Μειώστε σημαντικά τα ελαττώματα στρώματος φιλμ:
Η περιοδική λειτουργία της παροχής παλμικής ισχύος μπορεί να καταστείλει αποτελεσματικά την εκκένωση τόξου στην επιφάνεια του στόχου και να μειώσει τα ελαττώματα του φιλμ. Ταυτόχρονα, οι παλμοί υψηλής ισχύος μπορούν να δημιουργήσουν πλάσμα υψηλής πυκνότητας, καθιστώντας το στρώμα φιλμ πυκνότερο.
Ενισχύστε τη χρήση των πόρων και την οικονομική απόδοση:
Ο ρυθμός χρήσης του υλικού στόχου του εξοπλισμού μπορεί να αυξηθεί από 20% σε 45%, η κατανάλωση υλικού στόχου μπορεί να μειωθεί κατά 40% και το κόστος χρήσης σπάνιων μετάλλων όπως το ITO μπορεί να μειωθεί κατά 30%. Επιπλέον, ο ρυθμός εναπόθεσης μπορεί να φτάσει τα 10nm/s, ενισχύοντας σημαντικά την αποδοτικότητα της παραγωγής.
Αποφυγή του προβλήματος της δηλητηρίασης του στόχου:
Κατά την εναπόθεση οξειδίων, νιτριδίων και άλλων σύνθετων φιλμ, το αέριο αντίδρασης που προσροφάται στην επιφάνεια του στόχου μπορεί να απορροφηθεί κατά το διάστημα παλμού, αποτρέποντας το σχηματισμό μονωτικού στρώματος στην επιφάνεια του στόχου και λύνοντας το πρόβλημα της δηλητηρίασης του στόχου στην παραδοσιακή εκτόξευση μαγνητρονίου DC που καθιστά την εκτόξευση μη βιώσιμη.
|
Μοντέλο
|
IF-12515
|
MAIF-1820
|
MAIF-2323
|
MAT-2345
|
MAT1-2368
|
|
Μέγεθος θαλάμου (mm)
|
D1250×H1500
|
D1800×H2000
|
D2300×H2300
|
D2300-2500*H4500
|
D2300-2500*H6800
|
|
Σύστημα άντλησης
|
Μηχανική αντλία + Αντλία ρίζας + Αντλία διάχυσης + Αντλία συντήρησης
|
|
Τόξο
|
10
|
18
|
22
|
40-42
|
58-62
|
|
Ισχύς τόξου
|
200A
|
|
Ισχύς πόλωσης
|
30KW--120KW
|
|
Αέριο
|
Ar,N₂,C₂H₂,O₂
|
|
Ψύξη
|
Κυκλοφορία ψύξης νερού, εξοπλισμός με βιομηχανικό πύργο ψύξης ή βιομηχανικό ψύκτη νερού (ψυκτική μηχανή) ή κρυογονικό σύστημα. (παρέχουν οι πελάτες)
|
|
Δείκτης κενού
|
Χρόνος εξαγωγής (κατάσταση κρύου χωρίς φορτίο): από την ατμόσφαιρα έως 9,9×10⁻³Pa≤10min
|
|
Τελικό κενό
|
Ανώτερο από 5,0×10⁻⁴Pa
|
|
Αύξηση πίεσης
|
Νέα μηχανή κρύα κατάσταση ρυθμός διαρροής αέρα≤0,5Pa/h
|
|
Ισχύς λειτουργίας
|
Σύμφωνα με τη συγκεκριμένη διαμόρφωση
|
|
Συχνότητα εξόδου
|
Κατασκευασμένο κατά παραγγελία
|
|
Κατοχή
|
10
|
15
|
18
|
50
|
75
|
|
Αξεσουάρ
|
Φούρνος, Πύργος νερού, Αντλία νερού, Συμπιεστής αέρα, Σχάρα στερέωσης, Δεξαμενή νερού ή πισίνα
|
|
Σημείωση
|
Όλη η διαμόρφωση μπορεί να κατασκευαστεί κατά παραγγελία
|
