Thiết bị phủ bằng phương pháp phun xạ magnetron nguồn điện một chiều, máy phủ PVD

Kết luận chính:
1. Thiết bị phủ phun DC magnetron là công nghệ phun magnetron được điều khiển bởi nguồn điện DC.

2. Nó có cấu trúc đơn giản và chi phí có thể kiểm soát, chủ yếu tập trung vào việc chuẩn bị hiệu quả các lớp màng kim loại. Nó được sử dụng rộng rãi trong các tình huống phủ công nghiệp và cơ bản tầm trung và thấp.

Giới thiệu thiết bị:
Nó sử dụng điện áp cao một chiều để ion hóa khí trơ (thường là argon) để tạo ra plasma. Bằng cách giới hạn các electron thông qua từ trường, đường di chuyển được kéo dài, tăng cường hiệu quả va chạm giữa plasma và vật liệu đích. Kết quả là, các nguyên tử của vật liệu đích (phải là vật liệu dẫn điện) bị phun và lắng đọng trên bề mặt của đế để tạo thành một lớp màng.

2. Thiết bị có cấu trúc nhỏ gọn và dễ vận hành. Nó chủ yếu được sử dụng để chuẩn bị các lớp màng kim loại, lớp màng hợp kim, v.v., và phù hợp với sản xuất hàng loạt và các yêu cầu phủ chức năng cơ bản.

Các tính năng chính:
1. Nó được cung cấp bởi nguồn điện DC, với cấu trúc mạch đơn giản và chi phí sản xuất và vận hành thiết bị tương đối thấp.

2. Nó chỉ tương thích với các vật liệu đích dẫn điện (chẳng hạn như nhôm, đồng, crôm, titan và các đích kim loại khác) và không thể sử dụng trực tiếp các đích gốm cách điện.

3. Tốc độ phun ổn định và độ dày màng dễ kiểm soát, làm cho nó phù hợp với sản xuất liên tục và quy mô lớn.

4. Thiết kế từ trường đa dạng (chẳng hạn như magnetron cân bằng và magnetron không cân bằng) và độ bám dính và mật độ của lớp màng có thể được điều chỉnh theo yêu cầu.

Ưu điểm chính:
1. Ngưỡng vận hành thấp, điều chỉnh thông số đơn giản, bảo trì thuận tiện và chi phí vận hành và bảo trì sau này thấp.

2. Hiệu quả chuẩn bị màng kim loại cao, tốc độ phun vượt trội so với phun magnetron tần số vô tuyến và tiêu thụ năng lượng thấp hơn.

3. Lớp màng có độ tinh khiết cao, độ đồng đều tốt và độ nhẵn bề mặt tuyệt vời, đáp ứng các yêu cầu chức năng và trang trí cơ bản.
Thiết bị có độ ổn định cao, tỷ lệ lỗi thấp, phù hợp với hoạt động liên tục trong thời gian dài và mang lại hiệu suất chi phí sản xuất cao.

Các ứng dụng tiêu biểu
1. Trong lĩnh vực trang trí:Phủ các lớp màng trang trí kim loại (chẳng hạn như màng nhôm, màng crôm) cho các phụ kiện phần cứng, phụ kiện nội thất, đồ trang sức, v.v.

2. Trong lĩnh vực điện tử:Chuẩn bị các lớp màng dẫn điện kim loại cho các linh kiện điện tử (chẳng hạn như màng điện cực cho tụ điện và màng chì cho bảng mạch).

3. Trong lĩnh vực bao bì:Phủ các lớp màng rào cản (chẳng hạn như màng composite lá nhôm) cho màng nhựa và lá kim loại để tăng cường khả năng ngăn chặn oxy và độ ẩm của chúng.

4. Trong lĩnh vực dụng cụ và máy móc:Phủ các lớp màng kim loại chống mài mòn cho các dụng cụ cắt thông thường và các bộ phận cơ khí để tăng cường độ cứng bề mặt và khả năng chống mài mòn.

5. Các tình huống khác:Chuẩn bị các lớp màng chức năng cơ bản như màng dẫn điện cho tấm nền pin mặt trời và màng phản xạ cho kính kiến trúc.