직류 전원 공급 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 PVD 코팅기

핵심 결론:
1. DC 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 DC 전원 공급 장치로 구동되는 마그네트론 스퍼터링 기술입니다.

2. 단순한 구조와 제어 가능한 비용을 특징으로 하며, 주로 금속 박막의 효율적인 제작에 중점을 둡니다. 중저가 산업 및 기본적인 코팅 시나리오에 널리 사용됩니다.

장비 소개:
직류 고전압을 사용하여 불활성 가스(일반적으로 아르곤)를 이온화하여 플라즈마를 생성합니다. 자기장을 통해 전자를 가두어 이동 경로를 연장하여 플라즈마와 타겟 물질 간의 충돌 효율을 향상시킵니다. 결과적으로, 타겟 물질(전도성 물질이어야 함)의 원자가 스퍼터링되어 기판 표면에 증착되어 박막을 형성합니다.

2. 장비는 컴팩트한 구조로 작동이 용이합니다. 주로 금속 박막, 합금 박막 등을 제작하는 데 사용되며, 대량 생산 및 기본적인 기능성 코팅 요구 사항에 적합합니다.

핵심 특징:
1. DC 전원으로 구동되며, 단순한 회로 구조와 상대적으로 낮은 장비 제조 및 운영 비용을 갖습니다.

2. 전도성 타겟 물질(알루미늄, 구리, 크롬, 티타늄 및 기타 금속 타겟 등)과만 호환되며, 절연 세라믹 타겟을 직접 사용할 수 없습니다.

3. 스퍼터링 속도가 안정적이며, 막 두께를 쉽게 제어할 수 있어 연속적이고 대규모 생산에 적합합니다.

4. 자기장 설계가 다양하며(균형 마그네트론 및 불균형 마그네트론 등), 요구 사항에 따라 막 층의 접착력과 밀도를 조정할 수 있습니다.

주요 장점:
1. 작동 임계값이 낮고, 매개변수 조정이 간단하며, 유지 보수가 편리하고, 이후 운영 및 유지 보수 비용이 낮습니다.

2. 금속 박막 제작 효율이 높고, 스퍼터링 속도가 고주파 마그네트론 스퍼터링보다 우수하며, 에너지 소비가 낮습니다.

3. 막 층의 순도가 높고, 균일성이 좋으며, 표면 평활도가 뛰어나 기본적인 기능 및 장식 요구 사항을 충족합니다.
장비는 강력한 안정성, 낮은 고장률을 가지며, 장기간 연속 작동에 적합하며, 높은 생산 비용 효율성을 제공합니다.

일반적인 응용 분야
1. 장식 분야:하드웨어 액세서리, 가구 액세서리, 보석 등에 금속 장식 필름(알루미늄 필름, 크롬 필름 등) 코팅.

2. 전자 분야:전자 부품(예: 커패시터용 전극 필름 및 회로 기판용 리드 필름)에 금속 전도성 필름 제작.

3. 포장 분야:산소 및 수분에 대한 차단성을 향상시키기 위해 플라스틱 필름 및 금속 호일에 차단 필름(예: 알루미늄 호일 복합 필름) 코팅.

4. 도구 및 기계 분야:표면 경도 및 내마모성을 향상시키기 위해 일반적인 절삭 공구 및 기계 부품에 내마모성 금속 필름 코팅.

5. 기타 시나리오: 태양 전지 백시트용 전도성 필름 및 건축 유리용 반사 필름과 같은 기본적인 기능성 필름 제작.