เครื่องเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนด้วยแหล่งจ่ายไฟกระแสตรง (DC) เครื่องเคลือบ PVD

บทสรุปหลัก:
1. อุปกรณ์เคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอน DC คือเทคโนโลยีสปัตเตอร์แมกนีตรอนที่ขับเคลื่อนด้วยแหล่งจ่ายไฟ DC

2. มีโครงสร้างที่เรียบง่ายและควบคุมต้นทุนได้ โดยเน้นที่การเตรียมฟิล์มโลหะอย่างมีประสิทธิภาพ ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมระดับกลางถึงล่างและสถานการณ์การเคลือบพื้นฐาน

บทนำอุปกรณ์:
ใช้วงจรไฟฟ้าแรงสูงกระแสตรงเพื่อทำให้ก๊าซเฉื่อย (โดยทั่วไปคือ อาร์กอน) เป็นไอออนเพื่อสร้างพลาสมา โดยการจำกัดอิเล็กตรอนผ่านสนามแม่เหล็ก เส้นทางการเคลื่อนที่จะถูกขยายออกไป ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการชนกันระหว่างพลาสมาและวัสดุเป้าหมาย ส่งผลให้อะตอมของวัสดุเป้าหมาย (ซึ่งต้องเป็นวัสดุนำไฟฟ้า) ถูกสปัตเตอร์และสะสมบนพื้นผิวของพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์ม

2. อุปกรณ์มีโครงสร้างที่กะทัดรัดและใช้งานง่าย ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเตรียมฟิล์มโลหะ ฟิล์มโลหะผสม ฯลฯ และเหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมากและข้อกำหนดการเคลือบผิวขั้นพื้นฐาน

คุณสมบัติหลัก:
1. ใช้พลังงานจากแหล่งจ่ายไฟ DC มีโครงสร้างวงจรที่เรียบง่ายและมีต้นทุนการผลิตและการใช้งานอุปกรณ์ค่อนข้างต่ำ

2. เข้ากันได้กับวัสดุเป้าหมายที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าเท่านั้น (เช่น อะลูมิเนียม ทองแดง โครเมียม ไทเทเนียม และเป้าหมายโลหะอื่นๆ) และไม่สามารถใช้เป้าหมายเซรามิกฉนวนได้โดยตรง

3. อัตราการสปัตเตอร์มีความเสถียร และความหนาของฟิล์มควบคุมได้ง่าย ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตอย่างต่อเนื่องและขนาดใหญ่

4. การออกแบบสนามแม่เหล็กมีความหลากหลาย (เช่น แมกนีตรอนแบบสมดุลและแมกนีตรอนแบบไม่สมดุล) และสามารถปรับการยึดเกาะและความหนาแน่นของชั้นฟิล์มได้ตามความต้องการ

ข้อดีหลัก:
1. เกณฑ์การใช้งานต่ำ การปรับพารามิเตอร์ทำได้ง่าย การบำรุงรักษาสะดวก และมีค่าใช้จ่ายในการดำเนินงานและบำรุงรักษาในภายหลังต่ำ

2. ประสิทธิภาพการเตรียมฟิล์มโลหะสูง อัตราการสปัตเตอร์เหนือกว่าการสปัตเตอร์แมกนีตรอนความถี่วิทยุ และใช้พลังงานน้อยกว่า

3. ชั้นฟิล์มมีความบริสุทธิ์สูง ความสม่ำเสมอดี และความเรียบของพื้นผิวดีเยี่ยม ตอบสนองความต้องการด้านฟังก์ชันและตกแต่งขั้นพื้นฐาน
อุปกรณ์มีความเสถียรสูง อัตราความล้มเหลวต่ำ เหมาะสำหรับการทำงานต่อเนื่องในระยะยาว และให้ประสิทธิภาพด้านต้นทุนการผลิตสูง

การใช้งานทั่วไป
1. ในด้านการตกแต่ง:เคลือบฟิล์มตกแต่งโลหะ (เช่น ฟิล์มอะลูมิเนียม ฟิล์มโครเมียม) สำหรับอุปกรณ์ฮาร์ดแวร์ อุปกรณ์เฟอร์นิเจอร์ เครื่องประดับ ฯลฯ

2. ในด้านอิเล็กทรอนิกส์:เตรียมฟิล์มนำไฟฟ้าโลหะสำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ (เช่น ฟิล์มอิเล็กโทรดสำหรับตัวเก็บประจุและฟิล์มนำสำหรับแผงวงจร)

3. ในด้านบรรจุภัณฑ์:เคลือบฟิล์มกั้น (เช่น ฟิล์มคอมโพสิตฟอยล์อะลูมิเนียม) สำหรับฟิล์มพลาสติกและฟอยล์โลหะเพื่อเพิ่มคุณสมบัติการกั้นออกซิเจนและความชื้น

4. ในด้านเครื่องมือและเครื่องจักร:เคลือบฟิล์มโลหะทนต่อการสึกหรอสำหรับเครื่องมือตัดทั่วไปและชิ้นส่วนเครื่องจักรกลเพื่อเพิ่มความแข็งของพื้นผิวและความทนทานต่อการสึกหรอ

5. สถานการณ์อื่นๆ:เตรียมฟิล์มฟังก์ชันพื้นฐาน เช่น ฟิล์มนำไฟฟ้าสำหรับแผ่นหลังเซลล์แสงอาทิตย์และฟิล์มสะท้อนแสงสำหรับกระจกสถาปัตยกรรม